一种频率转换输出的高Q值谐振磁传感器的制作方法

文档序号:12714698阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种频率转换输出的高Q值谐振磁传感器,其特征在于,包括磁敏感单元(5)、振荡电路(7)和频率检测电路(8);所述磁敏感单元包括磁致伸缩单元(4)以及复合在磁致伸缩单元(4)上的高Q值谐振器;所述磁致伸缩单元(4)将因磁场作用而产生的磁致伸缩应力加载给所述高Q值谐振器;所述振荡电路(7)激励所述高Q值谐振器振荡,并输出载有所述高Q值谐振器谐振频率的电信号;所述频率检测电路(8)检测出所述谐振频率。

2.如权利1所述谐振磁传感器,其特征在于,所述高Q值谐振器为三梁谐振结构(1-1),其具有三个双端固定的振动梁;所述三梁谐振结构(1-1)通过其两端设置的谐振器固定座(3)复合在所述磁致伸缩单元(4)上;在所述三梁谐振结构(1-1)的中间梁的两端分别复合有压电驱动单元(2-1)和压电检测单元(2-2);压电驱动单元(2-1)和压电检测单元(2-2)分别通过其电极与所述振荡电路(7)的输入端和输出端连接。

3.如权利1所述谐振磁传感器,其特征在于,所述高Q值谐振器为单梁谐振结构(1-2);所述单梁谐振结构(1-2)复合在所述磁致伸缩单元(4)上,磁致伸缩单元(4)上设置有与振动梁相对应的开口;在振动梁的两端分别复合有压电驱动单元(2-1)和压电检测单元(2-2);压电驱动单元(2-1)和压电检测单元(2-2)分别通过其电极与所述振荡电路(7)的输入端和输出端连接。

4.如权利2或者3所述谐振磁传感器,其特征在于,所述振荡电路(7)为锁相振荡电路。

5.如权利1所述谐振磁传感器,其特征在于,所述高Q值谐振器为石英谐振结构(1-3),所述石英谐振结构(1-3)为矩形的石英晶体薄片,在其上下表面中间位置对称镀有电极(6);所述上下表面的电极分别与所述振荡电路(7)的输入端和输出端连接。

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