1.微机械加速度传感器(200),其具有至少两个一致地构造的微机械传感器芯(100,110),其特征在于,两个所述传感器芯(100,110)相对彼此旋转180度地布置在所述加速度传感器(200)上,或者,两个所述传感器芯(100,110)中的一个传感器芯相对于一个轴线镜像地布置,所述轴线居中地穿过所述两个传感器芯(100,110)中的另一个传感器芯延伸并且与能够作用到所述加速度传感器(200)上的横向力(F)正交地取向。
2.如权利要求1所述的微机械加速度传感器(200),其特征在于,所述至少两个微机械传感器芯构造为z传感器芯(100)。
3.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器(200),其特征在于,所述至少两个微机械传感器芯构造为横向传感器芯(110)。
4.用于制造微机械加速度传感器(200)的方法,该方法具有以下步骤:
-构造至少两个一致地构造的微机械传感器芯(100,110);
-其中,将两个所述传感器芯(100,110)中的一个传感器芯相对于另一个传感器芯(100,110)错开180度地布置在加速度传感器上;或者
-其中,将两个所述传感器芯(100,110)中的一个传感器芯相对于一个轴线镜像地布置,所述轴线居中地穿过所述两个传感器芯(100,110)中的另一个传感器芯延伸并且与能够作用到所述加速度传感器(200)上的横向力(F)正交地取向。