技术总结
本发明涉及半导体匀胶显影设备离心机主轴电机的加速度测量领域，具体的说是一种利用编码器测量离心机加速度的装置。本发明包括光耦隔离模块，输入端连接离心机编码器的输出端，接收离心机编码器输出的脉冲信号，输出端连接频率电压转换器的输入端；频率电压转换器，用于将接收到的脉冲频率转换成等比例的模拟电压信号，输出端连接MCU模块中的A/D模块；MCU模块，用于根据接收到的电压信号，计算出电压变换率，进而得到离心机的加速度值；显示模块，连接MCU模块，用于显示MCU模块得到的离心机的加速度值；按键模块，连接MCU模块，用于控制装置的运行/停止。本发明操作简单，避免了现有测量中的危险操作。
技术研发人员：苗涛;施强
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备有限公司
文档号码：201510695837
技术研发日：2015.10.23
技术公布日：2017.05.03