无胶封装高温涡街应力式传导传感器的制作方法

文档序号:11130813阅读:来源:国知局

技术特征:

1.无胶封装高温涡街应力式传导传感器,包括传感器壳体、壳体底端的悬臂梁,其特征在于壳体内悬臂梁上方设置有绝缘陶瓷底座,绝缘陶瓷底座上从下往上依次设置有压电陶瓷、绝缘陶瓷片、压紧蝶簧,压电陶瓷与绝缘陶瓷底座间设置有一镍金合金片,一镍金合金片上引出一根信号地线,压电陶瓷与绝缘陶瓷片之间设置有左右两片镍金合金片,左右两片镍金合金片分别引出一根信号线,压紧蝶簧上设置碟簧帽进行固定和压紧蝶簧。

2.根据权利要求1所述的无胶封装高温涡街应力式传导传感器,其特征在于压紧蝶簧为高温碟簧。

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