自动光学检测装置的对焦方法
【专利摘要】本发明公开一种自动光学检测装置的对焦方法，该对焦方法包含依据多个待测物中第一待测物的对焦距离决定多个待选距离，第一待测物相邻于第二待测物，以所述多个待选距离对第二待测物拍摄对应的多个待选影像，并从这些待选影像中，选择清晰度最高的作为第二待测物的检测影像，以进行检测程序。
【专利说明】自动光学检测装置的对焦方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种自动光学检测装置的对焦方法，更具体地说，是关于一种自动光学检测装置可快速对多个待测物对焦的方法。
【背景技术】
[0002]在积体电路相关的领域中，自动测试是一个重要的环节。自动测试是用来判断一个积体电路晶片的功能是否正常的流程。而对于具有光学镜头的积体电路更必须要判断其光学镜头是否有瑕疵。
[0003]在决定一个积体电路晶片的光学镜头是否有瑕疵，可以拍摄此光学镜头的影像，以这个影像来判断镜头内是否有刮痕或污点等瑕疵。而要用影像来判断镜头内是否有瑕疵，必须要取得足够清晰的影像。因此，如何快速对大量待测物进行对焦，是光学自动测试中待解决的问题。
【发明内容】
[0004]有鉴于以上的问题，本发明提出一种自动光学检测装置的对焦方法，此对焦方法在对一个托盘上的一个待测物对焦时，依据托盘上相邻于此待测物的另外一个或多个待测物的对焦距离，来决定此待测物的对焦距离。由于托盘上相邻的待测物的对焦距离差异不大，因此利用此方法可以快速地对多个待测物对焦，从而减少检测所需花费的时间。
[0005]依据本发明一个或多个实施例所实现的一种自动光学检测装置的对焦方法，适于对一个托盘上的多个待测物(device under test, DUT)对焦,此对焦方法包含依据前述多个待测物中第一待测物所对应的对焦距离决定多个待选距离，第一待测物相邻于第二待测物。以所述多个待选距离对第二待测物拍摄对应的多个待选影像，并从这些待选影像中，选择清晰度最高的作为第二待测物的检测影像，以进行进一步的检测程序。
[0006]依据本发明一个或多个实施例所实现的另一种自动光学检测装置的对焦方法，适于对一个托盘上的多个待测物(device under test, DUT)对焦,此对焦方法包含依据所述多个待测物中第一待测物所对应的对焦距离决定第二待测物的第一待选距离与第二待选距离，其中第一待测物相邻于第二待测物。以第一待选距离对第二待测物拍摄第一待选影像。以第二待选距离对第二待测物拍摄第二待选影像。比较第一待选影像的清晰度与第二待选影像的清晰度，以决定第三待选距离相对于第一待选距离或第二待选距离的关系。以第三待选距离对第二待测物拍摄第三待选影像，并至少依据第一待选影像、第二待选影像与第三待选影像，决定第二待测物的检测影像，以对第二待测物执行检测程序。
[0007]依据本发明的自动光学检测装置的对焦方法，依据相邻且已经完成对焦的待测物的对焦信息，来决定当前的待测物可能的对焦距离，并且可以更进一步依据多个待测物来判断对焦距离的变化趋势，并且可以更进一步依据对同一个待测物的连续两张待选影像来决定进一步的对焦方向，整体而言可以大幅度减少对焦所需花费的时间，因此可以提高光学自动测试的效率。[0008]以上的关于本
【发明内容】
的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求书更进一步的解释。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置功能方块图。
[0010]图2为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置操作示意图。
[0011]图3为依据本发明一实施例的清晰度分布图。
[0012]图4A为依据本发明一实施例中待测物的待测部位无瑕疵的影像。
[0013]图4B为依据本发明一实施例中待测物的待测部位有瑕疵的影像。
[0014]图5为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置操作示意图。
[0015]图6为依据本发明一实施例的对焦方法流程图。
[0016]图7A为本发明一实施例中的对焦方法的部份流程图。
[0017]图7B为本发明一实施例中的对焦方法中接续于图7A的部份流程图。
