测量ar减反膜厚度和折射率的装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光路或光纤连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置，本发明的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点。与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。
【专利说明】测量AR减反膜厚度和折射率的装置
[0001]
【技术领域】
[0002] 本发明涉及一种光学测量装置，特别涉及一种测量AR减反膜厚度和折射率的装 置。
【背景技术】
[0003] AR减反膜通常镀在超白压延玻璃的光面，可以有效的提高光伏玻璃的透过率。目 前测量AR减反膜的主要方法是使用椭偏仪。椭偏仪精度较高，但是结构复杂，价格较昂贵， 而且测量速度慢，不能用于在线测量。
[0004]
【发明内容】
[0005] 为了克服上述缺陷，本发明提供了一种结构简单，测量速度快，测量准确测量AR 减反膜厚度和折射率的装置。
[0006] 本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种测量AR减反膜厚度和折 射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收 器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于〇度且小于90度的倾 斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所 述每个光线接收器通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过 数据线连接计算装置。
[0007] 作为本发明的进一步改进，所述每个光学系统与对应的每个光线接收器位于同一 平面，并且它们与AR减反膜垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。
[0008] 作为本发明的进一步改进，所述光源为宽光谱的光源，且光源通过光学系统后的 光线为偏振光或者非偏振光。
[0009] 作为本发明的进一步改进，所述光学系统为一种或多种光学元件组成的透射式光 学系统、反射式光学系统或光纤。
[0010] 本发明的有益效果是：本发明的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快， 测量准确的特点，与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采 集速度也很高，所以可以用于在线测量。
[0011]
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 图1为本发明结构示意图； 图中标示：1_光源；2-计算装置；3-光学系统；4-光线接收器；5-光谱分析装置；6-AR 减反膜。
[0013]
【具体实施方式】
[0014] 为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该 实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
[0015] 图1示出了本发明一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置的一种实施方式，以两 个光源和一个计算装置为例，以及对应的两个光学系统3、两个光线接收器4和两个光谱分 析装置5,光谱分析装置5可以是光谱仪，但不限于光谱仪，可以是其它种类的光谱分析仪 器，所述每个光源1的光线通过对应的光学系统2以大于0度且小于90度的倾斜角照射至 AR减反膜6膜面的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器4接收，所述每个光线接收 器4通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置5,且每个光谱分析装置5均通过数据线最 终连接计算装置2,数据线可以为各种数据线，端口也可以为各种端口；所述每个光学系统 3与对应的每个光线接收器4位于同一平面，并且它们与AR减反膜6垂直方向所成的倾斜 角度相同且不重合，所述光源1为宽光谱的光源，且光源1通过光学系统后的光线为非偏振 光，所述光学系统3为多种光学元件组成的透射式光学系统。
[0016] 如图1所示，两个光源(或两个以上光源）1所打出的宽光谱斜入射光打到AR减反 膜6膜面的同一点，光线接收器4得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装 置5中，光谱分析装置5把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置2里面，计算装置2 可以由光谱信号计算出A R减反膜6的膜面在两个(或两个以上，不包括零度）角度的相对 于波长的反射率曲线。
[0017] 计算装置2再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚 为a，折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最 接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得，在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。
[0018] 该装置主要用于A R减反膜的膜厚以及折射率测定，也可用于测量其他的膜的厚 度或折射率。
【权利要求】
1. 一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源（1)和一 个计算装置（2)，以及对应每个光源（1)的光学系统（3)、光线接收器（4)和光谱分析装置 (5)，所述每个光源（1)的光线通过对应的光学系统（2)以大于0度且小于90度的倾斜角 照射至AR减反膜（6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器（4)接 收，所述每个光线接收器（4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置（5)，且每个光谱分 析装置（5)均通过数据线最终连接计算装置（2)。
2. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述每个 光学系统（3)与对应的每个光线接收器（4)位于膜面同一侧的同一平面，并且它们与AR减 反膜（6)垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。
3. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光源 (1)为宽光谱的光源，且光源（1)通过光学系统后的光线为偏振光或者非偏振光。
4. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光学 系统（3)为一种或多种光学元件组成的透射式光学系统、反射式光学系统或光纤。
【文档编号】G01B11/06GK104215187SQ201310210421
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2013年5月31日 优先权日:2013年5月31日
【发明者】朱峥嵘, 埃德加·吉尼奥, 赵连芳 申请人:昆山胜泽光电科技有限公司