测量仪的制作方法

文档序号:12530312阅读:151来源:国知局
测量仪的制作方法与工艺

本实用新型涉及测量仪器技术领域,尤其涉及一种测量仪。



背景技术:

在TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)玻璃基板的生产过程中,通常通过测量运动过程中的基板玻璃的运动速度及运动时间来确定基板玻璃的切割尺寸。

目前,用于测量基板玻璃运动速度的测量仪通常包括激光探头和与其连接的控制系统,其中,该测量仪与运动着的基板玻璃没有接触连接,当需要测量基板玻璃的运动速度时,激光探头向运动着的基板玻璃发出激光,控制系统采集透过基板玻璃的光信息,并根据该光信号计算基板玻璃的运动速度。

然而,当基板玻璃划线完毕并由外力掰断时,基板玻璃会由于外力的作用而产生晃动,使得控制系统采集到不同的光信号,而该不同的光信号并不代表基板玻璃的真实位移信号,导致该测量仪测量基板玻璃的运动速度时存在测量误差,从而导致基板玻璃的切割尺寸不准确。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型实施例提供一种测量仪,主要目的是避免测量基板玻璃的运动速度时存在测量误差,提高基板玻璃切割尺寸的准确性。

为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:

本实用新型实施例提供了一种测量仪,用于测量基板玻璃的运动速度,包括:

固定件,用于与所述基板玻璃连接;

检测模块,其包括读头和与所述读头相适配的尺带,所述尺带的长度方向上记录有位移信息,所述尺带的长度方向与所述基板玻璃的运动方向平行,所述读头与所述固定件连接,用于通过所述固定件随着所述基板玻璃同步运动并读取所述位移信息;

计时模块,用于记录所述读头随着所述基板玻璃同步运动的时间信息;

计算模块,与所述读头和所述计时模块均连接,用于根据所述位移信息和所述时间信息计算所述读头的运动速度信息,所述读头的运动速度信息为所述基板玻璃的运动速度信息。

进一步地,该测量仪还包括:

支架,其上设置有导轨和滑动连接于所述导轨上的滑块,所述滑块沿所述导轨的滑动方向与所述基板玻璃的运动方向相同;

所述固定件包括吸盘,所述吸盘的一端用于与所述基板玻璃吸引连接,所述吸盘的另一端与所述滑块的一端连接;

所述读头与所述滑块的另一端连接;

所述尺带设置于所述支架上。

具体地,所述吸盘为自缓冲式吸盘。

进一步地,该测量仪还包括:

气缸,所述气缸包括活塞杆,所述活塞杆与所述支架连接;

所述测量仪还包括第一控制单元,所述第一控制单元与所述气缸和所述吸盘均连接,所述第一控制单元用于为所述吸盘提供或停止提供真空动力,以及控制所述气缸的活塞杆推动所述支架向靠近所述基板玻璃的方向移动或远离所述基板玻璃的方向移动,使所述吸盘吸住或脱离所述基板玻璃。

进一步地,该测量仪还包括:

采集模块,与所述计算模块连接,用于采集所述读头所读取的所述位移信息;

第一检测开关,设置于所述支架上,且与所述计时模块和所述采集模块均连接,所述第一检测开关用于检测所述读头是否随着所述滑块滑动至其所在的位置处;

当所述第一检测开关检测到所述读头随着所述滑块滑动至其所在的位置处时,向所述采集模块和所述计时模块同时发送第一控制信号,所述采集模块根据所述第一控制信号开始采集所述读头所读取的所述位移信息,以及所述计时模块开始计时。

具体地,第二检测开关,设置于所述支架上,且与所述计时模块和所述采集模块均连接,所述第二检测开关用于检测所述读头是否随着所述滑块滑动至其所在的位置处;

所述第一检测开关和所述第二检测开关的连线与所述滑块沿所述导轨的滑动方向平行;

