技术总结
一种基于白光干涉彩色条纹处理的多波长相移干涉测量方法：对白光干涉测试系统初始化，选择硅片作为被测物体；调节被测物体在可视范围内的光路上的位置，在扫描范围内对被测物体进行垂直扫描，保存图像；利用MATLAB软件对图像进行Bayer反变换，得到真实的彩色图像信息；求解彩色图像三通道R、G、B的中心波长；重新调节被测物体在光路上的位置，使被测物体置于聚焦点处，采集并保存七幅不同相位处的白光干涉彩色图像，利用7步相移法准确求解相位信息；利用等效波长法得到物体高度的初步估计，再用条纹级次法精确求解物体的高度信息，得到物体表面三维形貌。本发明一次测量实现多波长相移干涉，减小测量过程受外界环境影响的程度，提高测量精度。
技术研发人员：郭彤;顾玥;边琰;李峰;陈津平;傅星;胡小唐
受保护的技术使用者：天津大学
文档号码：201610705193
技术研发日：2016.08.22
技术公布日：2016.12.21