物理量检测装置的制作方法

本发明涉及检测例如被吸入内燃机中的吸入空气的物理量的物理量检测装置。

背景技术：

在专利文献1中表示了在形成有电路部的电路板设置测量物理量的传感元件，电路板的电路部配置于箱体中，电路板的传感元件曝露于副通路内部的空气流量测定装置的构造。在专利文献1中，电路板的传感元件用金属线电接合，接合部被合成树脂材料密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-47660号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

在如专利文献1所示那样传感元件的电接合部曝露于副通路内部时，为了保护其不受空气中所含的污损物或水滴等的影响而用合成树脂材料进行保护是一般的作法。但是，合成树脂材料通常由分配器等涂敷，在固化之前存在流动性，因此难以进行形状管理。于是，存在各自形状的偏差导致传感元件周边的空气流动发生变化，测量稳定性变差的情况。因此，必须减少合成树脂材料的形状变化引起的空气流动的影响。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供能够减少合成树脂材料的形状变化对空气流动的影响的物理量检测装置。

用于解决问题的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的物理量检测装置是检测通过主通路的被测量气体的物理量的物理量检测装置，其特征在于，包括：插入到上述主通路的内部的壳体；罩，其固定于该壳体，通过与上述壳体的协作来构成使上述被测量气体的一部分从上述主通路流入的副通路；收纳于上述壳体并露出到上述副通路内的电路板；安装于该电路板，在上述副通路内检测上述被测量气体的流量的传感元件；将该传感元件电连接到上述电路板的连接线；和合成树脂件，其通过涂敷于包括该连接线的上述传感元件与上述电路板的连接部分后固化，来密封该连接部分，上述罩具有突出到上述副通路内并覆盖上述合成树脂件的至少一部分的突出部。

发明效果

根据本发明，能够以简单的构造减少由合成树脂材料的形状偏差引起的被测量气体的流体变动的影响。另外，上述以外的技术问题、结构和效果可以通过以下的实施方式的说明得以明确。

附图说明

图1是表示在内燃机控制系统中使用本发明的物理量检测装置的一个实施例的系统图。

图2a是物理量检测装置的主视图。

图2b是物理量检测装置的后视图。

图2c是物理量检测装置的左视图。

图2d是物理量检测装置的右视图。

图2g是图2a的iig-iig剖视图。

图2e是物理量检测装置的俯视图。

图2f是物理量检测装置的仰视图。

图2h是图2g的iih的虚线部的放大图。

图3a是表示从物理量检测装置卸下正面罩的状态的主视图。

图3b是表示从物理量检测装置卸下背面罩的状态的后视图。

图3c是表示从物理量检测装置卸下正面罩和背面罩的状态的左视图。

图3d是表示从物理量检测装置卸下正面罩和背面罩的状态的右视图。

图3e是图3a的iiie-iiie剖视图。

图4a是说明壳体的其它实施例的后视图。

图4b是图4a所示的壳体的右视图。

图5a(a)是正面罩的主视图，图5a(b)是其va-va剖视图。

图5b(a)是正面罩的后视图，图5b(b)是其vb-vb剖视图。

图5c是图3a的vc的虚线部的放大图。

图6(a)是背面罩的主视图，图6(b)是其vi-vi剖视图。

图7a是电路板的主视图。

图7b是电路板的右视图。

图7c是电路板的后视图。

图7d是电路板的左视图。

图7e是图7a的viie-viie剖视图。

图7f是表示对应于图7a的viie-viie截面的其它实施例的图。

图7g是图7a的viig-viig剖视图。

图8a是说明传感器室的其它实施例的图，图8a(a)是传感器室的放大图，图8a(b)是图8a(a)的viiia-viiia剖视图。

图8b是说明传感器室的其它实施例的图，图8b(a)是传感器室的放大图，图8b(b)是图8b(a)的viiib-viiib剖视图。

图8c是说明传感器室的其它实施例的图，图8c(a)是传感器室的放大图，图8c(b)是图8c(a)的viiic-viiic剖视图。

图9a是说明端子连接部的构造的图。

图9b是说明端子连接部的构造的图。

图9c是图9a的ixc-ixc剖视图。

图9d是图9b的ixd-ixd剖视图。

图10a是说明物理量检测装置的电路结构的一例的图。

图10b是说明物理量检测装置的电路结构的其它实施例的图。

具体实施方式

以下说明的用于实施发明的方式(以下称为实施例)，能够解决对实际产品要求的各种问题，特别是能够解决用作检测车辆的吸入空气的物理量的检测装置时要解决的各种问题，达到各种效果。下述实施例要解决的各种问题之一是上述发明要解决的技术问题的栏中记载的内容，此外，下述实施例达到的各种效果之一是发明效果的栏中记载的效果。对于上述实施例所解决的各种问题，以及由下述实施例达到的各种效果，在下述实施例的说明中叙述。由此，下述实施例中叙述的实施例要解决的技术问题和技术效果也记载有发明要解决的技术问题的栏和发明效果的栏的内容以外的内容。

以下的实施例中，相同的附图标记即使图号不同也表示相同的结构，达到相同的作用效果。对于已说明的结构，有时仅在图中标注附图标记，而省略说明。

1.在内燃机控制系统使用本发明的物理量检测装置300的一个实施例

图1是表示在电子燃料喷射方式的内燃机控制系统中使用本发明的物理量检测装置300的一个实施例的系统图。基于具有发动机气缸112和发动机活塞114的内燃机110的动作，吸入空气作为被测量气体30从空气滤清器122被吸入，经由作为主通路124的例如吸气体、节流体126、吸气歧管128被引导至发动机气缸112的燃烧室。作为被引导至燃烧室的吸入空气的被测量气体30的物理量由本发明的物理量检测装置300检测，基于其检测出的物理量利用燃料喷射阀152供给燃料，与被测量气体30一起在混合气的状态下被引导至燃烧室。另外，本实施例中，燃料喷射阀152设置于内燃机的吸气口，在吸气口喷射的燃料与作为吸入空气的被测量气体30一起形成混合气，经由吸气阀116被引导至燃烧室，进行燃烧而产生机械能。

