技术总结
本发明公开了一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法，所述装置包括准分子激光器(1)、能量控制器(2)、平凹柱面镜(3)、平凸柱面镜(4)、分束镜(5)、能量探测器(6)、第一平面反射镜(7)、衍射光学元件(8)、傅里叶透镜(9)、第一准直物镜(10)、第一1/4波片(11)、第一1/2波片(12)、第二平面反射镜(13)、第一聚焦物镜(14)、小孔板(15)、第二准直物镜(16)、第二1/2波片(17)、偏振分光棱镜(18)、第二1/4波片(19)、第二聚焦物镜(20)、待测深紫外光学系统(21)、球面反射镜(22)、第一中继镜(23)、第二中继镜(24)和夏克‐哈特曼波前传感器(25)。本发明的装置和方法实现了深紫外光学系统集成装调过程中系统波像差的快速高精度检测。
技术研发人员：卢增雄;齐月静;苏佳妮;齐威;王宇;周翊
受保护的技术使用者：中国科学院光电研究院
文档号码：201611169812
技术研发日：2016.12.16
技术公布日：2017.05.31