区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，包括线圈固定台、进水管、出水管、第一压力表、第二压力表、流量计、电动水泵、水箱，线圈固定台为矩形板状，线圈固定台上设有进水孔、出水孔及用于线圈定位的定位螺丝孔，进水管的一端与进水孔螺栓连接，另一端顺次连接第一压力表、流量计和电动水泵，出水管的一端与出水孔螺栓连接，另一端顺次连接第二压力表和水箱，水箱通过出水管与电动水泵相连。本实用新型结构简单，操作方便，安装便捷，模拟线圈内冷却水的压力及流量,对其进行严格检测，避免在使用中出现问题。
【专利说明】
区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台
【技术领域】
[0001]本发明创造涉及一种对区熔热场线圈冷却水进行压力及流量检测的区熔热场线圈测试台。
【背景技术】
[0002]区熔热场线圈需用铜质螺丝固定在区熔炉内的铜轴上，热场线圈安装后，线圈内将流过一定压力及流量的冷却水，所以区熔热场线圈需要保证绝对的密闭性。区熔法拉制单晶时，热场线圈中会通过高功率的射频电流，射频功率激发的电磁场将在多晶柱中引起涡流，产生焦耳热，通过调整线圈功率，可以使得多晶柱紧邻线圈的部分熔化，在由射频功率激发出的电磁场的作用下从线圈的中心孔流下，在线圈下方熔料再结晶为单晶，如果区熔热场线圈产生的磁力线不稳定，将会造成线圈下方的液面严重抖动，影响成晶，所以区熔热场线圈对其冷却水温度，压力，流量都有严格要求，故区熔热场线圈制成后需对成品模拟实际使用情况时冷却水压力及流量进行测试，以避免不合格的热场线圈安装在区熔单晶炉上进行拉晶而造成的不必要的损失。目前国内还没有相关的专用设备进行检测。
【发明内容】
[0003]本发明创造要解决无法检测区熔热场线圈的外观情况而在拉晶过程中造成的不必要的损失，本发明创造提供一种全新的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，对区熔热场线圈在上炉拉制单晶之前对其进行严格的检测。
[0004]为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是:区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，包括线圈固定台面、进水管、出水管、第一压力表、第二压力表、流量计、电动水泵、水箱，所述线圈固定台面为矩形板状，其板面设有进水孔、出水孔及用于线圈定位的定位螺丝孔，所述进水管的一端与所述进水孔螺栓连接，其另一端顺次连接所述第一压力表、所述流量计和所述电动水泵，所述出水管的一端与所述出水孔螺栓连接，其另一端顺次连接所述第二压力表和水箱，所述水箱通过所述出水管与所述电动水泵相连，所述进水管和出水管形成循环回路。
[0005]进一步，所述定位螺丝孔、所述进水孔和所述出水孔均为两组。
[0006]进一步，所述每组中的定位螺丝孔为四个，所述每组中的进水孔和所述出水孔均为一个。
[0007]进一步，所述第一压力表、所述流量计、所述电动水泵和所述进水管组成进水管路，所述第二压力表、所述水箱和所述出水管组成出水管路，还包括流量调节阀、安全阀和手阀，所述流量调节阀位于所述流量计和所述电动水泵间的进水管上，所述手阀位于所述第二压力表和所述水箱间的出水管上，所述安全阀位于进水管路和回水管路中间。
[0008]进一步，所述安全阀通过管路与进水管和出水管相连，该进水管为所述流量计和所述流量调节阀间的进水管，该出水管为所述第二压力表和所述手阀间的出水管。
[0009]进一步，所述线圈固定台面均为不锈钢板。
[0010]本发明创造具有的优点和积极效果是:一种区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶过程冷却水的压力及流量，并对其进行严格的检测，以避免在使用过程中出现冷却水压力及流量不足、漏水等问题。本发明创造结构简单，操作方便，安装便捷，能及时有效地排除线圈使用过程中的潜在问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本发明创造工作结构示意图；
[0012]图2是线圈固定台面结构示意图。
[0013]图中:
[0014]1、线圈固定台面2、进水管 3、出水管
[0015]4、第一压力表 5、第二压力表6、流量计
[0016]7、电动水泵 8、水箱9、进水孔
[0017]10、出水孔 11、定位螺丝孔12、流量调节阀
[0018]13、安全阀 14、手阀
【具体实施方式】
[0019]如图1、2所示，区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，包括线圈固定台面1、进水管2、出水管3、第一压力表4、第二压力表5、流量计6、电动水泵7、水箱8，所述线圈固定台面I为矩形板状，所述线圈固定台面I设有定位螺丝孔11，及设有进水孔9和出水孔10，所述进水管2的一端与所述进水孔9快插连接，其另一端顺次连接所述第一压力表4、所述流量计6和所述电动水泵7，所述出水管3的一端与所述出水孔10快插连接，其另一端顺次连接所述第二压力表5和水箱8，所述水箱8通过所述出水管3与所述电动水泵7相连，所述进水管2和出水管3形成循环回路。
