基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统的制作方法

文档序号:11051230阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统,其特征在于:包括聚焦透镜和DMD数字微镜,经过聚焦透镜的光束被DMD数字微镜反射后产生主瓣光路和旁瓣光路;沿主瓣光路的光线方向依次设置有主瓣成像镜头、主瓣衰减片和主瓣CCD探测器;沿旁瓣光路的光线方向依次设置有旁瓣成像镜头、旁瓣衰减片和旁瓣CCD探测器;所述DMD数字微镜、主瓣CCD探测器和旁瓣CCD探测器均与计算机相连。

2.根据权利要求1所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统,其特征在于:所述DMD数字微镜由微镜面阵列组成,每个微镜面均由尺寸不超过13μm×13μm的正方形反射镜片和位于反射镜片底部的转轴构成;在水平状态下,相邻两个微镜面的距离为1μm。

3.根据权利要求2所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统,其特征在于:所述微镜面可沿对角轴线翻转±10°。

4.根据权利要求2所述的基于数字微镜的大动态激光远场焦斑测量系统,其特征在于:所述微镜面可沿对角轴线翻转±12°。

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