被引导至燃烧室的燃料和空气成为燃料和空气的混合状态，通过火花塞154的火花点火而爆发性燃烧，产生机械能。燃烧后的气体从排气阀118被引导至排气管，作为排气24从排气管向车外排出。作为被引导至所述燃烧室的吸入空气的被测量气体30的流量，由开度基于加速踏板的操作而发生变化的节流阀132控制。基于被引导至所述燃烧室的吸入空气的流量控制燃料供给量，驾驶员控制节流阀132的开度以控制被引导至所述燃烧室的吸入空气的流量，由此能够控制内燃机产生的机械能。

1.1内燃机控制系统的控制的概要

作为从空气滤清器122取入且在主通路124中流动的吸入空气的被测量气体30的流量、温度、湿度、压力等物理量由物理量检测装置300检测，表示吸入空气的物理量的电信号从物理量检测装置300输入控制装置200。此外，测量节流阀132的开度的节流阀角度传感器144的输出被输入至控制装置200，进而为了测量内燃机的发动机活塞114、吸气阀116、排气阀118的位置、状态以及内燃机的旋转速度，旋转角度传感器146的输出被输入至控制装置200。为了根据排气24的状态测量燃料量和空气量的混合比的状态，氧传感器148的输出被输入至控制装置200。

控制装置200基于作为物理量检测装置300的输出的吸入空气的物理量和基于旋转角度传感146的输出来测量出的内燃机的旋转速度，运算燃料喷射量、点火时期。基于这些运算结果，控制从燃料喷射阀152供给的燃料量、由火花塞154点火的点火时期。燃料供给量、点火时期实际上还基于由物理量检测装置300检测出的温度、节流阀角度的变化状态、发动机旋转速度的变化状态、由氧传感器148测量出的空燃比的状态更为细致地进行控制。控制装置200进而在内燃机的空转状态中，由空转空气控制阀156控制旁通节流阀132的空气量，控制空转状态的内燃机的旋转速度。

1.2物理量检测装置300的检测精度提高的重要性和物理量检测装置的搭载环境

作为内燃机的主要控制量的燃料供给量、点火时期均将物理量检测装置300的输出作为主要参数进行运算。由此，物理量检测装置300的检测精度的提高、经时变化的抑制、可靠性的提高对于车辆的控制精度的提高、可靠性的確保来说是很重要的。

特别是近年来，对于车辆的节省燃料的要求非常高，而且对于排气净化的要求也非常高。对于应对这些要求来说，由物理量检测装置300检测的吸入空气的物理量的检测精度的提高是极为重要的。此外，物理量检测装置300维持于高可靠性也很重要。

搭载物理量检测装置300的车辆在温度、湿度的变化大的环境中使用。物理量检测装置300优选也考虑到应对其使用环境的温度、湿度的变化，应对尘埃、污染物质等。

此外，物理量检测装置300安装于会受到来自内燃机的热的影响的吸气管中。因此，内燃机发出的热经由作为主通路124的吸气管传递至物理量检测装置300。物理量检测装置300通过与被测量气体30进行热传递而检测被测量气体30的流量，因此尽可能控制来自外部的热的影响是很重要的。

搭载于车中的物理量检测装置300，不仅是如以下所说明的那样解决在发明要解决的技术问题的栏中记载的问题，达到发明效果的栏中记载的效果，而且，如以下所说明的那样也充分考虑上述各种技术问题，解决作为产品被要求解决的各种技术问题，达到各种效果。物理量检测装置300所解决的具体的技术问题和达到的具体的效果在以下的实施例的记载中进行说明。

2.物理量检测装置300的结构

2.1物理量检测装置300的外观构造

图2a～图2h是表示物理量检测装置300的外观的图，图2a是物理量检测装置300的主视图，图2b是后视图，图2c是左视图，图2d是右视图，图2e是俯视图，图2f是仰视图，图2g是图2a的iig-iig剖视图，图2h是将图2g的要部iih放大表示的图。

物理量检测装置300具有壳体302、正面罩303和背面罩304。壳体302通过将合成树脂制材料模塑成形而构成，包括：用于将物理量检测装置300固定于作为主通路124的吸气体的凸缘311；具有从凸缘311突出而用于与外部设备进行电连接的连接器的外部连接部321；和从凸缘311以向主通路124的中心突出的方式延伸的测量部331。

在测量部331，在对壳体302进行模塑成形时通过嵌入成形来一体设置电路板400(参照图3a、图3b)。在电路板400设置有：用于检测在主通路124流动的被测量气体30的物理量的至少一个检测部；和用于处理由检测部检测到的信号的电路部。检测部配置在曝露于被测量气体30的位置，电路部配置在被正面罩303封闭的电路室。

在测量部331的正面和背面设置有副通路槽，通过与正面罩303和背面罩304的协作而形成第一副通路305。在测量部331的前端部设置有：用于将吸入空气等被测量气体30的一部分取入到第一副通路305的第一副通路入口305a；和用于使被测量气体30从第一副通路305回到主通路124的第一副通路出口305b。在第一副通路305的通路中途，电路板400的一部分突出，在其突出部分配置有作为检测部的流量检测部602(参照图3a)，检测被测量气体30的流量。

在比第一副通路305靠近凸缘311的测量部331的中间部，设置有用于将吸入空气等被测量气体30的一部分取入到传感器室rs的第二副通路306。第二副通路306通过测量部331和背面罩304的协作而形成。第二副通路306包括：为了取入被测量气体30而在上游侧外壁336开口的第二副通路入口306a；和为了使被测量气体30从第二副通路306回到主通路124而在下游侧外壁338开口的第二副通路出口306b。第二副通路306与在测量部331的背面侧形成的传感器室rs连通。在传感器室rs配置有在电路板400的背面设置的作为检测部的压力传感器和湿度传感器。

2.2基于物理量检测装置300的外观构造的效果

物理量检测装置300在从凸缘311向主通路124的中心方向延伸的测量部331的中间部设置有第二副通路入口306a，在测量部331的前端部设置有第一副通路入口305a。由此，不是将主通路124的内壁面附近的气体，而是能够将从内壁面离开的靠近中央部的部分的气体分别取入到第一副通路305和第二副通路306。由此，物理量检测装置300能够测定从主通路124的内壁面离开的部分的气体的物理量，能够减少与热量、内壁面附近的流速低下有关的物理量的测量误差。

