技术总结
本发明涉及一种基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法，涉及精密机械领域。解决传统精密角度量测量无法同时达到低成本、高精度、高可靠性、高温度适应性的问题。本发明的方法用千分表保证圆光栅安装位移量误差(包括偏心量、径跳、端跳)在10μm以内，而后使用金属多面体和高精度自准直仪，将位移量误差引起的圆周测角误差进行多区域标定，然后在区域内采用最小二乘法多项式曲线拟合的方式实时修正测角误差。本发明通过空间坐标变换的方法将位移量产生的误差直接转换至圆周测角误差，再通过多区域精密标定的方法拟合出误差修正参数，最后在测量时进行实时修正，降低了对圆光栅的安装要求，实现了使用单读数头达到较理想的角度测量精度。
技术研发人员：杨帅;王东鹤;唐伯浩;张涛
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码：201611232356
技术研发日：2016.12.28
技术公布日：2017.06.20