一种带微流清洗的法布里‑珀罗光纤光栅多功能传感器的制作方法

文档序号:12265840阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带微流清洗的法布里-珀罗光纤光栅多功能传感器,由宽带光源(1),光纤F-P结构(2),光电探测器(3),检测腔(4),乳胶管(5),玻璃膜片(6),玻璃晶片(7),硅晶体(8),第一阀门(9),压电致动器(10),第二阀门(11),三通阀门(12),洗液池(13),清水池(14)组成;其特征在于:宽带光源(1)通过光纤连接到光纤F-P结构(2)检测腔(4)固定在两FBG间隔处,后接光电探测器(3)输出波形,微流清洗装置以玻璃晶片(7)为基座,洗液池(13)和清水池(14)由密封片隔开清洗液在乳胶管(5)内传输,通过三通阀门(12)进入微泵,压电致动器(10)的产生压差驱动流体,使流体先后通过阀1(9),阀2(11),形成的微流由出口流出到检测腔(4)进行清洗,使用过后的清洗液回流至洗液池(13)回收利用。

2.根据权利要求1所述的一种带有微流清洗装置的法布里-珀罗结构光纤光栅多功能传感器,其特征在于:光纤F-P传结构(2)两段Bragg光栅长度aL为4mm,折射率调制范围δn为0.8×10-4,光栅周期Λ为540μm。

3.根据权利要求1所述的一种带有微流清洗装置的法布里-珀罗结构光纤光栅多功能传感器,其特征在于:光纤F-P结构(2)的光纤光栅中心波长均为1550nm。

4.根据权利要求1所述的一种带有微流清洗装置基于法布里-珀罗结构光纤光栅多功能传感器,其特征在于:洗液池(13)清洗液采用酒精溶液。

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