测量部331形成为沿着从主通路124的外壁向中央去的轴较长地延伸的形状，如图2c和图2d所记载的形成为厚度较窄的形状。即，物理量检测装置300的测量部331形成为侧面的宽度薄而正面大致为长方形的形状。由此，物理量检测装置300能够具有足够长的第一副通路305，相对于被测量气体30能够将流体阻力抑制为较小的值。因此，物理量检测装置300能够将流体阻力抑制为较小的值并且以高精度测量被测量气体30的流量。

2.3凸缘311的构造和效果

在凸缘311，在与主通路124相对的下表面312设置有多个凹陷部313，以减少与主通路124间的热传递面，物理量检测装置300不易受到热的影响(图2f)。物理量检测装置300从设置于主通路124的安装孔将测量部331插入到内部，凸缘311的下表面312与主通路124相对。主通路124例如是吸气体，主通路124通常维持为高温。反之，在寒冷场所起动时，主通路124处于极低的温度。这样的主通路124的高温或低温的状态对各种物理量的测量造成影响，测量精度变低。凸缘311在下表面312具有凹陷部313，在与主通路124相对的下表面312与主通路124间形成有空间。由此，能够减少从主通路124对物理量检测装置300的热传递，防止由热引起的测定精度的下降。

凸缘311的螺纹孔314用于将物理量检测装置300固定于主通路124，以这些螺纹孔314的周围的与主通路124相对的面从主通路124远离的方式，在各螺纹孔314的周围的与主通路124相对的面与主通路124间形成有空间。由此，成为能够减少从主通路124对物理量检测装置300的热传递，防止由热引起的测定精度的下降的构造。

2.4外部连接部321的构造

外部连接部321具有连接器322，其设置在凸缘311的上表面，从凸缘311向着被测量气体30的流动方向下游侧突出。在连接器322设置有用于插入与控制装置200间进行连接的通信线缆的插入孔322a。在插入孔322a内，如图2d所示，在内部设置有4个外部端子323。外部端子323是用于输出作为物理量检测装置300的测量结果的物理量的信息的端子和用于供给使物理量检测装置300工作的直流电力的电源端子。

连接器322具有从凸缘311向被测量气体30的流动方向下游侧突出，从流动方向下游侧向上游侧插入的形状，但不限定于该形状，例如也可以具有从凸缘311的上表面垂直突出，沿测量部331的延伸方向插入的形状，能够进行各种变更。

3.壳体302的整体构造及其效果

3.1副通路和流量检测部的构造和效果

接着，使用图3a～图3e说明壳体302的整体构造。图3a～图3e是表示从物理量检测装置300卸下正面罩303和背面罩304的壳体302的状态的图，图3a是壳体302的主视图，图3b是壳体302的后视图，图3c是壳体302的左视图，图3d是壳体302的右视图，图3e是图3a的iiie-iiie剖视图。

壳体302形成为测量部331从凸缘311向主通路124的中心延伸的构造。电路板400通过嵌入成形而形成于测量部331的基端侧。电路板400在测量部331的正面与背面的中间位置沿测量部331的面平行配置，与壳体302一体地进行模塑，将测量部331的基端侧划分为厚度方向一侧和另一侧。

在测量部331的正面侧形成有收纳电路板400的电路部的电路室rc，在背面侧形成有收纳压力传感器421和湿度传感器422的传感器室rs。电路室rc通过将正面罩303安装于壳体302而被密闭，与外部完全隔离。另一方面，通过将背面罩304安装于壳体302，形成第二副通路306和作为经由第二副通路306与测量部331的外部连通的室内空间的传感器室rs。电路板400的一部从将测量部331的电路室rc与第一副通路305间分隔的分隔壁335向第一副通路305内突出，在该突出的部分的测量用流路面430设置有流量检测部602。

3.2副通路槽的构造

在测量部331的长度方向前端侧设置有用于形成第一副通路305的副通路槽。用于形成第一副通路305的副通路槽包括图3a所示的正面侧副通路槽332和图3b所示的背面侧副通路槽334。正面侧副通路槽332如图3a所示，随着从在测量部331的下游侧外壁338开口的第一副通路出口305b向上游侧外壁336去而逐渐向测量部331的基端侧即凸缘311侧弯曲，在上游侧外壁336的附近位置，与在厚度方向上贯通测量部331的开口部333连通。开口部333以在上游侧外壁336与下游侧外壁338之间延伸的方式，沿主通路124的被测量气体30的流动方向形成。

背面侧副通路槽334如图3b所示，从上游侧外壁336向下游侧外壁338去，在上游侧外壁336与下游侧外壁338的中间位置分成两条，一条作为排出通路保持一条直线状地延伸且在下游侧外壁338的排出口305c开口，另一条随着向下游侧外壁338去而逐渐向测量部331的基端侧即凸缘311侧弯曲，在下游侧外壁338的附近位置与开口部333连通。

背面侧副通路槽334形成从主通路124流入被测量气体30的入口槽，正面侧副通路槽332形成使从背面侧副通路槽334取入的被测量气体30回到主通路124的出口槽。正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334设置于壳体302的前端部，因此能够将离开主通路124的内壁面的部分的气体，换言之将在接近主通路124的中央部分的部分流动的气体作为被测量气体30取入。在主通路124的内壁面附近流动的气体受到主通路124的壁面温度的影响，通常具有与在被测量气体30等的主通路124流动的气体的平均温度不同的温度。此外在主通路124的内壁面附近流动的气体通常显示比在主通路124流动的气体的平均流速慢的流速。实施例的物理量检测装置300不易受到这样的影响，因此能够抑制测量精度的下降。

如图3b所示，在主通路124流动的被测量气体30的一部分从第一副通路入口305a取入到背面侧副通路槽334内，在背面侧副通路槽334内流动。被测量气体30中所含的质量大的异物与一部分的被测量气体30一起从分叉部流入保持一条直线状地延伸的排出通路，从下游侧外壁338的排出口305c向主通路124排出。

背面侧副通路槽334形成为随着前进而变深的形状，被测量气体30随着沿背面侧副通路槽334流动而逐渐向测量部331的正面侧移动。特别是背面侧副通路槽334在开口部333的跟前设置有急剧变深的陡倾斜部334a，质量小的空气的一部分沿陡倾斜部334a移动，在开口部333内在电路板400的测量用流路面430侧流动。另一方面，质量大的异物难以进行急剧的路径变更，因此在测量用流路面背面431侧流动。

