技术特征：
技术总结
本发明提出一种具有参考光束的激光位移传感器，由激光器、发射镜组、半反半透镜、反射镜、外壳、测控电路、电缆、光电器件、接收镜组、滤光片等部分组成，由激光器发出的激光束经过发射镜组和半反半透镜后产生两束激光：一束透过半反半透镜，形成测量光束，投向被测表面并形成测量光斑，再经过接收镜组后在光电器件上成像形成测量波形；另一束经过半反半透镜反射后形成参考光束，经过反射镜后直接投向光电器件，形成参考波形。测控电路对光电器件输出的两个波形进行处理，利用测量波形与参考波形的位置之差作为被测位移值的表征，由此实现位移检测，而且可以消除激光指向性的漂移产生的测量误差。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：上海砺晟光电技术有限公司
技术研发日：2016.05.30
技术公布日：2017.12.08