一种流量测量工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种流量测量工具，所述流量测量工具包括测量槽、插板、盖体、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。
【专利说明】
一种流量测量工具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体工艺设备【技术领域】，特别是涉及一种流量测量工具。
【背景技术】
[0002]目前，电子器件的制造往往用到光刻工艺，其主要步骤包括:清洗、涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、刻蚀和去胶等工序。显影是将感光部分的光刻胶通过显影液去掉，一般采用与光刻胶相配套的显影液。
[0003]现有的显影装置为Track(光刻显影机)，如图1所示，所述光刻显影机包括两根显影液输送管11、若干个显影液喷嘴12和用于连接所述显影液输送管11和显影液喷嘴12的固定装置13，所述固定装置13内设有空腔131，所述空腔131用于连通所述显影液输送管11和显影液喷嘴12。在显影的过程中，所述显影液喷嘴12将所述显影液输送管11输送来的显影液喷洒在待显影晶圆上。在整个显影过程中，为了使得整个晶圆上显影完全，一般需要控制显影液喷嘴12喷涂的均匀性。由于所述显影液喷嘴12是通过所述固定装置13的空腔131与所述两个显影液输送管11相连通的，因此，在日常的机台维护过程中，只要控制所述两根显影液输送管11的流量相同，即可保证所述显影液喷嘴12的均匀性。
[0004]在现有工艺中，在对所述显影液输送管进行流量调整时，需要分别对两根显影液输送管的流量均匀性进行测量，具体的方法为:将一个不锈钢船型容器置于显影液喷嘴下方，关闭一根显影液输送管，打开另一个显影液输送管，待显影液喷嘴喷洒完毕后，将所述不锈钢船型容器内的显影液倒入量筒中进行测量，即可得到所打开显影液输送管的流量；使用同样的方法，可以测试另一根显影液输送管的流量。整个过程中，若两根显影液输送管的流量不一致，需要不断调节两根显影液输送管的流量并分别进行测量。由于在测量过程中，盛放喷洒显影液的容器为不锈钢船型容器，所述不锈钢船型容器本身较重且可视性差，对于拿取并保持平衡难以控制，加大了操作的难度；同时，待显影液喷嘴喷洒完毕后，还需要将不锈钢船型容器内的显影液倒入量筒中进行测量，在这个过程中容易导致显影液的少量溢出，影响测量的精准度，甚至导致必须重新测量一次。在整个过程中，两根显影液输送管的平衡只能靠不断分别调节两根显影液输送管来找到最终的平衡点，且还需要测量的步骤，这个过程步骤较多且繁琐，耗时较长，可操作性差。
[0005]鉴于此，有必要设计一种新的流量测量工具用以解决上述技术问题。
实用新型内容
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种流量测量工具，用于解决现有技术中由于在显影液喷嘴喷洒完毕后，需要将所喷洒的显影液倒入量筒中测量，而盛放显影液喷嘴喷洒的显影液的容器自身较重且可视性差，在测量的过程中容易导致显影液少量溢出而影响测量的精准度，甚至导致重新测量，使得整个过程步骤较多繁琐，耗时较长的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种流量测量工具，所述流量测量工具适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置，所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴，所述流量测量工具至少包括:测量槽和插板；所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板，所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接；所述插板固定于所述第一侧板的中部，将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。
[0008]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述流量测量工具还包括:盖体，所述盖体与所述底板的大小相同；所述盖体四周设置有一端固定于所述盖体上的卡扣；凹槽，位于所述第一侧板和第二侧板的顶部和插板顶部；密封圈，置于所述凹槽内，适于密封所述测量槽；且所述第一侧板和第二侧板上设置有与所述卡扣配合使用的卡扣凸起。
[0009]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述刻度沿垂直于所述底板的方向设置，零刻度与所述底板相平齐。
[0010]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述刻度沿平行于所述底板的方向设置，所述第一子测量槽的零刻度与一所述第二侧板相平齐，所述第二子测量槽的零刻度与所述插板相平齐。
[0011]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述插板的高度等于所述测量槽的深度。
[0012]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述测量槽为透明测量槽。