如图3a所示，在开口部333在正面侧移动的被测量气体30沿电路板的测量用流路面430流动，与设置于测量用流路面430的流量检测部602间进行热传递，进行流量的测量。从开口部333流到正面侧副通路槽332的空气一起沿正面侧副通路槽332流动，从在下游侧外壁338开口的第一副通路出口305b向主通路124排出。

混入到被测量气体30中的杂质等质量大的物质由于惯性力大，因此难以沿着槽的深度急剧变深的陡倾斜部334a的部分的正面在槽的深的方向上急剧地改变前进方向。因此，质量大的异物移动到测量用流路面背面431侧，能够抑制异物通过流量检测部602附近。在本实施例中，气体以外的质量大的异物大多通过测量用流路面430的背面的测量用流路面背面431，因此能够降低油分、碳、杂质等异物导致的污染的影响，能够抑制测量精度的下降。即，由于具有沿着横穿主通路124的流向的轴的轴急剧改变被测量气体30的前进路径的形状，所以能够降低混入到被测量气体30的异物的影响。

3.3第二副通路和传感器室的构造和效果

第二副通路306以沿着被测量气体30的流动方向的方式，与凸缘311平行地在第二副通路入口306a与第二副通路出口306b之间形成为一条直线状。第二副通路入口306a通过将上游侧外壁336的一部分切开而形成，第二副通路出口306b通过将下游侧外壁338的一部分切开而形成。具体地说，如图3b所示，在连续地沿着分隔壁335的上表面的位置，从测量部331的背面侧将上游侧外壁336的一部分和下游侧外壁338的一部分切开而形成。第二副通路入口306a和第二副通路出口306b切至与电路板400的背面持平的深度位置(图3c)。第二副通路306沿着电路板400的基板主体401的背面使被测量气体30通过，因此作为冷却基板主体401的冷却通道起作用。电路板400多会产生lsi、微机等的热量，能够将这些热量传递至基板主体401的背面，由通过第二副通路306的被测量气体30散热。

在比第二副通路306靠测量部331的基端侧的位置设置有传感器室rs。从第二副通路入口306a流入第二副通路306的被测量气体30的一部分流入到传感器室rs，利用传感器室rs内的压力传感器421和湿度传感器422分别检测压力和相对湿度。传感器室rs相比于第二副通路306配置在测量部331的基端侧，因此能够使通过第二副通路306的被测量气体30的动压的影响较小。由此，能够提高传感器室rs内的压力传感器421的检测精度。

传感器室rs相比于第二副通路306配置在测量部331的基端侧，因此例如在测量部331以前端侧朝向下方的姿势状态安装于吸气通路时，能够抑制与被测量气体30一起流入第二副通路306中的污损物、水滴附着于压力传感器421、或配置于其下游的湿度传感器422。

特别是，在本实施例中，在传感器室rs内，外形比较大的压力传感器421配置在上游侧，外形比较小的湿度传感器422配置在压力传感器421的下游侧，因此能够抑制与被测量气体30一起流入的污损物、水滴附着于压力传感器421、湿度传感器422。由此，能够保护对污损物、水滴的耐性较低的湿度传感器422。

压力传感器421和湿度传感器422与流量检测部602相比不易受到被测量气体30的流动的影响，特别是湿度传感器422只要能够确保被测量气体30的水分的扩散水平即可，因此能够设置于与一条直线状的第二副通路306邻接的传感器室rs。与此不同，流量检测部602需要一定程度以上的流速，而且也需要考虑必须远离尘埃、污损物、以及对于波动的影响。由此，流量检测部602设置于具有环状旋转的形状的第一副通路305。

图4a、图4b是表示第二副通路的其它方式的图。

在该方式中，代替对上游侧外壁336和下游侧外壁338进行切开，在上游侧外壁336和下游侧外壁338设置贯通孔337，由此形成第二副通路入口306a和第二副通路出口306b。像上述的图3b～图3e所示的第二副通路那样，将上游侧外壁336和下游侧外壁338分别切开而形成第二副通路入口306a和第二副通路出口306b时，在该位置上游侧外壁336的宽度和下游侧外壁338的宽度局部变窄，因此由于模塑成形时的热传递等，以切口为起点，测量部331可能大致“く”字状地变形。根据本方式，代替切口设置贯通孔，因此能够防止测量部331大致“く”字状地折弯。由此，能够防止由于壳体302的变形导致相对于被测量气体30的检测部的位置和朝向发生改变而对检测精度造成影响，能够没有个体差地总是确保一定的检测精度。

图8a、图8b、图8c是说明第二副通路的其它实施例的图。

作为其它实施例，可以在背面罩304设置分隔第二副通路306与传感器室rs之间的分隔壁。根据该结构，能够从第二副通路306向传感器室rs间接地流入被测量气体30，减少动压对压力传感器的影响，抑制污损物、水滴向湿度传感器附着。

图8a是说明传感器室的构造的图，图8a(a)是传感器室的放大图，图8a(b)是图8a(a)的viiia-viiia剖视图。在图8a所示的例子中，在传感器室rs中，2个压力传感器421a、421b沿第二副通路306排成一列而设置，在其下游设置有1个湿度传感器422。划分壁352a、352b设置于背面罩304，通过在壳体302安装背面罩304，以在第二副通路306与传感器室rs之间延伸的方式配置。具体地说，在上游侧的压力传感器与传感器室rs的上游壁之间配置划分壁352a，遍及下游侧的压力传感与传感器室rs的下游壁之间沿着湿度传感器配置划分壁352b。

图8b是说明传感器室的其它实施例的构造的图，图8b(a)是传感器室的放大图，图8b(b)是图8b(a)的viiib-viiib剖视图。图8b所示的例子中，是仅有下游侧的压力传感器421b而省略上游侧的压力传感器421a的样式，相应地划分壁352c变长。下游侧的划分壁352d与图8a的划分壁352b同样，遍及下游侧的压力传感与传感器室rs的下游壁之间沿湿度传感器配置。由此，划分壁352a、352c能够使得被测量气体30不会直接接触压力传感器，能够使得动压的影响较小。此外，划分壁352b、352d能够抑制污损物、水滴附着于湿度传感器。

