技术总结
本发明涉及一种同面共享电极型差动压力传感探头及其研制方法，属于测量技术领域。同面共享电极型差动压力传感探头包括由覆合有三条金属电极的绝缘薄膜构成的电极层、压阻材料层和高分子层。压阻材料层包括横跨在第一条边缘电极和中间电极之间负压阻系数敏感膜和横跨在第二条边缘电极和中间电极之间正压阻系数敏感膜。用本发明提出的方法研制的同面共享电极型差动压力传感探头可降低系统温漂并提高灵敏度，探头的所有电极都处于同一平面且中间电极由负压阻系数敏感膜和正压阻系数敏感膜共享，与传统的三明治探头相比，不但减少了电极数、还节省了一个电极层，更有利于安装在狭小空间，适用于电子皮肤研制或国防设备狭小曲面层间压力测量等领域。
技术研发人员：王璐珩
受保护的技术使用者：中南大学
文档号码：201710048408
技术研发日：2017.01.12
技术公布日：2017.05.24