技术总结
本实用新型公开的一种激光光束质量测量装置，包括有设置于基板上的位置测量导轨滑台系统、透射‑反射系统和探测系统，还包括有设置于基板一侧的激光器，且在该基板上，位置测量导轨滑台系统位于透射‑反射系统及探测系统的上部，位置测量导轨滑台系统连接有宽度测量导轨滑台系统，透射‑反射系统位于激光器的光输出端，经激光器的光输出端射出的光传播至透射‑反射系统后能形成光路系统，探测系统位于该光路系统上。本实用新型的激光光束质量测量装置，能对激光光束的空间与时间特性进行快速、自动及高精度测量，解决了极细激光光斑宽度与脉冲特性的一体化测量问题。
技术研发人员：洪良;刘海强
受保护的技术使用者：西安工程大学
文档号码：201620490223
技术研发日：2016.05.26
技术公布日：2016.12.28