[0018]图7C为本发明一实施例中的对焦方法中接续于图7A的部份流程图。
[0019]其中:
[0020]I检测装置
[0021]11储存模组
[0022]13影像拍摄模组
[0023]15处理模组
[0024]17检测模组
[0025]19托盘
[0026]20、30、40 待测物
[0027]21、31、41对焦参考面
[0028]23、33、43 待测部位
[0029]402预设图样
[0030]406瑕疵影像
[0031]frf13 待选对焦平面
[0032]C20^C30 清晰度分布曲线
[0033]Cl1位移参数
【具体实施方式】
[0034]以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且依据本说明书所公开的内容、权利要求书及附图，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的保护范围。
[0035]依据本发明一实施例中的方法所实现的一种检测装置，请参照图1与图2，图1为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置功能方块图，图2为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置操作示意图。如图1所示，检测装置I包含储存模组11、影像拍摄模组13、处理模组15与检测模组17。其中，处理模组15电性连接至储存模组11与影像拍摄模组13。而检测模组17电性连接至处理模组15。检测装置I可用以对一个托盘上的多个待测物进行检测。
[0036]储存模组11用以储存前述多个待测物中至少一个已经完成对焦及/或检测的待测物，例如图2中的待测物20，所对应的对焦距离，其中待测物20位于正准备进行对焦及/或检测的待测物30的一侧(例如为左侧)，且如图2所示，待测物20可以相邻于待测物30。举例来说，当检测装置I对于一个托盘上一列的多个待测物，由左至右进行检测时，当完成待测物20的检测，则待测物20的对焦资料，例如对焦距离或是对焦平面，可以被储存在储存模组11中，以作为要对待测物30对焦的依据。依据本发明的精神，储存模组11可以是挥发性储存媒介或是非挥发性储存媒介，本发明不加以限制。
[0037]要对托盘19上的一个或多个待测物对焦以进行检测时，一般而言处理模组15可以控制影像拍摄模组13，以多个预设距离来对待测物拍摄多个待选影像。以图2为例，首先对待测物20进行对焦及检测时，处理模组15 (未绘示于图2)控制影像拍摄模组13，以十三个预设距离，依序对焦到待选对焦平面Π至待选对焦平面Π3。由此可以得到十三张待选影像。其中，影像拍摄模组13的景深，可以选择等于或者稍大于相邻的两个待选对焦平面(例如待选对焦平面f5与待选对焦平面f6)的距离。而后处理模组15分析这十三张待选影像中，每张影像对应到待测物20的对焦参考面21的部份影像，藉由分析每张待选影像的这个部份影像，来决定一张待选影像有「正确地」对焦到待测物20的对焦参考面21。
[0038]请进一步参考图3，其为依据本发明一实施例的清晰度分布图。处理模组15可以把这十三张待选影像中对应于对焦参考面21的影像区块的清晰度都记录来，形成如图3中的清晰度分布曲线C20。由图2可知，对焦参考面21正好对准待选对焦平面f7，因此可以由清晰度分布曲线C20中可以发现对应到待选对焦平面f7的待选影像，在对焦参考面21的影像区块具有最高的清晰度，由此，处理模组15会选择对应于待选对焦平面f7的待选影像作为待测物20的检测影像，并以这个检测影像的对焦距离，也就是对焦到待选对焦平面f7的预设距离作为一个参考距离。而后检测模组17可以据此(检测影像以及这个参考距离)来对待测物20执行一个检测程序。
[0039]简单来说，处理模组15会对这十三张待选影像，都分析对应于对焦参考面21的影像区块，以决定这十三张待选影像中，对应到对焦参考面21的影像区块的清晰度最高的一张待选影像选为检测影像，并将对应的对焦距离设定为参考距离，以便于检测模组17对待测物20执行检测程序。
