形状测量机和用于校正形状测量误差的方法
【专利摘要】一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。
【专利说明】形状测量机和用于校正形状测量误差的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法。例如，本发明涉及诸如坐标测量机等的形状测量机和用于校正其形状测量时的误差的方法。
【背景技术】
[0002]目前，使用诸如坐标测量机等的形状测量部件来检查具有3D(三维)形状的产品的加工精度(或者处理精度)。这种坐标测量机例如通过沿3D形状移动扫描探测器来执行形状测量。
[0003]例如，在通过使用诸如坐标测量机等的形状测量机执行使用扫描探测器的测量时，由于安装有扫描探测器的滑块的移动所引起的影响而发生测量误差。例如，当通过使用扫描探测器测量环状物时，发生被称为“象限投影”的运动误差。象限投影是在扫描探测器的圆周运动中改变测量机的机械正交坐标系的象限时(在反转各轴上的运动方向时)所发生的投影状运动误差。此外，由于该象限投影，发生投影状测量误差。象限投影主要由测量机的机械结构产生的反冲(backlash)等所导致。
[0004]图9示出通过使用代表性的坐标测量机测量环规(要测量的环状物体)的形状所获得的测量结果。如图9所示，在测量波形的第四象限和第一象限之间的边界区域Pl以及第二象限和第三象限之间的边界区域P2中，观察到投影测量误差。这些投影测量误差是由在反转扫描探测器在X轴方向上的运动时发生的反冲等所导致的象限投影而产生的误差。
[0005]此外，
【发明者】石川修弘, 中川英幸 申请人:株式会社三丰