图8c是说明传感器室的又一实施例的构造的图，图8c(a)是传感器室的放大图，图8c(b)是图8c(a)的viiic-viiic剖视图。图8c所示的例子中，是2个压力传感器421a、421b双方被省略的样式，在传感器室rs仅设置1个湿度传感器422。上游侧的划分壁352e具有沿着第二副通路306与传感器室rs之间从传感器室rs的上游壁延伸至湿度传感器的上游位置，在下游端被折弯而与湿度传感器的上游侧相对的大致l字形状。划分壁352f与划分壁352b、352d同样遍及下游侧的压力传感器与传感器室rs的下游壁之间沿湿度传感器配置。由此，划分壁352e能够防止在通过第二副通路306的被测量气体30中包含的污损物、水滴向湿度传感器移动，能够保护湿度传感器不受这些污损物等影响。

3.4正面罩303和背面罩304的形状和效果

图5a是表示正面罩303的外观的图，图5a(a)是主视图，图5a(b)是图5a(a)的va-va剖视图，图5b(a)是后视图，图5b(b)是图5b(a)的vb-vb剖视图。图6是表示背面罩304的外观的图，图6(a)是主视图，图6(b)是图6(a)的vi-vi剖视图。

如图5和图6所示，正面罩303和背面罩304将壳体302的正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334封闭，由此形成第一副通路305。此外，正面罩303形成密闭的电路室rc，背面罩304将测量部331的背面侧的凹部封闭而形成第二副通路306和与第二副通路306连通的传感器室rs。

正面罩303在与流量检测部602相对的位置具有用于使第一副通路305的流路面积缩小的节流部356，为了在与测量用流路面430之间进行节流而使用。因此，优选成形精度高。正面罩303和背面罩304通过在模具中注入热可塑性树脂的树脂模塑工序形成，因此能够以高成形精度制作。

在正面罩303和背面罩304设置有用于供从测量部331突出的多个固定销350分别插入的多个固定孔351。正面罩303和背面罩304分别安装于测量部331的正面和背面，此时，在固定孔351插入固定销350而定位。沿正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334的边缘利用激光焊接等接合，同样沿电路室rc和传感器室rs的边缘利用激光焊接等接合。

图5c是包围图3a的流量检测部602周边的虚线部vc的放大图，图5c(a)～(d)表示几个实施例。

正面罩303具有突出至第一副通路305内且覆盖合成树脂件418的至少一部分的突出部353。如图2g、图2h、图3a所示，流量检测部602的一部分和其配线连接部分被合成树脂件418密封。合成树脂件418涂敷于包括金属线404的流量检测部602与电路板400的连接部分后固化，由此密封连接部分。合成树脂件418在固化后成为具有从电路板400突出的台阶的形状。合成树脂件418曝露于第一副通路305内的开口部333。

合成树脂件418曝露于副通路内的开口部333，由此在合成树脂件418与分隔壁335之间和合成树脂件418与正面罩303之间产生规定的空间。因此，在正面罩303侧，沿着合成树脂件418和电路板400的突出的台阶，设置有在与合成树脂件418相对的位置而且在合成树脂件418与分隔壁335间的空间配置的突出部353。

一般来说，合成树脂件418在固化工序中从常温过渡到高温时粘弹性下降，因此由于制造时的环境变化，在固化后的合成树脂件418的高度和形状会发生偏差。合成树脂件418的高度和形状的偏差影响流量检测部602周边的流动而使测量稳定性变差。因此，在罩侧设置突出部353，覆盖合成树脂件418的至少一部分，能够抑制被测量气体30通过合成树脂件418周边，特别是合成树脂件418与分隔壁335之间即合成树脂件418上表面，从而减少其影响。

图5c中，正面罩303侧的突出部353和节流部356的外形位置由点划线表示。图5c(a)和图5c(b)所示的方式中，构成副通路槽的壳体302的分隔壁335具有部分地向电路室rc侧凹陷的形状。通过像这样使分隔壁335成为向电路室rc侧凹陷的形状，能够将流量检测部602配置在分隔壁335附近，能够将第一副通路305以及壳体302的全长设计得较短。此外，图5c(a)的方式是确保电路板400的安装面积时有效的形状。此外，具有同样效果的凸形状并不限于图5c(a)和图5c(b)所示的方式。

正面罩303的突出部353向第一副通路305内突出，以形成开口部333的外周部的方式沿分隔壁335配置。突出部353配置成在从分隔壁335向位于流量检测部602侧的第一副通路305的环形中心部去的轴方向上覆盖至少1/3以上的合成树脂件418。

突出部353具有：与合成树脂件418相对的第一相对部353a；和在合成树脂件418与分隔壁335之间与基板400相对的第二相对部353b。第一相对部353a如图2h所示，形成于与最靠近流量检测部602的节流部356的最窄部没有阶差的同一平面，由此能够减少通过流量检测部602的被测量气体30的流体噪音。

第一相对部353a抑制被测量气体30通过其与合成树脂件418之间，第二相对部353b抑制被测量气体30通过合成树脂件418与分隔壁335之间。由此，被测量气体30能够不受合成树脂件418的高度、形状的影响地通过第一副通路305的开口部333，流量检测部602能够得到高的测量稳定性。

第二相对部353b从合成树脂件418与分隔壁335之间延伸至比合成树脂件418靠被测量气体30的流动方向的上游侧的位置和下游侧的位置。在合成树脂件418与电路板400间产生阶差，被测量气体30在上游侧通过合成树脂件418的台阶时发生剥离流，特别是合成树脂件418的形状根据制造工序的不同而发生偏差，由此可能导致流量检测部602的测量稳定性变差，通过使第二相对部353b延伸至合成树脂件418的上游侧和下游侧的位置，能够减小阶差的影响。

正面罩303通过树脂模塑工序制作得到，因此能够以高成形精度形成突出部353。另外，说明了使第二相对部353b向合成树脂件418的上游侧和下游侧这两方延伸的情况，但也可以采用仅向上游侧延伸的结构。

图5c(c)和图5c(d)所示的方式中，分隔壁335具有沿被测量气体30的流动方向一条直线状地延伸的形状。此时，以沿着合成树脂件418与电路板400的台阶的形状配置正面罩303的突出部353。并且，正面罩303的突出部353，以在从分隔壁335向第一副通路305的环形中心部去的轴向上覆盖至少1/3以上的合成树脂418的方式，配置在上游侧或上下游侧。

在图5c(d)所示的方式中，突出部353在比流量检测部602靠被测量气体30的流动方向上游侧的位置，具有在随着向流动方向下游侧去而逐渐接近流量检测部602的方向上倾斜的倾斜面354。倾斜面354设置于第二相对部353b。倾斜面354对流过第一副通路305的开口部333的被测量气体30的流动进行整流，能够提高流量检测部602的测量稳定性。