[0040]检测模组17要对待测物20的待测部位23执行的检测程序中，检测模组17会控制影像拍摄模组13依据前述的对焦距离(也就是对焦到对焦参考面21/待选对焦平面f7的对焦距离)，并依据一个位移参数dl来重新设定对焦距离，以对焦至待测部位23的顶端。以图2的例子来说，就是控制影像拍摄模组13对焦到待选对焦平面f5，并可以依序对焦到待选对焦平面f6、待选对焦平面f7、待选对焦平面f8，同时对待测物20的待测部位23进行一次或多次的影像拍摄，以得到一张或多张检测影像。得到检测影像后，检测模组17以光学辨识的方法分析检测影像，以确认待测部位23是否有瑕疵。
[0041]所述光学辨识的方法，举例来说，请参照图4A与图4B，图4A系依据本发明一实施例中待测物的待测部位无瑕疵的影像，图4B系依据本发明一实施例中待测物的待测部位有瑕疵的影像。一般而言如果待测部位23没有瑕疵，则对待测物所拍摄到的检测影像会如图4A所示，在影像中对应于待测部位23的影像区块中仅有预设图样402。反之，如果待测部位23有瑕疵(刮伤、杂质)，则如图4B所示，在影像中对应于待测部位23的影像区块中除了有预设图样402以外，还有瑕疵影像406。据此，当检测模组17判断检测影像中对应于待测部位的影像区块中存在非预期的图样，则可以判断受检测的待测物在待测部位有瑕疵。
[0042]通常处理模组15要对待测物30进行对焦以便于检测模组17对待测物30进行检测程序时，处理模组15会控制影像拍摄模组13对待测物30重复前述对于待测物20所执行的一系列动作。然而当待测物的数量庞大时，这样的对焦检测流程非常的耗时。
[0043]于本发明一实施例中，请回到图2，当处理模组15对待测物20执行完前述的对焦流程后，会在储存模组11中，记录待测物20的对焦参考面21所对应的对焦距离会对焦到待选对焦平面f7。而当处理模组15要接着控制影像拍摄模组13对待测物30进行对焦时，因为待测物30的对焦参考面31与待测物20的对焦参考面21对应到的待选对焦平面即使不同，也不会差很多(相邻两个待测物的铅直位置或者说Z轴位置大致上相同)，所以可以选择以待选对焦平面f7为中心的N个待选对焦平面，作为对应于待测物30的对焦参考面31的「可能对焦平面」，其中N为正整数。
[0044]例如N为5，那就是选择待选对焦平面f5到待选对焦平面f9共五个待选对焦平面。因此，处理模组15可以控制影像拍摄模组13以对应到前述五个被选择出来的待选对焦平面的五个待选距离，来分别对待测物30的对焦参考面31拍摄待选影像。由此，影像拍摄模组13拍摄到待测物30的五张待选影像，而处理模组15可以对这五张待选影像分别进行清晰度的分析，得到如图3中的清晰度分布曲线C30。最终，处理模组15可以从这五张待选影像中，选出对应到对焦参考面31的影像区块的清晰度最高的一张待选影像。依据图3，处理模组15 —样会选择对焦到待选对焦平面f7的待选影像，并将之作为待测物30的检测影像，以进行如同前述对待测物20进行过的一系列检测程序。
[0045]同时请参照图3，需要注意的是，即使待测物20与待测物30的位置关系(在Z轴上)如图2所示位在同一个水平面上，但是对待测物20取得的待选影像的清晰度分布，仍然会与对待测物30取得的待选影像的清晰度分布不同。即使同样是待选对焦平面(例如待选对焦平面f7)对应的待选影像，其清晰度都不相同。盖因清晰度对于每个待测物的对焦参考面上的花纹，如图4A或图4B上的「CAP」字样，来进行分析，但是每个待测物之间的花纹本身的清晰度就不会相同，因此，并不能单独的设定一个预设清晰度门槛值来简化此一流程，否则可能会有某些待测物对应的所有待选影像的清晰度都不超过预设清晰度门槛值，而导致无法对焦。
[0046]前述方法直接以前一个待测物的对焦信息，例如对焦距离或对焦平面，来作为中心以决定要被选择用来对当前一个待测物拍摄影像的多个对焦距离或对焦平面。例如前述的例子中以正确对焦到对焦参考面20的待选对焦平面f7为中心，选择了待选对焦平面f5到待选对焦平面f9作为要对待测物30拍摄待选影像的多个待选对焦平面。然而，可以更进一步以之前多个待测物的对焦信息，来推测一个对焦距离的变化趋势，并依照这个变化趋势适当的选择多个可能的待选对焦平面或待选距离，以对当前的待测物拍摄多个待选影像。以下兹举例叙述其中一种实作方式。
