基于变角度无透镜傅里叶数字全息的物体三维形貌测量装置及方法与流程

文档序号:12710808阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于变角度无透镜傅里叶数字全息的物体三维形貌测量装置及方法,包括激光器,激光器通过光纤连接光纤分束器,光纤分束器分出两路光,一路作为物光,另一路作为参考光,物光路光纤的输出端放置于准直透镜的焦点上,参考光路光纤的输出端、分束棱镜以及CCD依次沿同一轴线布置,在垂直该轴线的方向上,待测物体与分束棱镜沿同一直线放置,物光光路通过旋转平台上的平面反射镜反射后照射待测物体,待测物体的反射光通过分束棱镜射入CCD,CCD和旋转平台均连接计算机控制和数据处理终端,通过傅里叶方法解调物光场相位,无需相移装置,减少了测量时间且降低了系统的复杂度,利用不同角度下物光场的干涉相位,最终由搜峰算法逐点解调出物体的高度分布,避免了解包裹过程。本装置测量精度高、时间短、能够适应复杂非连续物体。

技术研发人员:贾书海;董君;江超
受保护的技术使用者:西安交通大学
文档号码:201710044424
技术研发日:2017.01.21
技术公布日:2017.06.20

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