电容式DOE完整性监控的制作方法

文档序号:11726762阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明题为“电容式DOE完整性监控”。本发明公开了一种光学模块,其包括第一透明衬底和第二透明衬底(22,23,40,42,82,84)以及位于第一透明衬底和第二透明衬底之间的间隔件(24,44,86),该间隔件保持第一透明衬底靠近第二透明衬底,其中第一衍射光学元件和第二衍射光学元件(DOE)(25,26,54,56,100,102)位于第一透明衬底和第二透明衬底的相应的面上。至少第一电容电极和第二电容电极(28,29,46,48,104,106)分别地设置在第一透明衬底和第二透明衬底上靠近第一DOE和第二DOE。电路(34,66,96)被耦接以测量至少第一电容电极和第二电容电极之间的电容的变化。

技术研发人员:H·D·诺博;K·A·索耶;M·B·阿丹兹克;Y·Z·阿尔纳哈斯;曲雨樵;M·克里曼;A·梅根
受保护的技术使用者:苹果公司
技术研发日:2017.01.05
技术公布日:2017.07.14
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