[0047]请参照图5，其为依据本发明一实施例中的方法所实现的检测装置操作示意图。如图5所示，当处理模组15要对待测物20、待测物30、待测物40与待测物50进行对焦的时候，首先，处理模组15先控制影像拍摄模组13对准待测物20，以多个预设距离分别对焦到待选对焦平面fl到待选对焦平面Π3，以对待测物20拍摄共十三张待选影像，而后由于如图5所示，对焦参考面21最接近待选对焦平面f6，因此依据前述的方法对待测物20的对焦距离会对焦到待选对焦平面f6，据此以前述的检测程序，检测模组17控制影像拍摄模组13对焦到待选对焦平面f4之后，向负Z轴方向以不同的对焦距离多次对待测物20拍摄检测影像，以便辨识待测物20的待测部位23有无瑕疵。
[0048]接着，处理模组15控制影像拍摄模组13对准待测物30，此时可以依据待测物20的对焦信息，也就是待测物20的对焦距离、最接近对焦参考面21的待选对焦平面f6，来选择待选对焦平面f4至待选对焦平面f8。处理模组15控制影像拍摄模组13分别对焦到这五个待选对焦平面来对待测物30拍摄待选影像。依据前述方法流程，由于如图5所示，待测物30的对焦参考面31最接近待选对焦平面f5，所以处理模组15可以认定待选对焦平面f5所对应的待选影像是待测物30的检测影像，以让检测模组17据以依据前述检测程序对待测物30的待测部位33进行检测，并且认定对焦到待选对焦平面K的一个预设距离是待测物30的对焦距离。
[0049]接着当处理模组15控制影像拍摄模组13对准待测物40准备对待测物40进行对焦时。由于前述待测物20与待测物30的对焦信息(对焦距离或对焦平面)已经被纪录于储存模组11，因此依据待测物20的对焦参考面21大致位于待选对焦平面f6，而待测物30的对焦参考面31大致位于待选对焦平面f5这样的信息，处理模组15可以预测待测物40的对焦参考面41可能大致位于待选对焦平面f4。因此处理模组15可以控制影像拍摄模组13分别对焦到待选对焦平面f2至待选对焦平面f6来拍摄五张待测物40的待选影像。由图5可以知道，实际上待测物40的对焦参考面41最接近待选对焦平面f5，因此处理模组15仍然计算出待选对焦平面f5所对应的待选影像中，对焦参考面41的影像区块的清晰度高于其他几张待选影像中同样的影像区块的清晰度。从而处理模组15会选择待选对焦平面f5所对应的待选影像作为待测物40的检测影像，而检测模组17则以前述检测程序对待测物40的待测部位43进行检测。
[0050]由前述例子可以看出，于本发明一个实施例中，处理模组15并不是单纯的以待测物30的对焦信息来决定待测物40的多个待选对焦平面或者多个待选距离。处理模组15可以更进一步依据待测物20的对焦信息搭配待测物30的对焦信息，来预测并选择待测物40的多个待选对焦平面及/或待选距离。
[0051]因此，关于本发明一实施例的对焦方法，可以参照图6，其依据本发明一实施例的对焦方法流程图。如步骤S610所示:以N个预设距离分别对第一待测物拍摄待选影像，N为正整数。如步骤S620所示:依据N个第一待测物的待选影像来决定第一待测物的对焦距离。如步骤S630所示:依据第一待测物的对焦距离，从N个预设距离中选择M个相邻的待选距离，以对相邻于第一待测物的第二待测物拍摄M个待选影像，其中M小于N。如步骤S640所示:依据M个第二待测物的影像来决定第二待测物的对焦距离。
[0052]于本发明另一个实施例中，请继续参照图5，当处理模组15已经控制影像拍摄模组13对待测物20完成对焦流程后，处理模组15将待测物20相关的对焦信息纪录在储存模组11中，于是处理模组15要控制影像拍摄模组13对待测物30对焦时，处理模组15可以先控制影像拍摄模组13对准待测物30，并且对焦于待选对焦平面f6，拍摄待测物30的第一待选影像。处理模组15并分析第一待选影像中，对应于待测物30的对焦参考面31的部份的影像区块的清晰度。
[0053]接着，处理模组15可以控制影像拍摄模组13对焦于相邻于待选对焦平面f6的其中一个待选对焦平面(例如待选对焦平面f5)，并拍摄待测物30的第二待选影像。处理模组15同样分析第二待选影像中，对应于待测物30的对焦参考面31的部份的影像区块的清晰度，而后处理模组15会发现同样对应至对焦参考面31的部份的影像区块，对焦在待选对焦平面f5的第二张待选影像具有更高的清晰度。据此，处理模组15可以预期如果控制影像拍摄模组13对焦到待选对焦平面f4来对待测物30拍摄第三待选影像，则第三待选影像中对应于对焦参考面31的部份的影像区块可能会具有更好的清晰度。