当所述第二检测开关检测到所述读头随着所述滑块滑动至其所在的位置处时,向所述采集模块和所述计时模块同时发送第二控制信号,所述采集模块根据所述第二控制信号停止采集所述读头所读取的所述位移信息,以及所述计时模块停止计时。

具体地,所述读头通过安装架与所述滑块的另一端连接,所述安装架由磁性材料制成;

所述第一检测开关和所述第二检测开关均为磁感应开关。

具体地,所述计时模块、所述计算模块和所述采集模块构成第二控制单元。

具体地,所述第二控制单元还包括显示模块,所述显示模块与所述计算模块连接,所述显示模块用于显示所述运动速度信息。

具体地,所述读头为磁栅尺读头或光栅尺读头;

所述尺带为磁栅尺或光栅尺。

借由上述技术方案,本实用新型测量仪至少具有以下有益效果:

本实用新型实施例提供的测量仪,固定件用于与基板玻璃连接,检测模块的读头亦与固定件连接,实现当测量基板玻璃的运动速度时,读头可以随着基板玻璃进行同步运动,由于检测模块的尺带的长度方向与基板玻璃的运动方向平行,而且,尺带上所记录的位移信息沿尺带的长度方向布置,因此,当读头通过固定件随着基板玻璃同步运动时,读头在尺带上所读取的位移信息即准确对应于基板玻璃的运动距离,同时,计时模块所记录的读头的运动时间信息即准确对应于基板玻璃的运动时间,因此,计算模块根据计时模块所记录的基板玻璃的运动时间和读头所读取的位移信息计算出的读头的运动速度信息即为基板玻璃的准确运动速度信息。与现有技术相比,本实用新型实施例提供的测量仪,在测量基板玻璃的运动速度过程中,检测模块的读头通过固定件与基板玻璃连接,实现随着基板玻璃进行同步运动,使得读头在尺带上所读取的位移信息即为基板玻璃的真实位移信息,克服了因基板玻璃产生晃动而使测量过程中存在测量误差,提高了基板玻璃切割尺寸的准确性。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种测量仪的结构框图;

图2为本实用新型实施例提供的一种测量仪的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本实用新型申请的测量仪的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1和图2所示,本实用新型实施例提供了一种测量仪,用于测量基板玻璃1的运动速度,包括固定件,用于与基板玻璃1连接;检测模块3,其包括读头31和与读头31相适配的尺带32,尺带32的长度方向上记录有位移信息,尺带32的长度方向与基板玻璃1的运动方向平行,读头31与固定件连接,用于通过固定件随着基板玻璃1同步运动并读取位移信息;计时模块41,用于记录读头31随着基板玻璃1同步运动的时间信息;计算模块42,与读头31和计时模块41均连接,用于根据位移信息和时间信息计算读头31的运动速度信息,读头31的运动速度信息为基板玻璃1的运动速度信息。

该测量仪,包括用于与基板玻璃1连接的固定件2,该固定件的结构可以有多种,只要可以实现与基板玻璃1连接且在基板玻璃1运动的过程中不脱离基板玻璃1,而且,不会对基板玻璃1造成损伤即可,例如,固定件可以包括吸盘,通过吸盘的吸力与基板玻璃1连接,或者,该固定件还可以包括夹持部件,通过夹持部件来实现与基板玻璃1的连接等方式;检测模块3包括读头31和与该读头31相适配的尺带32,该读头31可以采用磁栅读头31或光栅读头31,尺带32可以采用磁栅尺或光栅尺。计算模块42用于根据读头31所读取的位移信息和计时模块41所记录的读头31的运动时间计算读头31的运动速度,由于尺带32的长度方向与基板玻璃1的运动方向相同,而且,基板玻璃1与读头31通过固定件连接,使得读头31随着基板玻璃1进行同步运动,因此,读头31在尺带32上所读取的位移信息即为基板玻璃1的位移信息,计时模块41所记录的读头31的运动时间即为基板玻璃1的运动时间信息,计算模块42所计算出的读头31的运动速度信息即为基板玻璃1的运动速度信息。

