技术总结
本发明提出一种光学玻璃的材料均匀性检测方法，将被检镜划分为至少三个子孔径区域，分别对每个子孔径区域计算材料均匀性，再利用子孔径拼接算法计算得到被检镜的材料均匀性，另外，被检镜的倾斜姿态由监视干涉仪和侧面的平面反射镜监视和校正，因此不同子孔径的均匀性测试结果的倾斜状态完全一致，而由均匀性中的离焦和像散在子孔径干涉检测结果中引入的“倾斜”量可以被真实地保留，从而避免了被检镜全口径均匀性中出现不连续的拼接痕迹。本发明提出的方法在利用小口径移相干涉仪实现大口径光学玻璃材料均匀性的检测过程中，不仅可以实现材料均匀性的全部波像差绝对检测，而且可以消除不连续的拼接痕迹造成的检测误差。
技术研发人员：苗亮;张文龙;刘钰;马冬梅;金春水
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码：201510962393
技术研发日：2015.12.21
技术公布日：2016.12.21