[0054]当处理模组15实际控制影像拍摄模组13对焦到待选对焦平面f4来对待测物30拍摄第三待选影像，并且处理模组15实际分析第三待选影像时，处理模组15会发现，在前述三张待选影像中，第二待选影像中对应于待测物30的对焦参考面31的部份的影像区块的清晰度最高，因此处理模组15就可以选择第二待选影像作为待测物30的检测影像。检测模组17接着依据这个检测影像以及所对应的对焦信息:对焦于待选对焦平面f5，以前述的检测程序对待测物30的待测部位33进行检测。
[0055]因此，于本发明另一实施例中的对焦方法，可以包含如图7A至图7C的流程，其中图7A至图7C分别为本发明一实施例中的对焦方法的部份流程图。如步骤S710所示:以第一对焦距离来对待测物拍摄第一待选影像。如步骤S720所示:以大于第一对焦距离的第二对焦距离来对待测物拍摄第二待选影像。如步骤S730所示:判断第一待选影像的清晰度是否大于第二待选影像的清晰度。
[0056]如果第一待选影像的清晰度大于第二待选影像的清晰度，则如步骤S740所示:以小于第一对焦距离的第三对焦距离来对待测物拍摄第三待选影像。并如步骤S742所示:判断第二待选影像的清晰度是否小于第一待选影像的清晰度。如果第二待选影像的清晰度小于第一待选影像的清晰度，则如步骤S744所示:以第一待选影像作为待测物的检测影像。否则如步骤S746所示:以第一对焦距离做为新的第二对焦距离，以第三对焦距离做为新的第一对焦距离而后回到步骤S740。
[0057]如果第一待选影像的清晰度小于第二待选影像的清晰度，则如步骤S750所示:以大于第二对焦距离的第三对焦距离来对待测物拍摄第三待选影像。并如步骤S752所示:判断第二待选影像的清晰度是否小于第二待选影像的清晰度。如果第二待选影像的清晰度小于第二待选影像的清晰度，则如步骤S754所示:以第二待选影像作为待测物的检测影像。否则如步骤S756所示:以第二对焦距离做为新的第一对焦距离，以第三对焦距离做为新的第二对焦距离而后回到步骤S750。
[0058]在另一实施例中，若步骤S720是以小于第一对焦距离的第二对焦距离来对待测物拍摄第二待选影像，则在步骤S730中，当第一待选影像的清晰度大于第二待选影像的清晰度时，设定第三对焦距离大于第一对焦距离；当第一待选影像的清晰度小于第二待选影像的清晰度时，设定第三对焦距离小于第二对焦距离，其余的流程类似，不再赘述。如此，搭配本发明的其他部份的精神，甚至可以只对一个待测物对焦三次至四次，就完成对于待测物正确的对焦，而能对待测物执行进一步的检测程序。[0059]依据本发明的精神，影像拍摄模组13可以应用感光I禹合元件(charge-coupleddetector, CCD)、互补金属氧化物半导体接面电晶体光感测装置(complementarymetal-oxide semiconductor photo detector, CMOS PD)或其他适于感应并拍摄影像的装置，并且影像拍摄模组13所拍摄的影像可以是灰阶(grayscale)或全彩的影像，本发明不加以限制。
[0060]同样地，依据本发明的精神，处理模组15与检测模组17可以由特殊应用积体电路(application-specific integrated circuit, ASIC)、进阶精简指令集机器(advancedRISC machine, ARM)、中央处理单兀(central processing unit, CPU)、单晶片控制器或其他适于执行运算及控制指令的设备来实现，本发明不以此为限。
[0061]综上所述，依据本发明一个或多个实施例所实现的对焦方法及应用此方法的检测装置，在要对一个待测物进行对焦时，可以依据相邻的待测物的对焦距离来决定此待测物可能的对焦距离，从而大幅地减少对每一个待测物对焦的时间，加快了自动测试的流程。
[0062]虽然本发明以前述的实施例公开如上，然其并非用以限定本发明。在不脱离本发明的精神和范围内，所为的更动与润饰，均属本发明的专利保护范围。关于本发明所界定的保护范围请参考本申请的权利要求书的保护范围。
【权利要求】
