修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器的制造方法
【专利摘要】提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。具有：确定部，确定外加负载增加时的极限负载FX；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载FX、生成使极限负载FX变化了时的迟滞的最大值的第一函数fPEAK(FX)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载FMAX时的迟滞的第二函数fHYS(FN/FX×FMAX)来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值；修正部，使用该修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容。
【专利说明】
修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器
技术领域
[0001]本发明涉及对具有迟滞特性的静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置、修正方法以及程序，该迟滞特性是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的误差进行变化的特性。
【背景技术】
[0002]负载传感器在使负载增加(渐增)的过程和使负载减少(渐减)的过程中，即使加载相同的负载，输出值也产生差。该差根据负荷传感器被加载的负载的履历而不同，所以称为迟滞误差。提出一种如下方案:为了修正该迟滞误差，不是维持原样地使用原来的渐增以及渐减迟滞特性，折返点的负载与下限负载值或者上限负载值之间的差基于相对于下限负载值与上限负载值之间的差所占有的比率，对原来的渐增以及渐减迟滞特性的渐增或者渐减误差极大值以及渐增或者渐减误差极大负载值进行修整，对渐增或者渐减迟滞修正特性进行估计(例如，参照专利文献I)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献I:日本特开2006 — 30126号公报
[0006]然而，在专利文献I所公开的发明中，存在如下问题:相对于最大负载折返点的误差，使用实际施加的负载的折返点，通过比例计算来计算出误差值，因此，负载的变化和迟滞误差的值线性地变化，也就是说，只能应用于进行比例且变化的负载传感器。
【发明内容】
[0007]本发明为了解决上述的问题，其目的在于提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0008]本发明中的修正装置是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正装置具有:确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载;修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。
[0009]根据上述构成，能够提供一种修正装置，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0010]优选地，本发明的修正装置的修正部在将上述外加负载设为Fn，将上述极限负载设为Fx，将上述静电电容式压力传感器的额定负载设为Fmax，将上述第一函数设为fPE?(Fx)，将上述第二函数设为fHYS(FN/FXXFMAX)的情况下，上述修正部从上述负载减少时的静电电容减去由上述修正值生成部生成的修正值fpEAK(Fx) X fHYs(FN/FxXFmax)，由此修正上述负载减少时的静电电容。
[0011]根据上述构成，仅从负载减少时的静电电容减去由修正值生成部生成的修正值，就能够修正负载减少时的静电电容。
[0012]优选地，本发明的修正值生成部对于负载增加时实际读取的静电电容，不生成修正值。根据上述构成，不需要负载增加时的修正，因此，能够减少运算处理的负荷。
[0013]优选地，本发明的上述第二函数fHYs(Fn/FxXFmax)是([AnX (Fmax/FxXFn)n+A(η-1)X(FMAx/FxXFN)(n-υ...+Al X (Fmax/FxXFn)+A0])，其中，AO?An为常数。
[0014]优选地，本发明的上述第一函数以及上述第二函数基于模拟结果或者实测值被规定。
[0015]本发明中的修正方法是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的方法，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正方法具有:确定部确定上述外加负载增加时的极限负载的工序;修正值生成部基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的工序，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的工序。
[0016]根据上述构成，能够提供修正方法，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0017]本发明中的程序是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的程序，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，该程序使计算机执行以下的步骤:确定上述外加负载增加时的极限负载的步骤;基于被确定的上述极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的步骤，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的步骤。
[0018]根据上述构成，提供一种程序，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0019]本发明的静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述静电电容式压力传感器具有:确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载;修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。
