技术总结
一种多码道光栅尺、测量设备及数据处理方法，该光栅尺包括第一光栅码道、第二光栅码道、线性渐变滤光片码道、两个光栅读数头以及渐变片读数头，三个码道相互平行并列，两个光栅读数头对应于第一、第二光栅码道而设置，渐变片读数头对应于线性渐变滤光片码道而设置，三个码道设置成沿长度方向水平移动，两个光栅读数头和渐变片读数头保持固定，并分别使用波长为λ的激光对第一光栅码道、第二光栅码道和线性渐变滤光片码道进行探测，其中光栅读数头获取光栅尺的位移‑干涉相位信息，渐变片读数头获取渐变片的位移‑反射光强度信息。本发明在保证测量精度和量程的同时大幅降低了绝对式光栅尺的系统复杂程度和成本。
技术研发人员：倪凯;李星辉;肖翔;周倩;王欢欢;曾理江;袁伟涵;苏晓;王晓浩
受保护的技术使用者：清华大学深圳研究生院
文档号码：201611217687
技术研发日：2016.12.26
技术公布日：2017.03.15