3.5电路板400的壳体302的固定构造和效果

接着说明电路板400向壳体302的利用树脂模塑工序的固定。以在成形副通路的副通路槽的规定部位，例如在本实施例中在正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334连接的部分即开口部333，配置电路板400的流量检测部602的方式，电路板400与壳体302一体模塑。

在壳体302的测量部331，将电路板400的基体部402的外周缘部通过树脂模塑埋设且固定于壳体302的部分设置为固定部372、373。固定部372、373从正面侧和背面侧夹着电路板400的基体部402的外周缘部而固定。

壳体302在树脂模塑工序制造。该树脂模塑工序，将电路板400内置于壳体302的树脂内，通过树脂模塑固定在壳体302内。由此，流量检测部602与用于在其与被测量气体30之间进行热传递而测量流量的副通路例如正面侧副通路槽332、背面侧副通路槽334的形状的关系即位置关系、方向的关系等，能够以极高的精度得以维持，能够将在每个电路板400产生的误差、偏差抑制为非常小的值。结果能够大幅改善电路板400的测量精度。与例如现有的使用粘接剂固定的方式相比，能够极大地提高测量精度。

物理量检测装置300多通过量产来生产，进行缜密的测量且用粘接剂粘接的方法在测量精度的提高方面存在极限。但是，像本实施例那样通过成形流动被测量气体30的副通路的树脂模塑工序来成形副通路且同时固定电路板400的话，能够大幅减少测量精度的偏差，能够大幅提高各物理量检测装置300的测量精度。

以例如图3a～图3e所示的实施例进一步进行说明，能够以高精度将电路板400固定于壳体302，使得正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334和流量检测部602之间的关系成为规定的关系。由此在量产的物理量检测装置300中能够分别以非常高的精度、稳定地得到各电路板400的流量检测部602与第一副通路305的位置关系、形状等的关系。

固定配置电路板400的流量检测部602的第一副通路305，例如正面侧副通路槽332和背面侧副通路槽334能够以非常高的精度成形，因此由这些副通路槽332、334形成第一副通路305的作业是由正面罩303、背面罩304覆盖壳体302的两面的作业。该作业非常简单，是引起测量精度下降的因素少的作业工序。此外，正面罩303、背面罩304由成形精度高的树脂模塑的工序生产。由此能够以高精度完成与电路板400的流量检测部602以规定的关系设置的副通路。通过这样的方法，能够提高测量精度并且得到高的生产性。

与此不同，现有技术中，制造副通路，接着将测量部用粘接剂粘接于副通路从而生产热式流量计。这样的使用粘接剂的方法中，粘接剂的厚度偏差较大，而且粘接位置、粘接角度在各个产品间存在偏差。因此在提高测量精度方面存在极限。而且在这些作业通过量产工序进行时，测量精度的提高更为困难。

本发明的实施例中，将电路板400通过树脂模塑固定并且同时通过树脂模塑成形用于形成第一副通路305的副通路槽。由此，能够确保副通路槽的形状且以极高精度在副通路槽固定流量检测部602。

关于流量的测量的部分，例如流量检测部602、安装流量检测部602的测量用流路面430被设置在电路板400的正面。流量检测部602和测量用流路面430从成形壳体302的树脂露出。即，不将流量检测部602和测量用流路面430用成形壳体302的树脂覆盖。将电路板400的流量检测部602、测量用流路面430保持原样地在壳体302的树脂模塑后也加以利用，在物理量检测装置300的流量测量中使用。由此，测量精度得以提高。

本发明的实施例中，将电路板400与壳体302一体成形，由此在具有第一副通路305的壳体302固定电路板400，因此能够将电路板400可靠地固定于壳体302。特别是，具有电路板400的突出部403贯穿分隔壁335而突出至第一副通路305的结构，因此第一副通路305与电路室rc间的密封性高，能够防止被测量气体30从第一副通路305漏入电路室rc，能够防止被测量气体30与电路板400的电路部件、配线等接触而将其腐蚀。

3.6端子连接部320的构造和效果

接着，以下对于端子连接部的构造使用图9a至图9d进行说明。图9a是说明端子连接部的构造的图，图9b是说明端子连接部的构造的图，图9c是图9a的ixc-ixc剖视图，图9d是图9b的ixd-ixd剖视图。

端子连接部320具有将外部端子323的内端部361与电路板400的连接端子412之间用金属线413连接的结构。如图9a所示，各外部端子323的内端部361从凸缘311侧突出至电路室rc内，与电路板400的连接端子412的位置相配合地彼此隔开规定间隔地排列配置。

内端部361如图9c所示配置于与电路板400的正面大致持平的位置。其前端从测量部331的正面向背面侧大致l字状地折弯而突出至测量部331的背面。各内端部361如图9d(a)所示，前端分别由连结部365连接，如图9d(b)所示，在模塑成形后连结部365被切离，各内端部361的前端被分成单个。

以内端部361和电路板400配置在同一平面上的方式进行的模塑工序中，各内端部361通过树脂模塑固定于壳体302。各内端部361为了防止变形和配置偏移在彼此由连结部365连接而一体化的状态下通过树脂模塑工序固定于壳体302。在固定于壳体302后，连结部365被切离。

内端部361以从测量部331的正面侧和背面侧被夹着的状态被树脂模塑，此时，在内端部361的正面，遍及整面地与模具抵接，在内端部361的背面，与固定销抵接。由此，焊接金属线的内端部361的正面不会由于树脂漏出而被模塑树脂覆盖，能够完全露出，能够容易地进行金属线的焊接。另外，用固定销按压内端部361而留下的痕迹的销孔340在测量部331形成。

内端部361的前端突出至在测量部331的背面形成的凹部341内。凹部341被背面罩304覆盖，通过激光焊接等，凹部341的周围与背面罩304连接且接合，形成密闭的室内空间。由此，能够防止内端部361与被测量气体30接触而腐蚀。

4.电路板400的外观

4.1具有流量检测部602的测量用流路面430的成形

在图7a～图7f表示电路板400的外观。另外，在电路板400的外观上记载的斜线部分表示由树脂模塑工序成形壳体302时由树脂覆盖电路板400而固定的固定面432和固定面434。