[0020]根据该构成，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正来高精度地检测外加负载。
[0021]优选地，本发明的静电电容式压力传感器还具备检测部，该检测部在上述外加负载的减少时，对负载减少时实际读取的静电电容变成由上述修正部修正后的上述静电电容的情况进行检测。
[0022]根据该构成，能够在外加负载Fn的减少时，使用简单的运算量来检测外加负载Fn变成设为检测对象的指定值的情况。
[0023]发明效果
[0024]如以上说明所示，根据本发明，能够提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
【附图说明】
[0025]图1是本发明的实施方式涉及的静电电容式压力传感器的构成图。
[0026]图2是本发明的实施方式涉及的修正装置所连接的负载传感器的构成图。
[0027]图3是本发明的实施方式涉及的修正装置的功能框图。
[0028]图4是表示本发明的实施方式涉及的修正装置的动作的流程图。
[0029]图5是本发明的其他实施方式涉及的静电电容式压力传感器的构成图。
[0030]符号说明
[0031]1,180静电电容式压力传感器
[0032]10 负载传感器
[0033]20 修正装置
[0034]21 A/D 转换器
[0035]22 CPU
[0036]23 存储器
[0037]101 确定部
[0038]102 存储部
[0039]103 修正值生成部
[0040]104 修正部[0041 ] 160 检测部
【具体实施方式】
[0042]以下，参照附图对本发明的实施方式详细说明。
[0043]图1是本发明的实施方式的静电电容式压力传感器I的构成图。图2是本实施方式涉及的修正装置20所连接的负载传感器10的构成图。图3是本实施方式涉及的修正装置20的功能框图。
[0044]如图1所示，静电电容式压力传感器I具有负载传感器10和修正装置20。
[0045]修正装置20与负载传感器10连接，对从负载传感器10输出的检测值进行修正。在本实施方式中使用的负载传感器10是静电电容式压力传感器，如图2所示，该负载传感器10由2个电极11、12、以及被该2个电极11、12夹着的电介质13构成。图2(a)表示负载外加前的负载传感器10的状态，图2(b)表示负载外加后的负载传感器10的状态。如图2(b)所示，在额定负载内外加负载Fn的状态下，电介质13弹性变形而厚度变薄。
[0046]如图2(a)所示，在将没有外加负载的状态的电介质13的厚度设为do时，负载外加前的负载传感器10的静电电容Co用以下的(I)式来表示。另外，将电极11、12对置的面积设为S，将电介质13的介质常数设为ε。
[0047][数式I]
[0048]Co= ε.S/d0...(I)
[0049 ]在此，在将电介质13的弹簧常数设为k时，由负载Fn引起的电介质13的厚度的变化dN能够用以下的(2)式来表示。
[0050][数式2]
[0051]dN=FN/k...(2)
[0052]根据上述(I)式以及(2)式，外加负载Fn的状态下的静电电容Cn用以下的(3)式来表不O
[0053][数式3]
[0054]Cn= ε.S/(do-dN) = ε.S/(do-FN/k)...(3)
[0055]作为静电电容型的负载传感器的特征，能够列举出相对于负载Fn的增加，静电电容Cn大致线性地增加。另外，与压电元件型的负载传感器相比，能够增大与负载相对的位移量。然而，在静电电容型的负载传感器中，负载增加时和负载减少时的静电电容的值的转移不同。
[0056]另外，负载传感器10的静电电容能够使用现有的技术来求出。例如，能够根据在2个电极11、12的负载不存在的情况下的频率与负载存在的情况下的频率之间的比来求出。另外，在此所说的频率是通过RC充电的时间常数和运算放大器的基准电压而决定的振荡频率的情况。
[0057]本实施方式涉及的修正装置20对该负载增加时和负载减少时的静电电容的值的差(以下，迟滞误差)进行修正。如图1所示，修正装置20具备:将从负载传感器10输出的模拟信号转换成数字信号的A/D转换器21;作为运算处理装置的CPU22;以及作为存储装置的存储器23。
[0058]图3是本实施方式涉及的修正装置20的功能框图。图3所示的功能是通过由CPU22从存储器23读入程序PRG以及数据来实现的。如图3所示，修正装置20具有确定部101、存储部102、修正值生成部103以及修正部104。
[0059 ]确定部1I确定对负载传感器1外加了负载时的外加负载增加时的极限负载Fx。在此，所谓极限负载Fx不是负载传感器10的额定负载，而是在对负载传感器10外加了负载时，外加负载到哪种程度，也就是说外加的负载的最大值。
[0060]在存储部102存储有生成使极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数(fPEAK(Fx))、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmm时的迟滞的第二函数(fHYS(Fn/FxXFmax))。在下面，对第一函数(fpEAK(Fx))以及第二函数(fHYS(FN/FxXFMAx))进行说明。[0061 ] 在本实施方式中，第一函数(fpEAK(Fx))以及第二函数(fHYS(FN/FxXFMAX))基于模拟结果或者实测值被规定。
[0062]最初，在将表示在负载传感器10产生的迟滞的第二函数设为fHYS(FN)时，第二函数fHYS(FN)定义成负载增加时和负载减少时的负载传感器10的静电电容的差，所以，能够用以下的(4)式来表示。
[0063][数式4]
[0064]fhys(Fn) =Cup(Fn)—Cdown(FN)...(4)
[0065 ]在此，Cup ( Fn )是负载增加时的外加负载Fn的负载传感器1的静电电容。另外，Cd_(Fn)是负载减少时的外加负载Fn的负载传感器10的静电电容。
[0066]另外，在静电电容式压力传感器的情况下，该迟滞根据最大极限负载fMAX而变化，所以，表示极限负载Fmm之时的迟滞曲线的第二函数fHYS(FN)能够如以下的(5)式所示进行定義。
[0067][数式5]
[0068]Hys(Fmax,Fn) = Thys(Fn)...(5)
[0069]随后，使迟滞曲线的形状近似成不依据于极限负载Fx的一定的曲线形状，使用第一函数fPE?(Fx)对使极限负载Fx变化了时的迟滞的PEAK值(最大值)近似，使用最大极限负载Fmax对外加负载Fn正规化，成为以下的(6)式。
[0070][数式6]
[0071]Hys(Fx,Fn) =fpeak(Fx) XfHYs(FN/FxXFMAx)...(6)
[0072]其中，
