电容型压力传感器及其制备方法
【专利摘要】本发明提供了一种电容型压力传感器及其制备方法。所述电容型压力传感器包括：第一基底和第二基底；设于第一基底上的第一电极层和设于第二基底上的第二电极层，第一电极层和第二电极层位于第一基底和第二基底之间；设于第一电极层和第二电极层之间的介电层；所述介电层包括多个凸起。该制备方法包括：形成第一基底和第二基底；在第一基底上布设第一电极层，在第二基底上布设第二电极层；形成包括多个凸起的介电层；将介电层布设于第一电极层上；将第一基底、第一电极层及介电层的组合放置于第二电极层上使介电层位于第一电极层与第二电极层之间。本发明大幅度提高了电容型压力传感器的灵敏度，有效缩短了传感器的响应时间。
【专利说明】
电容型压力传感器及其制备方法
技术领域
[0001]本发明属于压力传感器领域，具体地讲，涉及一种电容型压力传感器及其制备方 法。
【背景技术】
[0002] 近年来，随着柔性电子学的发展，电容型压力传感器作为一种能够实时感测到外 界压力变化的传感器已经广泛应用于我们的日常生活和工业生产中。电容型压力传感器在 柔性显示、电子皮肤、可穿戴式监测设备、植入式医疗康复监测以及仿生机器人等领域表现 出了极大的应用潜力。目前柔性电容型压力传感器的常见制备方法是将柔性聚合物基底与 导电材料组装成传感器件。由于电容响应型柔性压力传感器中的介电层是实现传感性能的 关键部位，且传统的柔性介电层材料大多为平板状的聚合物薄膜，这使得电容型压力传感 器的灵敏度普遍不高，严重限制了电容响应型柔性压力传感器的应用。
[0003] 因此，现有技术还有待于改进和发展。
【发明内容】
[0004] 为了解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供了一种高灵敏度的电容型压力 传感器。
[0005] 本发明提供了一种电容型压力传感器，所述电容型压力传感器包括:第一基底和 第二基底;设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述 第一电极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间；设于所述第一电极 层和所述第二电极层之间的介电层;所述介电层包括多个设于所述第一电极层和所述第二 电极层之间的凸起。
[0006] 进一步地，所述凸起包括连接所述第一电极层的延伸部、以及自所述延伸部延伸 而朝向所述第二电极层的尖部;所述尖部在平行于所述第一电极层方向上的横截面积小于 所述延伸部在平行于所述第一电极层方向上的横截面积。
[0007] 进一步地，所述延伸部相互连接。
[0008] 进一步地，所述凸起呈拱形状。
[0009] 进一步地，所述多个凸起在平行于所述第一电极层的方向上依次排列。
[0010] 进一步地，每一凸起呈长条形。
[0011] 进一步地，相邻的凸起之间设有空隙。
[0012] 进一步地，所述第一电极层平行所述第二电极层。
[0013] 进一步地，所述第一基板平行所述第二基板。
[0014] 本发明还提供了一种电容型压力传感器的制备方法，用于制备上述的电容型压力 传感器，所述制备方法包括：
[0015] 形成第一基底和第二基底；
[0016] 在所述第一基底上布设第一电极层，在所述第二基底上布设第二电极层；
[0017] 形成包括多个凸起的介电层；
[0018] 将所述介电层布设于所述第一电极层上；
[0019] 将所述第一基底、所述第一电极层及所述介电层的组合放置于所述第二电极层 上，使所述介电层位于所述第一电极层与所述第二电极层之间。
[0020] 本发明的有益效果：
[0021] 本发明的电容型压力传感器的介电层包括多个凸起，在单位压力下，介电层更加 容易发生形变而改变第一电极层与第二电极层之间的距离以使电容型压力传感器在单位 压力下的电容变化量更大，从而大幅度提高了电容型压力传感器的灵敏度，有效缩短了响 应时间。
【附图说明】
[0022] 通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点 将变得更加清楚，附图中：