图7a是电路板的主视图，图7b是电路板的右视图，图7c是电路板的后视图，图7d是电路板的左视图，图7e是表示图7a的lsi部分的截面的viie-viie剖视图，图7f是与图7a的viie-viie截面对应的表示其它实施例的图，图7g是图7a的viig-viig剖视图。

电路板400具有基板主体401，在基板主体401的正面设置电路部和作为传感元件的流量检测部602，在基板主体401的背面设置作为传感元件的压力传感器421和湿度传感器422。基板主体401由玻璃环氧树脂制的材料构成，具有与成形壳体302的热可塑性树脂的热膨胀系数相同或近似的值。由此，能够减少在壳体302由嵌入成形时的热膨胀系数的差引起的应力，能够减少电路板400的变形。

基板主体401形成为具有一定厚度的平板形状，具有大致四边形状的基体部402和从基体部402的一边突出且比基体部402小一圈的大致四边形状的突出部403，形成为俯视时大致为t字形状。在基体部402的正面设置有电路部。电路部构成为在未图示的电路配线上，安装lsi414、微机415、电源调节器416、电阻或电容等芯片部件417等的电子部件。电源调节器416与微机415、lsi414等其它电子部件相比较，发热量多，因此配置在电路室rc的比较靠上游侧的位置。lsi414以包括金属线411的方式整体被合成树脂材料419密封，插入成形时的电路板400的处理性提高。

如图7e所示，在基板主体401的正面凹陷地设置有供lsi414嵌入的凹部402a。该凹部402a能够通过对基板主体401实施激光加工而形成。玻璃环氧树脂制的基板主体401与陶瓷制的基板主体相比较加工容易，容易设置凹部402a。凹部402a具有使lsi414的正面与基板主体401的正面持平(成为一个平面)的深度。通过像这样使lsi414的正面和基板主体401的正面的高度一致，使用金属线411将lsi414和基板主体401之间连结的接线容易进行，电路板400的制造变得容易。lsi414例如像图7f所示的那样，能够直接设置于基板主体401的正面。采用该构造时，包覆lsi414的合成树脂材料419更大幅地突出，但不需要基板主体401形成凹部402a的加工，能够使制造简单化。

突出部403在将电路板400嵌入成形于壳体302时配置在第一副通路305内，突出部403的正面即测量用流路面430沿被测量气体30的流动方向延伸。在突出部403的测量用流路面430设置有流量检测部602。流量检测部602与被测量气体30进行热传递，测量被测量气体30的状态例如被测量气体30的流速，输出表示流过主通路124的流量的电信号。为了使流量检测部602以高精度测量被测量气体30的状态，优选在测量用流路面430的附近流动的气体为层流而紊流较少。因此优选流量检测部602的正面和测量用流路面430的面持平或者其差为规定值以下。

在测量用流路面430的正面凹陷地设置有凹部403a，在其中嵌入流量检测部602。该凹部403a也能够通过实施激光加工而形成。凹部403a具有流量检测部602的正面与测量用流路面430的正面持平(为同一平面)的深度。流量检测部602由金属线(连接线)404与电路板400电连接。

流量检测部602在分隔壁335侧的端部设置有连接端子。电路板400在基板主体401的正面且在流量检测部602的连接端子的附近位置设置有未图示的连接端子。金属线404将流量检测部的连接端子与电路板的连接端子之间连接。

流量检测部602和作为其配线部分的连接部分被合成树脂件418包覆，防止由于盐水附着而发生电蚀。合成树脂件418涂敷于包括金属线404的流量检测部602与电路板400的连接部分后固化，由此密封连接部分。流量检测部602和合成树脂件418在基板主体401的板面在与通过第一副通路305内的被测量气体30的流动方向交叉的方向上排列配置。

在基板主体401的背面设置有2个压力传感器421a、421b和1个湿度传感器422。2个压力传感器421a、421b分成上游侧和下游侧而配置于一列。在压力传感器421b的下游侧配置湿度传感器422。这2个压力传感器421a、421b和1个湿度传感器422配置在传感器室rs内。图7c所示的例子中，说明了具有2个压力传感器421a、421b和一个湿度传感器422的情况，但如图8b(a)所示，也可以仅为压力传感器421b和湿度传感器422，或者如图8c(a)所示，也可以仅设置湿度传感器422。

电路板400在基板主体401的背面侧配置有第二副通路306。由此，能够利用通过第二副通路306的被测量气体30冷却基板主体401整体。

4.2温度检测部451的构造

在基体部402的上游侧的端边且在突出部403侧的角部，设置有温度检测部451。温度检测部451构成用于检测流过主通路124的被测量气体30的物理量的一个检测部，设置于电路板400。电路板400具有从第二副通路306的第二副通路入口306a向被测量气体30的上游突出的突出部450，温度检测部451具有设置于突出部450且位于电路板400的背面的芯片型的温度传感453。温度传感453和其配线部分被合成树脂材料包覆，能够防止由于盐水附着而发生电蚀。

例如图3b所示，在设置有第二副通路入口306a的测量部331的中央部，构成壳体302的测量部331内的上游侧外壁336向下游侧凹陷，电路板400的突出部450从所述凹陷形状的上游侧外壁336向上游侧突出。突出部450的前端配置在比上游侧外壁336的最靠上游侧的面更为凹陷的位置。温度检测部451以面向电路板400的背面即第二副通路306侧的方式设置于突出部450。

在温度检测部451的下游侧形成有第二副通路入口306a，因此从第二副通路入口306a流入第二副通路306的被测量气体30与温度检测部451接触后流入第二副通路入口306a，与温度检测部451接触时检测温度。与温度检测部451接触的被测量气体30保持原样从第二副通路入口306a流入第二副通路306，通过第二副通路306从第二副通路出口306b排出至主通路124。

5.物理量检测装置300的电路结构

5.1物理量检测装置300的电路结构的整体

图10a是物理量检测装置300的电路图。物理量检测装置300具有流量检测电路601和温湿度检测电路701。

流量检测电路601包括具有发热体608的流量检测部602和处理部604。处理部604控制流量检测部602的发热体608的发热量，并且将表示基于流量检测部602的输出的流量的信号经由端子662输出至微机415。为了进行所述处理，处理部604具有centralprocessingunit(以下记为cpu，中央处理单元)612和输入电路614、输出电路616、保持表示修正值、测量值与流量的关系的数据的存储器618，将恒定电压分别供给至必要的电路的电源电路622。从车载电池等外部电源经由端子664和未图示的接地端子向电源电路622供给直流电力。