[0073]Fn=O ?Fx
[0074]Fx = O ?Fmax
[0075]另外，所谓使用最大极限负载Fmm对上述的外加负载Fn正规化不是统计学上的正规化，在达到Peak负载时(负载的折返点)，迟滞为零，因此，意味着以迟滞比=负载减少(Down)/负载增加(Up) = I为基准进行计算。
[0076]根据上述(6)式可知，根据极限负载Fx、生成使极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数fPEAK (Fx)以及表不最大极限负载Fmax之时的迟滞的第二函数fHYS (Fn/Fx XFmax)，能够求出迟滞Hys (Fx，Fn )。另外，f peak(Fx)以及f hys (Fn/Fx X Fmax)事先通过模拟、实测等进行测量，无需事先设定。
[0077]第二函数f HYS ( Fn/Fx X Fmax )是以外加了负载传感器1的额定负载Fmax时的迟滞为基础，生成根据极限负载Fx而决定的外加负载Fn的迟滞的函数。
[0078]另外，上述第二函数fHYS(FN/FxXFMAx)能够通过以下的(7)式进行近似。
[0079]在式(7)中，AO?An常数，通过模拟等被决定。
[0080][数式7]
[0081]fHYS(Fn/Fx X Fmax) = ([An X (Fmax/Fx X Fn)n+A(η-1) X (Fmax/Fx X Fn)(η_1}...+AlX(Fmax/FxXFn) +AO])...(7)
[0082]通过上述处理，能够计算使用了代表值的近似值，同时能够根据读取的静电电容值计算迟滞成分。另外，能够减少求出迟滞的运算处理的负荷。
[0083]修正值生成部103基于在确定部101确定的极限负载Fx、生成使存储于存储部102的极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数fPE?(Fx)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmax时的上述迟滞的第二函数fHYS (Fn/Fx X Fmax)，来生成在负载减少时实际读取的静电电容的修正值。
[0084]修正部104使用在修正值生成部103生成的修正值，来对在外加负载减少时实际读取的静电电容进行修正。具体地讲，如以下的(8)式所示，从负载减少时的负载传感器10的静电电容的读数值Cd_(FN)减去作为误差的迟滞HyS(Fx，FN)来计算出修正后的静电电容的读数值C。.(Fn)。
[0085][数式8]
[0086]Ccorr(Fn) = Cdown(Fn)-Hys(Fx,Fn)...(8)
[0087]另外，在将(6)式代入上述(8)式时，能够得到以下的(9)式。
[0088]Ccorr(FN) =Cdown(FN)—fPEAK(Fx) X fHYS(FN/Fx X FmAX)...(9)
[0089]另外，在本实施方式涉及的修正装置20中，在负载增加时的负载传感器10的读数值中不含有迟滞，因此，维持原样地使用读数值。
[0090]随后，对修正装置20的动作进行说明。
[0091]最初，在对负载传感器10外加负载时，修正装置20的确定部101判断负载是否正减少(步骤SlOl )。在负载没有正减少的情况(步骤SlOl的No)，修正装置20判断为是负载增加时，将负载传感器10的读数值不修正而输出(步骤S102)。
[0092]在负载正减少的情况下(步骤SlOl的Yes)，修正装置20的确定部101确定对负载传感器10外加的负载的极限负载Fx(步骤S103)。随后，修正装置20的修正值生成部103基于确定出的极限负载Fx、生成使存储于存储部102的极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数fPEAK(Fx)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmax时的上述迟滞的第二函数fms(Fn/Fx X Fmax)，生成修正值(步骤S104)。
[0093]随后，修正装置20的修正部104基于生成的修正值，对负载传感器10的读数值进行修正(步骤S105)。随后，修正装置20输出修正后的负载传感器10的读数值(步骤S106)。在动作结束的情况下(步骤S107的Yes)，修正装置20结束动作。另外，在动作没有结束的情况下(步骤S107的No)，修正装置20继续动作。
[0094]如上所述，本实施方式涉及的修正装置20是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，该修正装置20具有:确定部101，确定外加负载增加时的极限负载Fx;修正值生成部103，基于在确定部确定的极限负载Fx、生成使极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmm时的迟滞的第二函数，来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值；以及修正部104，使用由修正值生成部生成的修正值，对外加负载减少时实际读取的静电电容进行修正。因此，能够提供一种修正装置，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0095]在本发明中，修正装置20的修正部104通过从负载减少时的静电电容减去由修正值生成部103生成的修正值f Peak(Fx) X fHYS (Fn/Fx X Fmax)，由此，对负载减少时的静电电容进行修正。因此，仅从负载减少时的静电电容减去由修正值生成部103生成的修正值，就能够修正负载减少时的静电电容。
[0096]另外，本实施方式涉及的修正装置20的修正值生成部103对于负载增加时实际读取的静电电容，不生成修正值。因此，不需要负载增加时的修正。其结果是，能够减少运算处理的负荷。