[0023] 图1是本发明的电容型压力传感器的较佳实施方式的结构示意图；
[0024] 图2是图1中介电层的立体图；
[0025]图3是本发明的电容型压力传感器的较佳实施方式对连续压力响应的曲线图；
[0026] 图4是本发明的电容型压力传感器的制备方法的较佳实施方式的流程图。
【具体实施方式】
[0027] 以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实 施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施 例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而本领域的其他技术人员能够理解本发明的 各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。相同的标号在整个说明书和附图中可用来 表示相同的元件。
[0028] 在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附 图中可用来表示相同的元件。
[0029] 根据电容型压力传感器的信号响应机理：
[0030]其中，^用于表示介电层的介电常数，A用于表示两电极板的有效正对面积，d用于 表示两极板间的距离。当电容型压力传感器受到压力的作用时，至少一个变量会发生改变， 从而导致传感器电容发生变化，进而通过检测电容的变化来反映压力的大小。
[0031 ]参照图1和图2，本发明的实施例提供的电容型压力传感器包括:第一基底11和第 二基底12;设于所述第一基底11上的第一电极层和设于所述第二基底12的上的第二电极层 14,所述第一电极层13和所述第二电极层14位于所述第一基底11和所述第二基底12之间； 所述介电层17包括多个设于所述第一电极层13和所述第二电极层14之间的凸起15。凸起15 之间设有间隙16,间隙16里填充有气体。所述气体可以为普通的空气，也可以为其它的惰性 气体。但本发明并不限制于此。
[0032]为了使电容型压力传感器在单位压力下的电容变化量更大，本发明的实施例提供 了包括多个一端较尖一端较粗的凸起15的介电层17，以使压力传感器在按压的过程中，介 电层17的形变更加明显，以使第一电极层13和第二电极层14之间产生的电容变化量更大， 从而达到大幅度提高电容型压力传感器的灵敏度的目的。具体地，所述凸起15包括连接所 述第一电极层13延伸部152、以及自所述延伸部152延伸而朝向所述第二电极层14的尖部 151，所述尖部151在平行于所述第一电极层13方向上的横截面积小于所述延伸部152在平 行于所述第一电极层13方向上的横截面积。优选地，所述凸起15在平行于所述第一电极层 13的方向上的横截面积自所述第一电极层13朝向所述第二电极层14的方向逐渐减小。 [0033]所述延伸部152相互连接。所述多个凸起15在平行于所述第一电极层13的第一方 向上依次排列。为了使压力传感器在受压的过程中受力更加均匀，每一凸体呈拱形状，且每 一凸起15呈长条形，每一凸起15沿平行所述第一电极层13且垂直所述第一方向的第二方向 上延伸，以形成连续的波浪式结构。但本发明并不限制于此。
[0034]每个凸起15在垂直于所述第一电极层13方向上的横截面的宽度可以为1~50微 米，高度可以为0.5~25微米。优选地，所述凸起15在垂直于所述第一电极层13方向上的横 截面的宽度为2~10微米，深度为1~8微米时，可以获得更好的技术效果。合理地设置每个 凸起15的长宽高比例，可以使电容型压力传感器在受到单位压力按压的过程中，介电层17 的形变更加明显。在本实施例中，所述凸起15的宽度为2.5微米，高度为1.5微米。
[0035]作为本发明的另一实施例，多个凸起15也可以呈点阵式排布，每个凸起15相互独 立排布，每个凸起15的底部153互不相连。另外，所述凸起15可以呈锥体状(包括圆锥和棱锥 体等），也可以呈拱形状(包括半球体、圆台状等），本发明的凸起15的形状并不限制于此。 [0036]作为本发明的又一实施例，介电层17的多个凸起15呈阵列式排布，所述凸起15可 以为长条的拱形状的凸起15。