本实用新型实施例提供的测量仪,固定件用于与基板玻璃连接,检测模块的读头亦与固定件连接,实现当测量基板玻璃的运动速度时,读头可以随着基板玻璃进行同步运动,由于检测模块的尺带的长度方向与基板玻璃的运动方向平行,而且,尺带上所记录的位移信息沿尺带的长度方向布置,因此,当读头通过固定件随着基板玻璃同步运动时,读头在尺带上所读取的位移信息即准确对应于基板玻璃的运动距离,同时,计时模块所记录的读头的运动时间信息即准确对应于基板玻璃的运动时间,因此,计算模块根据计时模块所记录的读头的运动时间和读头所读取的位移信息计算出的读头的运动速度信息即为基板玻璃的准确运动速度信息。与现有技术相比,本实用新型实施例提供的测量仪,在测量基板玻璃的运动速度过程中,检测模块的读头通过固定件与基板玻璃连接,实现随着基板玻璃进行同步运动,使得读头在尺带上所读取的位移信息即为基板玻璃的真实位移信息,克服了因基板玻璃产生晃动而使测量过程中存在测量误差,提高了基板玻璃切割尺寸的准确性。

进一步地,参见图1,该测量仪还包括支架5,其上设置有导轨51和滑动连接于导轨51上的滑块52,滑块52沿所述导轨51的滑动方向与基板玻璃1的运动方向相同;固定件包括吸盘2,吸盘2的一端用于与基板玻璃1吸引连接,吸盘2的另一端与滑块52的一端连接;读头31与滑块52的另一端连接;尺带32设置于所述支架5上。通过在支架5上设置导轨51和滑动连接在导轨51上的滑块52,且固定件的吸盘2的另一端于滑块52连接,使得当吸盘2的一端吸住基板玻璃1后,吸盘2便可以通过滑块52随着基板玻璃1的运动在导轨51上进行滑动,而且,读头31与滑块52连接,尺带32亦设置在支架5上,使得读头31通过滑块52和吸盘2随着基板玻璃1的运动而运动并读取尺带32上的位移信息,操作简单合理。

具体地,吸盘2为自缓冲式吸盘。固定件采用自缓冲式吸盘吸住基板玻璃1后,当基板玻璃1在外力作用下产生晃动时,自缓冲式吸盘2能够对由于基板玻璃1的晃动而产生的冲击力起到缓冲作用,防止了由于基板玻璃1的晃动所产生的冲击力对支架5上的部件造成损坏,同时,也防止了该冲击力对基板玻璃1自身造成损坏。

进一步地,参见图1,该测量仪还包括气缸53,气缸53包括活塞杆531,活塞杆531与支架5连接;测量仪还包括第一控制单元6,第一控制单元6与气缸53和吸盘2均连接,第一控制单元6用于为吸盘2提供或停止提供真空动力,以及控制气缸53的活塞杆531推动支架5向靠近基板玻璃1的方向移动或远离基板玻璃1的方向移动,使吸盘2吸住或脱离基板玻璃1。其中,气缸53可以通过安装支架5固定在其它设备上,且在该设备上可以设置直线导轨56和滑动连接在该直线导轨55上的滑块56,且该滑块56沿直线导轨55的滑动方向与基板玻璃1垂直,从而实现气缸53的活塞杆531向靠近或远离基板玻璃1的方向推动支架5。当需要测量基板玻璃1的运动速度时,启动第一控制单元6,使第一控制单元6为吸盘2提供真空动力,以及使气缸53的活塞杆531推动支架5朝向基板玻璃1的方向移动,直到吸盘2吸住基板玻璃1为止;当基板玻璃1的运动速度测量完毕后,再次启动第一控制单元6,使第一控制单元6停止位吸盘2提供真空动力,以及使气缸53的活塞杆531推动支架5朝向远离基板玻璃1的方向移动,直到吸盘2脱离基板玻璃1为止,使操作人员的操作简单方便。具体在实施时,第一控制单元6可以包括一电磁阀和该电磁阀连接的控制器,通过控制器控制该电磁阀的气路中空气的流动方向来控制吸盘2吸住或脱离基板玻璃1。

