用于测量线接合器的毛细管的振幅的装置的制作方法

文档序号:17503055发布日期:2019-04-23 23:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于测量线接合器的毛细管的振幅的装置,其中,所述毛细管被安放在光源与探测器机构之间并且从由于所述毛细管而引起的射束的遮挡中能够确定所述振幅,

其特征在于,

- 由所述光源(1;101)发射出的射束经历分离成测量射束(M)和参考射束(R),其中,所述毛细管(K)的边缘在振动的状态中至少部分遮挡所述测量射束(M),而所述参考射束(R)不受到遮挡,以及

- 所述探测器机构包括配属于所述测量射束(M)的测量探测器(8.1;108.1)以及配属于所述参考射束(R)的至少一个参考探测器(8.2;108.2、108.3)并且从所述测量探测器(8.1;108.1)的和所述参考探测器(8.2;108.2、108.3)的彼此联接的输出信号(SM、SR)中能够确定所述毛细管(K)的振幅,第一成像光学系统沿着射线传播方向(Z)后置于所述光源(1;101),通过所述第一成像光学系统使所述光源(1;101)在所述测量射束(M)中和在所述参考射束(R)中进行成像到图像平面(B)中,在所述图像平面中所述毛细管(K)振动,在所述图像平面(B)与所述探测器机构之间布置有第二成像光学系统,通过所述第二成像光学系统将所述测量射束(M)和所述参考射束(R)进行聚焦到探测平面(D)中或者到隔板平面(E)中,相邻于所述探测平面(D)或者在所述隔板平面(E)中

- 在所述测量射束(M)中布置有隔板开口(7.1;107.1),所述测量探测器(8.1;108.1)沿射线传播方向(Z)后置于所述隔板开口;以及

- 在所述参考射束(R)中布置有隔板开口(7.2;107.2),所述至少一个参考探测器(8.2;108.2、108.3)沿射线传播方向(Z)后置于所述隔板开口。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一和/或所述第二成像光学系统分别包括折射的或者衍射的透镜(3.1、3.2、6.1、6.2;103、106),所述透镜布置在所述测量射束(M)中和布置在所述参考射束(R)中。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一成像光学系统如下构造,使得在所述图像平面(B)中的光源图像的直径(φB)小于所述毛细管(K)的直径(φK)的两倍。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述隔板开口(7.1、7.2;107.1、107.2)分别具有如下直径,所述直径处于聚焦的测量射束(M)和参考射束(R)的直径的一倍到三倍的范围内。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述测量探测器(8.1)和至少一个参考探测器(8.2)反平行地彼此相联接,从而在输出侧的接头处产生光电电流差信号(SM-SR),所述光电电流差信号能够输送给后置的跨阻抗放大器级(9),其将所述光电电流差信号(SM-SR)放大并且转化为电压信号(ΔS)。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,通过所述参考探测器(8.2)产生的参考信号(SR)用于调节所使用的光源(1)的强度。

7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述探测器机构包括两个参考探测器(108.2、108.3),其中,一个参考探测器(108.3)的所产生的参考信号(SRL)用于调节所使用的光源(101)的强度。

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