一种测量空气中相对湿度的光纤型传感器的制作方法

文档序号:12357860阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种测量空气中相对湿度的光纤型传感器,其特征在于:由宽带光源(1)、偏振控制器(2)、第一单模光纤(3)、第二单模光纤(4)、第三单模光纤(5)、氧化石墨烯薄膜(6)、进气口(7)、出气口(8)、气室底座(9)和气室屏障(10)光谱分析仪(11),第一二维光纤夹具(14),第二二维光纤夹具(15)组成;其中第三单模光纤(5)上面镀有氧化石墨烯薄膜(12),纤芯刻有倾斜的布拉格光栅(13),偏振控制器(2)左端与宽带光源(1)连接,右端与第一单模光纤(3)左端连接,第一单模光纤(3)右端与第三单模光纤(4)左端连接,第二单模光纤(4)左端与第三单模光纤(5)右端相连,第二单模光纤(4)右端与光谱分析仪(11)连接。

2.根据权利要求1所述的一种测量空气中相对湿度的光纤型传感器,其特征在于:所述的第三单模光纤(5)的倾斜布拉格光栅由28号单模光纤暴露在氟化氪脉冲激光器通过相位匹配的方法制作而成,光栅长度为10mm,光栅周期为556.6nm,倾斜角度为10°。

3.根据权利要求1所述的一种测量空气中相对湿度的光纤型传感器,其特征在于:所述的宽带光源(1)的波长范围为1420nm~1620nm。

4.根据权利要求1所述的一种测量空气中相对湿度的光纤型传感器,其特征在于:氧化石墨烯薄膜(6)作为湿度敏感膜,厚度为0.5~2μm。

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