[0097]本实施方式涉及的修正方法是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的方法，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，该修正方法具有:确定部101确定外加负载增加时的极限负载Fx的工序;修正值生成部103基于由确定部确定的极限负载Fx、生成使极限负载Fx变化了时的上述迟滞的最大值的第一函数、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmax时的迟滞的第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的工序；以及修正部104使用由修正值生成部生成的修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容的工序。因此，能够提供一种能够修正方法，对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0098]本实施方式涉及的程序是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的程序，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，该程序使计算机执行以下步骤:确定外加负载增加时的极限负载Fx的步骤;基于被确定的极限负载Fx、生成使极限负载Fx变化了时的迟滞的最大值的第一函数、生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载Fmm时的迟滞的第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的步骤；以及使用由修正值生成部生成的修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容的步骤。因此，能够提供一种程序，对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。
[0099](其他实施方式)
[0100]另外，本发明不限定于上述实施方式，在不脱离其主旨的情况下，能够适当地设计变更并具体化。
[0101]图5是本发明的其他实施方式涉及的静电电容式压力传感器180的构成图。
[0102]如图5所示，在静电电容式压力传感器180中，在图1所示的修正装置20的后段设置检测部160。
[0103]在该例子中，作为外加负载Fn，使用成为检测对象的指定值。该指定值例如为2.5No
[0104]检测部160在负载减少时，对从图3所示的修正装置20的修正部104输入的修正后的静电电容进行监视，检测该修正后的静电电容是否变成上述指定值。
[0105]根据该构成，能够在外加负载Fn减少时，使用简单的运算量来检测外加负载Fn变成设为检测对象的指定值的情况。
【主权项】
1.一种修正装置，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器， 上述修正装置具有: 确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载； 修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及 修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。2.如权利要求1所述的修正装置，其中， 将上述外加负载设为Fn，将上述极限负载设为Fx，将上述静电电容式压力传感器的额定负载设为Fmax， 将上述第一函数设为fPEAK(Fx)， 将上述第二函数设为fHYS(FN/Fx X Fmax)的情况下， 上述修正部从上述负载减少时的静电电容减去由上述修正值生成部生成的修正值fPEAK(Fx) XfHYs(FN/FxXFmax)，由此修正上述负载减少时的静电电容。3.如权利要求1或2所述的修正装置，其中， 上述修正值生成部对于负载增加时实际读取的静电电容不生成修正值。4.如权利要求2所述的修正装置，其中， 上述第二函数fHYs(FN/Fx[An X (Fmax/FxXFn) n+A(n_l) X (Fmax/FxXFn) (n_1)...+Al X (Fmax/FxXFn)+AO])， 其中，AO?An为常数。5.如权利要求3所述的修正装置，其中， 上述第二函数fHYS(FN/Fx[An X (Fmax/FxXFn) n+A(n_l) X (Fmax/FxXFn) (n_1)...+Al X (Fmax/FxXFn)+AO])， 其中，AO?An为常数。6.如权利要求1或2所述的修正装置，其中， 上述第一函数以及上述第二函数基于模拟结果或者实测值被规定。7.一种修正方法，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的方法，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器， 上述修正方法具有: 确定部确定上述外加负载增加时的极限负载的工序； 修正值生成部基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的工序，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及 修正部使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的工序。8.—种程序，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的程序，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器， 该程序使计算机执行以下的步骤: 确定上述外加负载增加时的极限负载的步骤； 基于被确定的上述极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的步骤，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及 使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的步骤。9.一种静电电容式压力传感器，是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述静电电容式压力传感器具有:确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载;修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。10.如权利要求9所述的静电电容式压力传感器，其中， 使用成为检测对象的指定值作为上述外加负载， 上述静电电容式压力传感器还具备检测部，该检测部在上述外加负载的减少时，对负载减少时实际读取的静电电容变成由上述修正部修正后的上述静电电容的情况进行检测。
【文档编号】G01L9/12GK105987787SQ201610147704
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年3月15日
【发明人】平塚和彦, 铃木素, 椎根智宏, 五十岚隆雄
【申请人】阿尔卑斯电气株式会社