在流量检测部602设置有加热被测量气体30的发热体608。从电源电路622向构成发热体608的电流供给电路的晶体管606的集电器供给电压v1，从cpu612经由输出电路616对所述晶体管606的基体施加控制信号，基于该控制信号，从所述晶体管606经由端子624向发热体608供给电流。供给到发热体608的电流量由从所述cpu612经由输出电路616施加于构成发热体608的电流供给电路的晶体管606的控制信号控制。处理部604控制发热体608的发热量，使得通过被发热体608加热，被测量气体30的温度与初始的温度相比高规定温度例如100℃。

流量检测部602包括用于控制发热体608的发热量的发热控制桥640和用于测量流量的流量检测桥650。恒定电压v3从电源电路622经由端子626被供给至发热控制桥640的一端，发热控制桥640的另一端与接地端子630连接。此外，恒定电压v2从电源电路622经由端子625被供给至流量检测桥650的一端，流量检测桥650的另一端与接地端子630连接。

发热控制桥640具有电阻值基于被加热的被测量气体30的温度而发生变化的作为测温电阻体的电阻642，电阻642和电阻644、电阻646、电阻648构成桥电路。电阻642与电阻646的交点a和电阻644与电阻648的交点b的电位差经由端子627和端子628输入至输入电路614，cpu612以使得交点a和交点b间的电位差成为规定值在该实施例中零伏的方式控制从晶体管606供给的电流，控制发热体608的发热量。图10a中记载的流量检测电路601以使得与被测量气体30的初始的温度相比高一定温度例如总是高100℃的方式用发热体608加热被测量气体30。为了高精度地进行该加热控制，以由发热体608加热后的被测量气体30的温度与最初的温度相比高一定温度例如总是高100℃时，所述交点a和交点b间的电位差成为零伏的方式，设定构成发热控制桥640的各电阻的电阻值。由此，流量检测电路601中，cpu612以使得交点a和交点b间的电位差成为零伏的方式控制向发热体608的供给电流。

流量检测桥650由电阻652和电阻654、电阻656、电阻658这4个测温电阻体构成。该4个测温电阻体沿着被测量气体30的流动方向配置，电阻652和电阻654相对于发热体608配置在被测量气体30的流路中的上游侧，电阻656和电阻658相对于发热体608配置在被测量气体30的流路中的下游侧。此外，为了提高测量精度，电阻652和电阻654以到发热体608的距离彼此大致相同的方式配置，电阻656和电阻658以到发热体608的距离彼此大致相同的方式配置。

电阻652和电阻656的交点c与电阻654和电阻658的交点d之间的电位差经由端子631和端子632输入至输入电路614。为了提高测量精度，例如以在被测量气体30的流动为零的状态下，所述交点c与交点d间的电位差成为零的方式设定流量检测桥650的各电阻。由此，所述交点c与交点d间的电位差例如为零伏的状态下，cpu612基于被测量气体30的流量为零的测量结果，将表示主通路124的流量为零的电信号从端子662输出。

被测量气体30在图10a的箭头方向流动时，配置在上游侧的电阻652、电阻654由被测量气体30冷却，配置在被测量气体30的下游侧的电阻656和电阻658被由发热体608加热后的被测量气体30加热，这些电阻656和电阻658的温度上升。因此，在流量检测桥650的交点c与交点d间产生电位差，该电位差经由端子631和端子632输入至输入电路614。cpu612基于流量检测桥650的交点c与交点d间的电位差，检索存储在存储器618中的表示所述电位差与主通路124的流量的关系的数据，求取主通路124的流量。表示这样求得的主通路124的流量的电信号经由端子662被输出。另外，图10a所示的端子664和端子662标注了新的附图标记，但包含于之前说明的图7a所示的连接端子412中。

在上述存储器618中，存储有表示上述交点c和交点d的电位差与主通路124的流量的关系的数据，而且存储有在电路板400的生产后，基于气体的实测值求得的用于减少偏差等测定误差的修正数据。

温湿度检测电路701包括：从温度传感453和湿度传感器422输入检测信号的放大器和a/d等输入电路、输出电路；保持表示修正值、温度与绝对湿度的关系的数据的存储器；和将恒定电压分别供给至需要的电路的电源电路622。从流量检测电路601和温湿度检测电路701输出的信号输入微机415。微机415具有流量计算部、温度计算部和绝对湿度计算部，基于信号计算作为被测量气体30的物理量的流量、温度、绝对湿度，输出至ecu200。

物理量检测装置300和ecu200之间由通信线缆连接，进行根据sent、lin、can等通信规格使用数字信号的通信。本实施例中，从微机415向lin驱动器420输入信号，从lin驱动器420进行lin通信。物理量检测装置300的从lin驱动器输出至ecu200的信息，使用单一或2线的通信线缆以数字通信重叠输出。

微机415的绝对湿度计算部基于从湿度传感器422输出的相对湿度的信息和温度信息计算绝对湿度，基于误差进行修正该绝对湿度的处理。由绝对湿度计算部计算出的修正后的绝对湿度由ecu18的控制部62用于各种发动机运转控制。此外，ecu18能够将总和误差的信息直接用于各种发动机运转控制。

另外，上述图10所示的实施例中，说明了物理量检测装置300具有lin驱动器420，进行lin通信的情况，但并不限定于此，如图10b所示，也可以不使用lin通信，而与微机415直接进行通信。

以上详细叙述了本发明的实施方式，但本发明并不限定于所述的实施方式，在不脱离记载于权利要求书的本发明的主旨的范围中，能够进行各种设计变更。例如，所述实施方式为了容易理解本发明而进行详细的说明，并不限定于必须具有说明的全部结构。此外，能够将某实施方式的结构的一部分置换为其它实施方式的结构，此外，能够在某实施方式的结构上添加其它实施方式的结构。进而，能够对各实施方式的结构的一部分添加、删除、置换其它结构。

附图标记说明

30被测量气体

124主通路

300物理量检测装置

302壳体

303正面罩

304背面罩

332正面侧副通路槽

333开口部

335分隔壁

353突出部

354倾斜部

356节流部

400电路板

404金属线(连接线)

418合成树脂件

421a、421b压力传感器

422湿度传感器

602流量检测部(传感元件)。