[0013]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述测量槽为塑料测量槽。
[0014]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述密封圈为橡胶密封圈。
[0015]作为本实用新型的流量测量工具的一种优选方案，所述底板的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。
[0016]如上所述，本实用新型的流量测量工具，具有以下有益效果:所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1显示为现有技术中光刻显影机的结构示意图。
[0018]图2显示为本实用新型实施例一中提供的测量工具的结构示意图。
[0019]图3显示为本实用新型实施例一中提供的测量工具与涂胶显影机配合使用的示意图。
[0020]图4显示为本实用新型实施例二中提供的测量工具的结构分解示意图。
[0021]图5显示为本实用新型实施例二中提供的测量槽与涂胶显影机配合使用的示意图。
[0022]图6显示为本实用新型实施例二中提供的测量工具各部分组合后的结构示意图。
[0023]图7显示为本实用新型中图6沿aa’方向的截面示意图。
[0024]图8显示为本实用新型中图6沿bb’方向的截面示意图。
[0025]图9显示为本实用新型实施例二中提供的测量工具进行读数时的结构示意图。
[0026]元件标号说明
[0027]11显影液输送管
[0028]12显影液喷嘴
[0029]13固定装置
[0030]131空腔
[0031]21测量槽
[0032]211第一侧板
[0033]212第二侧板
[0034]213底板
[0035]214刻度
[0036]22插板
[0037]23盖体
[0038]24卡扣
[0039]25凹槽
[0040]26密封圈
[0041]27卡口凸起
[0042]28显影液输送管
[0043]29显影液喷嘴
[0044]20固定装置
【具体实施方式】
[0045]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0046]请参阅图2至图9。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0047]实施例一
[0048]请参阅图2，本实用新型提供一种流量测量工具，所述流量测量工具至少包括流量槽21和插板22，其中，所述测量槽21至少包括两块与所述插板22垂直连接的第一侧板211、一块与所述插板22垂直连接的底板213和两块与所述插板22平行的第二侧板212，所述第一侧板211、底板213和第二侧板212相互垂直连接；所述插板22固定于所述第一侧板211的中部，将所述测量槽21均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板211上均标示有刻度214。
[0049]具体的，所述测量槽21为透明槽，以便于在读数时可以看到液面的具体高度；优选地，本实施例中，所述测量槽21为塑料测量槽。所述测量槽21选用塑料测量槽，减轻了测量工具自身的重量，且使得测量工具具有较强的可视性。
[0050]具体的，所述刻度214沿垂直于所述底板213的方向设置，零刻度与所述底板213相平齐。
[0051]具体的，所述插板22的高度可以根据待检测显影液的量进行设定，优选地，本实施例中，所述插板22的高度等于所述测量槽21的深度。
[0052]请参阅图3，所述流量测量工具适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括若干个显影液喷嘴29和固定所述显影液喷嘴29的固定装置20，所述固定装置20底部分布设有显影液喷嘴29。在使用的过程中，将所述测量槽21置于所述显影液喷嘴29的下方，打开显影液输送管28，待显影液喷嘴29喷洒完毕，即可根据测量槽21上的刻度214直观地读取出喷洒的显影液的量，可以根据第一子测量槽和第二子测量槽中读数的差异，进行调节两根显影液输送管28的流量，以达到最终的平衡。
[0053]具体的，为了防止显影液喷嘴29喷洒的显影液能被准确的测量，所述底板213的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。
[0054]实施例二
[0055]请参阅图4，本实用新型提供一种流量测量工具，所述流量测量工具不仅如实施例一所述包括流量槽21和插板22，其中，所述测量槽21至少包括两块与所述插板22垂直连接的第一侧板211、一块与所述插板22垂直连接的底板213和两块与所述插板22平行的第二侧板212，所述第一侧板211、底板213和第二侧板212相互垂直连接；所述插板22固定于所述第一侧板211的中部，将所述测量槽21均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板211上均标示有刻度214。本实施例中，所述流量测量工具还包括:盖体23，所述盖体23与所述底板213的大小相同；所述盖23四周设置有一端固定于所述盖体23上的卡扣24 ;凹槽25，位于所述第一侧板211和第二侧板212的顶部和插板22顶部；密封圈26，可置于所述凹槽25内，适于密封所述测量槽21 ;且所述第一侧板211和第二侧板212上设置有与所述卡扣24配合使用的卡扣凸起27。