进一步地,参见图2,该测量仪还包括采集模块43,与计算模块42连接,用于采集读头31所读取的位移信息;第一检测开关45,设置于支架5上,且与计时模块41和所述采集模块43均连接,第一检测开关45用于检测读头31是否随着滑块52滑动至其所在的位置处;当第一检测开关45检测到读头31随着滑块52滑动至其所在的位置处时,向采集模块43和计时模块41同时发送第一控制信号,采集模块43根据第一控制信号开始采集读头31所读取的位移信息,以及计时模块41开始计时。当需要测量基板玻璃1的运动速度时,首先手动将吸盘2移动至第一检测开关45之上,启动第一控制单元6使其为吸盘2提供真空动力,以及控制气缸53的活塞杆531推动支架5向靠近基板玻璃1的方向移动,直至吸盘2吸住基板玻璃1,然后释放吸盘2,使其通过滑块52随着基板玻璃1进行同步运动,当读头31运动至第一检测开关45的位置处时,采集模块43开始采集读头31所读取的位移信息,计时模块41开始计时,以使得计算模块42根据计时模块41所记录的运动时间信息和读头31所读取的位移信息计算出基板玻璃1的运动速度信息。其中,手动将吸盘2移动至第一检测开关45之上,使得吸盘2在第一检测开关45之上开始向下运动,可以保证采集模块43在采集读头31所读取位移信息前,基板玻璃1被牢固的吸引在吸盘2上,避免了由于吸盘2牢固地吸住基板玻璃1而导致基板玻璃1产生晃动而对测量结果造成影响。

进一步地,参见图2,该测量仪还包括第二检测开关46,设置于支架5上,且与计时模块41和所述采集模块43均连接,第二检测开关46用于检测读头31是否随着滑块52滑动至其所在的位置处;第一检测开关45和第二检测开关46的连线与滑块52沿所述导轨51的滑动方向平行;当第二检测开关46检测到所述读头31随着滑块52滑动至其所在的位置处时,向采集模块43和计时模块41同时发送第二控制信号,采集模块43根据第二控制信号停止采集读头31所读取的位移信息,以及计时模块41停止计时。如前所述,当释放吸盘2后,其通过滑块52随着基板玻璃1进行同步运动,当读头31运动至第一检测开关45的位置处时,采集模块43开始采集读头31所读取的位移信息,计时模块41开始计时,当读头31运动至第二检测开关46的位置处时,采集模块43停止采集读头31所读取的位移信息,计时模块41停止计时,以使得计算模块42根据计时模块41所记录的运动时间信息和采集模块43所采集的位移信息计算出基板玻璃1的运动速度信息。

具体地,参见图1,读头31通过安装架54与滑块52的另一端连接,安装架54由磁性材料制成;第一检测开关45和第二检测开关46均为磁感应开关。其中,磁感应开关与由磁性材料制成的安装架54之间相互配合工作,控制采集模块43开始或停止采集读头31所读取的位移信息,以及控制计时模块41开始或停止计时的原理均为现有技术,此处不再赘述。

具体地,参见图2,计时模块41、计算模块42和采集模块43构成第二控制单元4。

具体地,参见图2第二控制单元4还包括显示模块44,显示模块44与计算模块42连接,显示模块44用于显示运动速度信息。操作人员可以通过显示模块44观察并记录基板玻璃1的运动速度信息,使操作人员的操作更方便。

具体地,读头31为磁栅尺读头31或光栅尺读头31,尺带32为磁栅尺或光栅尺。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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