测量ar减反膜厚度和折射率的方法
【专利摘要】本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，本发明的AR减反膜测量方法涉及的装置结构简单，测量速度快，测量准确的特点，与椭偏仪相比，本测量方法无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。
【专利说明】测量AR减反膜厚度和折射率的方法
[0001]
【技术领域】
[0002]本发明涉及一种AR减反膜的测量方法，特别涉及一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法。
【背景技术】
[0003]AR减反膜通常镀在超白压延玻璃的光面，可以有效的提高光伏玻璃的透过率。目前测量AR减反膜的主要方法是使用椭偏仪。椭偏仪精度较高，但是结构复杂，价格较昂贵，而且测量速度慢，不能用于在线测量。
[0004]
【发明内容】
[0005]为了克服上述缺陷，本发明提供了一种速度快，精度高的测量AR减反膜厚度和折射率的方法。
[0006]本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，包括以下步骤:
1)将两个光源(或两个以上光源)所打出的宽光谱斜入射光打到AR减反膜膜面的同一点，光线接收器得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装置中，光谱分析装置把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置里面，计算装置由光谱信号计算出A R减反膜的膜面在两个(或两个以上，不包括零度)角度的相对于波长的反射率曲线；
2)计算装置2再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚为a,折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得。
[0007]作为本发明的进一步改进，在步骤2)中在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。
[0008]本发明的有益效果是:本发明的AR减反膜测量方法涉及的装置结构简单，测量速度快，测量准确的特点，与椭偏仪相比，本测量方法无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。
[0009]
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本发明结构示意图；
图中标示:1-光源；2_计算装置；3_光学系统；4_光线接收器；5_光谱分析装置；6-AR减反膜。
[0011]
【具体实施方式】
[0012]为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
[0013]图1示出了本发明一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法的一种实施方式，包括以下步骤:
1)将两个光源I(或两个以上光源)所打出的宽光谱通过光学系统斜入射光打到AR减反膜6膜面的同一点，光线接收器4得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装置5中，光谱分析装置5把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置2里面，计算装置2由光谱信号计算出A R减反膜6的膜面在两个(或两个以上，不包括零度)角度的相对于波长的反射率曲线；
2)计算装置2再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚为a,折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得，在步骤2)中在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。
【权利要求】
1.一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)将两个光源(I)所打出的宽光谱通过光学系统(3)斜入射光打到AR减反膜(6)膜面的同一点，光线接收器(4)得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装置(5)中，光谱分析装置(5)把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置(2)里面，计算装置(2)由光谱信号计算出A R减反膜(6)的膜面在两个角度的相对于波长的反射率曲线； 2)计算装置(2)再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚为a，折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得。
2.根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的方法，其特征在于:在步骤2)中在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。
【文档编号】G01N21/55GK104296671SQ201410603824
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年11月3日 优先权日:2014年11月3日
【发明者】尚修鑫 申请人:苏州精创光学仪器有限公司