1.一种自动光学检测装置的对焦方法，用以对一托盘上的多个待测物进行对焦，其特征在于，该对焦方法包含: (a)依据该些待测物中一第一待测物的对焦距离决定M个待选距离，该M个待选距离彼此不同，M为大于一的整数； (b)以该M个待选距离对一第二待测物拍摄M个第二待测物的待选影像，该第二待测物相邻于该第一待测物，该M个第二待测物的待选影像分别对应于该M个待选距离；以及 (c)选择该M个第二待测物的待选影像中清晰度最高的影像作为该第二待测物的一检测影像。
2.根据权利要求1所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于:其中在步骤(a)中，以该第一待测物的对焦距离作为中心以决定该M个待选距离。
3.根据权利要求1所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于，更包含: (d)以N个预设距离对该第一待测物拍摄N个第一待测物的待选影像，该N个第一待测物的待选影像分别对应于该N个预设距离，N为大于M的整数；以及 (e)依据该N个第一待测物的待选影像中清晰度最高的影像，决定该第一待测物的对焦距离。
4.一种自动光学检测装置的对焦方法，用以对一托盘上的多个待测物进行对焦，其特征在于，该对焦方法包含: (a)依据该些待测物中一第一待测物的对焦距离决定一第一对焦距离与一第二对焦距离； (b)以该第一对焦距离对一第二待测物拍摄一第一待选影像，该第二待测物相邻于该第一待测物； (C)以该第二对焦距离对该第二待测物拍摄一第二待选影像； (d)依据该第一待选影像的清晰度与该第二待选影像的清晰度，决定一第三对焦距离； (e)以该第三对焦距离对该第二待测物拍摄一第三待选影像；以及 (f)当该第三待选影像的清晰度小于该第一待选影像或该第二待选影像时，依据该第一待选影像的清晰度与该第二待选影像的清晰度较大者，决定该第二待测物的一检测影像。
5.根据权利要求4所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于，更包含: (g)当该第三待选影像的清晰度大于该第一待选影像与该第二待选影像时，依据该第三对焦距离决定新的该第一对焦距离与该第二对焦距离，并重复步骤(b)至步骤(e)。
6.根据权利要求4所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于:其中在步骤(a)中，以该第一待测物的对焦距离作为该第一对焦距离，且该第二对焦距离大于该第一对焦距离。
7.根据权利要求6所述 的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于，其中在步骤(d)中，包含: (dl)当该第一待选影像的清晰度大于该第二待选影像的清晰度时，设定该第三对焦距离小于该第一对焦距离；以及 (d2)当该第一待选影像的清晰度小于该第二待选影像的清晰度时，设定该第三对焦距离大于该第二对焦距离。
8.根据权利要求4所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于:其中在步骤(a)中，以该第一待测物的对焦距离作为该第一对焦距离，且该第二对焦距离小于该第一对焦距离。
9.根据权利要求8所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于，其中在步骤(d)中，包含: (dl)当该第一待选影像的清晰度大于该第二待选影像的清晰度时，设定该第三对焦距离大于该第一对焦距离；以及 (d2)当该第一待选影像的清晰度小于该第二待选影像的清晰度时，设定该第三对焦距离小于该第二对焦距离。
10.根据权利要求4所述的自动光学检测装置的对焦方法，其特征在于，更包含: (h)以多个预设距离对该第一待测物拍摄多个第一待测物的待选影像，该多个第一待测物的待选影像分别对应于该多个预设距离；以及 (i)依据该多个第一待测物的待选影像中清晰度最高的影像，决定该第一待测物的对焦距离 。
【文档编号】G01N21/88GK103808733SQ201410075333
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2014年3月4日 优先权日:2014年3月4日
【发明者】薛名凯, 罗文期, 高俊豪, 蔡欣洋 申请人:致茂电子(苏州)有限公司