[0056]具体的，所述测量槽21为透明槽，以便于在读数时可以看到液面的具体高度；优选地，本实施例中，所述测量槽21为塑料测量槽。所述测量槽21选用塑料测量槽，减轻了测量工具自身的重量，且使得测量工具具有较强的可视性。
[0057]具体的，所述刻度214沿平行于所述底板213的方向设置，所述第一子测量槽的零刻度与一所述第二侧板212相平齐，所述第二子测量槽的零刻度与所述插板22相平齐。
[0058]具体的，所述插板22的高度可以根据待检测显影液的量进行设定，优选地，本实施例中，所述插板22的高度等于所述测量槽21的深度。
[0059]请参阅图5，所述流量测量工具适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴29和固定所述显影液喷嘴29的固定装置20，所述固定装置20底部分布设有显影液喷嘴29。在使用的过程中，将所述测量槽21置于所述显影液喷嘴29的下方，打开显影液输送管28，显影液经所述显影液喷嘴29喷洒至所述测量槽21内。待显影液喷嘴29喷洒完毕，将所述测量槽21从所述显影液喷嘴29下取出。
[0060]具体的，为了防止显影液喷嘴29喷洒的显影液能被准确的测量，所述底板213的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。
[0061]请参阅图6至图8，其中，图7为图6沿aa’方向的截面示意图，图8为图6沿bb’方向的截面示意图。将图5之后得到的已盛放有显影液的测量槽21的凹槽25内放入密封圈26，并将所述盖体23盖在所述测量槽21上，通过卡扣24和卡口凸起27的配合使用，所述盖体23被固定在所述测量槽21上并压紧所述凹槽25内的密封圈26，从而使得密封圈26起到很好的密封效果。
[0062]具体的，所述密封圈26为橡胶密封圈。
[0063]请参阅图9，将所述测量槽21密封好以后，将其竖立起来，使所述刻度214呈正立，此时，即可以根据所述刻度214来读取出第一子测量槽和第二子测量槽内显影液的量。如果所述第一子测量槽和第二子测量槽中读数存在差异，根据差异对所示两根显影液输送管进行调节，调节完毕后继续进行测量。如此循环，直至达到两根显影液输送管流量最终的平衡。
[0064]在所述测量槽21与所述密封圈26和盖体23配合使用，读取所述刻度214的度数时，将所述测量槽21密封好并竖立起来进行读取，由于测量槽21的第二侧板212的面积小于所述底板213的面积，可以更加精确地量测到所述第一子测量槽和第二子测量槽内度数的不同。
[0065]综上所述，本实用新型提供一种流量测量工具，所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。
[0066]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种流量测量工具，适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置，所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴，其特征在于，至少包括:测量槽和插板； 所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板，所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接； 所述插板固定于所述第一侧板的中部，将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分； 所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。
2.根据权利要求1所述的流量测量工具，其特征在于:还包括: 盖体，所述盖体与所述底板的大小相同；所述盖体四周设置有一端固定于所述盖体上的卡扣； 凹槽，位于所述第一侧板和第二侧板的顶部和插板顶部； 密封圈，置于所述凹槽内，适于密封所述测量槽； 且所述第一侧板和第二侧板上设置有与所述卡扣配合使用的卡扣凸起。
3.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于:所述刻度沿垂直于所述底板的方向设置，零刻度与所述底板相平齐。
4.根据权利要求2所述的流量测量工具，其特征在于:所述刻度沿平行于所述底板的方向设置，所述第一子测量槽的零刻度与一所述第二侧板相平齐，所述第二子测量槽的零刻度与所述插板相平齐。
5.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于:所述插板的高度等于所述测量槽的深度。
6.根据权利要求1或2所述的流量测量工具，其特征在于:所述测量槽为透明测量槽。
7.根据权利要求6所述的流量测量工具，其特征在于:所述测量槽为塑料测量槽。
8.根据权利要求2所述的流量测量工具，其特征在于:所述密封圈为橡胶密封圈。
9.根据权利要求1所述的流量测量工具，其特征在于:所述底板的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。
【文档编号】G01F11/00GK204007749SQ201420470378
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月20日 优先权日:2014年8月20日
【发明者】邹迎庆, 阮春军 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司