[0020]所述定位螺丝孔11、所述进水孔9和所述出水孔10均为两组。所述每组中的定位螺丝孔11为四个，所述每组中的进水孔9和所述出水孔10均为一个。所述定位螺丝孔11、所述进水孔9和所述出水孔10均为两组的目的是为了使测试台能够满足现场生产需要，能达到多套测试系统同时进行的目的，提高生产效率。
[0021]所述第一压力表4、所述流量计6、所述电动水泵7和所述进水管2组成进水管路，所述第二压力表5、所述水箱8和所述出水管3组成出水管路。还包括流量调节阀12、安全阀13和手阀14，所述流量调节阀12于所述流量计6和所述电动水泵7间的进水管2上，所述手阀14于所述第二压力表5和所述水箱8间的出水管3上，所述安全阀13位于进水管2和出水管3之间。
[0022]所述安全阀13通过管路与进水管2和出水管3相连，该进水管2为所述流量计6和所述流量调节阀12间的进水管2，该出水管3为所述第二压力表5和所述手阀14间的出水管3。
[0023]所述线圈固定台面I为不锈钢板。
[0024]一种区熔热场线圈冷却水压力及流量检测台，按照图1所示连接闭合循环水路，其检测方法为:
[0025]1.把所述线圈固定台面I放置于水平桌面台上；
[0026]2.把待检测线圈上螺栓孔与所述线圈固定台面I上的所述定位螺丝孔11对应后，拧紧紧固螺栓。把水平尺放在线圈正面，检测是否水平；
[0027]3.将线圈固定台面I的进水孔9与所述回路的进水管2快插相连，再按照图1所示依次连接所述第一压力表4、流量计6、流量调节阀12和电动水泵7 ;将线圈固定台面I的出水孔10与所述回路的出水管3相连，再按照图1所示依次连接所述第二压力表5、手阀14和水箱8 ;连接所述安全阀13。整个检测装置形成闭合循环水路，开启电动水泵7后，通过调节进出水路上的第一压力表4、第二压力表5及流量计6，模拟区熔线圈实际使用状态，确认水路压力及流量是否符合要求；
[0028]4.保压15分钟，通过压力损失及流量变化确认线圈水路是否有堵塞漏水等问题。
[0029]所述安全阀13的作用是为了确保进水压力保持在特定范围内，符合生产实际。安全阀13在系统中起安全保护作用。当系统压力超过规定值时，所述安全阀13打开，将系统中的一部分流体通过管道排入所述水箱8中，使系统压力不超过允许值，从而保证系统不因压力过高而发生事故。
[0030]以上对本发明创造的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明创造范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:包括线圈固定台面(I)、进水管(2)、出水管(3)、第一压力表(4)、第二压力表(5)、流量计(6)、电动水泵(7)、水箱(8)，所述线圈固定台面(I)为矩形板状，其板面设有进水孔(9)、出水孔(10)、用于线圈定位的定位螺丝孔(11)，所述进水管(2)的一端与所述进水孔(9)连接，其另一端顺次连接所述第一压力表(4)、所述流量计(6)和所述电动水泵(7)，所述出水管(3)的一端与所述出水孔(10)连接，其另一端顺次连接所述第二压力表(5)和水箱(8)，所述水箱(8)通过所述出水管⑶与所述电动水泵(7)相连，所述进水管(2)和出水管(3)形成循环回路。
2.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:所述定位螺丝孔(11)、所述进水孔(9)和所述出水孔(10)均为两组。
3.根据权利要求2所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:所述每组中的定位螺丝孔(11)为四个，所述每组中的进水孔(9)和所述出水孔(10)均为一个。
4.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:所述第一压力表(4)、所述流量计￠)、所述电动水泵(7)和所述进水管(2)组成进水管路，所述第二压力表(5)、所述水箱(8)和所述出水管(3)组成出水管路，还包括流量调节阀(12)、安全阀(13)和手阀(14)，所述流量调节阀(12)位于所述流量计(6)和所述电动水泵(7)间的进水管(2)上，所述手阀(14)位于所述第二压力表(5)和所述水箱(8)间的出水管(3)上，所述安全阀(13)位于进水管路和回水管路中间。
5.根据权利要求4所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:所述安全阀(13)通过管路与进水管(2)和出水管(3)相连，该进水管(2)为所述流量计(6)和所述流量调节阀(12)间的进水管(2)，该出水管(3)为所述第二压力表(5)和所述手阀(14)间的出水管(3) ο
6.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于:所述线圈固定台面(I)为不锈钢板。
【文档编号】G01M13/00GK204008038SQ201420438606
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月6日 优先权日:2014年8月6日
【发明者】姚长娟, 靳立辉, 刘旭光, 王国瑞, 于书瀚, 贾弘源, 王凯 申请人:天津市环欧半导体材料技术有限公司