微机械加速度传感器的制作方法

文档序号:11131883阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种微机械加速度传感器(200),其具有至少两个一致地构造的微机械的传感器芯(100,110),其特征在于,这两个传感器芯(100,110)相对彼此旋转180度地布置在加速度传感器(200)上,或者,两个传感器芯(100,110)中的一个相对于一个轴线镜像地布置,所述轴线居中地延伸穿过两个传感器芯(100,110)的另一传感器芯并且与可作用于加速度传感器(200)上的横向力(F)正交地取向。

技术研发人员:G·N·C·乌尔希里;B·P·赫措根拉特
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
文档号码:201610368453
技术研发日:2016.05.30
技术公布日:2017.02.15

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