低温存储系统的制作方法

文档序号:19399383发布日期:2019-12-13 18:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低温存储系统,其以冷却状态保存试样,该低温存储系统的特征在于,

具备:

保存试样的主体部;以及

载置在上述主体部上的盖部,

上述主体部通过分隔部件分为第一空间、第二空间,

在上述第一空间中收纳冷却上述试样的冷却介质,

在上述第二空间中配置加热收纳于该第一空间中的冷却介质的加热部,

上述盖部形成向外部排出由该冷却介质的加热而产生的气体的排出口,

上述盖部具备排出口开闭部,该排出口开闭部对上述排出口进行开闭,

上述主体部具备能从外部插入用于向带电粒子线装置导入的试样支架的插入口。

2.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

上述盖部通过在载置于上述主体部的面的一部分上设置台阶而形成上述排出口。

3.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

上述加热部配置于上述第二空间,且配置于上述分隔部件的一端侧周围。

4.根据权利要求3所述的低温存储系统,其特征在于,

上述试样配置于上述第一空间,且配置于上述分隔部件的另一端侧周围。

5.根据权利要求3所述的低温存储系统,其特征在于,

上述盖部在相当于设置于该主体部的加热部的上部的位置上形成上述排出口。

6.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

上述主体部具备向通过该插入口插入的试样支架搬运上述试样的试样搬运机构。

7.根据权利要求6所述的低温存储系统,其特征在于,

上述试样搬运机构是使上述试样旋转以及升降的轴状部件。

8.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

在上述主体部的内部且上述插入口的周边部具备加热从该插入口插入的试样支架的试样支架加热部。

9.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

在上述主体部的内部设置排气机构,

上述排气机构以从上述排出口排出由该冷却介质加热而产生的气体的方式进行送风。

10.根据权利要求1所述的低温存储系统,其特征在于,

上述主体部具备收纳上述试样的试样保存部,

上述试样保存部收纳试样保存部用冷却介质,

上述试样保存部用冷却介质的沸点比上述冷却介质高。

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