[0037] 所述第一电极层13平行所述第二电极层14。所述第一电极层13包括铺设于所述第 一基底11上的金属纳米线，所述第二电极层14包括铺设于所述第二基底12上的金属纳米 线。所述金属纳米线可为银纳米线、铜纳米线、镍纳米线、钼纳米线等。采用的金属纳米线的 直径可以为10~100纳米，长度10~50微米。优选地，采用的金属纳米线的直径为20~80纳 米，长度20~40微米时，可以获得更好的技术效果。本实施例中的金属纳米线具体为银纳米 线，所述银纳米线的直径优选为60纳米，长度优选为20~25微米。
[0038] 为了获得成本较低、柔韧性更好、与人体有更好的相容是性的第一基底和第二基 底，所述第一基板11平行所述第二基板12。所述第一基底11和第二基底12由聚二甲基硅氧 烷(英文简称为TOMS，下文统一使用简称TOMS)形成。所述第一基底11和第二基底12的厚度 为100~500微米。优选地，本实施例的第一基底11和第二基底12的厚度为200微米。
[0039] 本发明的实施例提供的电容响应型柔性压力传感器可以贴附在衣物及皮肤上，用 于脉搏、血压、呼吸频率等生理体征检测，也可以用于人体运动状况检测。
[0040] 参照图3，其中，Co是电容型压力传感器无负载时的电容值，C是测试时电容型压力 传感器的电容值。
[0041] 由图3可知，本发明的实施例的电容型压力传感器具有很高的响应灵敏度和超低 的压力检出限。其中，灵敏度是指单位压力下响应信号的相对变化量，灵敏度的计算公式 为:S=(C-C Q)/C〇/压力。压力检出限是指传感器所能检测到的最小压力值。由图3可以看出， 在较小的压力(小于700Pa)条件下，压力传感器的灵敏度可达到7 · 1 ±0 · 5kPa-1，在较大的压 力（700~2500Pa)条件下，压力传感器的灵敏度也能达到4.4±0.3kPa-、并且在两段响应区 间内，响应曲线都呈现了很好的线性关系。另外，从图3的全量程范围内的性能测试可以看 到，压力传感器的最低检出限低于50Pa，进一步的低压性能测试表明，压力传感器的最低检 出限可以达到6Pa。
[0042] 为了获得制备工艺简单，适用于大规模工业化生产的电容型压力传感器，参照图1 和图4,本发明的实施例还提供了一种电容型压力传感器的制备方法，所述电容型压力传感 器的制备方法具体包括以下步骤：
[0043] 在步骤210中，形成第一基底11和第二基底12。具体地，先在洁净的玻璃上旋涂质 量比为10:1的PDMS和固化剂的混合物，在70 °C下固化20min得到平整的PDMS膜，也就是第一 基底11和第二基底12。通过调整旋涂速率和时间将PDMS膜的厚度控制为200微米。但本发明 的PDMS膜的厚度并不限制于此，所述第一基底11和第二基底12的厚度可以为100~500微 米。
[0044] 在步骤220中，在所述第一基底11上布设第一电极层13,在所述第二基底上12布设 第二电极层13。具体地，在第一基底11浇筑银纳米线的乙醇分散液，烘干乙醇后，在边缘用 银胶粘贴铜箱作为引出电极，以在第一基底11上形成第一电极层13。同样地，在第二基底12 浇筑银纳米线的乙醇分散液，烘干乙醇后，在边缘用银胶粘贴铜箱作为引出电极，以在第二 基底12上形成第二电极层14。本实施例所用银纳米线的直径为60纳米，长度20~25微米。
[0045] 在步骤230中，形成包括多个凸起15的介电层17。具体地，先通过光蚀刻法在硅片 表面刻蚀出多个沟槽宽度为2.5微米、深度为1.5微米的凸起15的模板。然后在所述模板上 浇筑用于形成所述凸起15的质量比为10:1的PDMS和固化剂的混合物以形成包括多个凸起 15的介电层17。但本发明并不限制于此，所述凸起15的宽度可以为1~50微米，高度可以为 0.5~25微米。
[0046] 在步骤240中，将所述介电层17布设于所述第一电极层上。具体地，将形成有第一 电极层13的第一基底11倒扣在浇筑有PDMS和固化剂混合物的模板上，在70 °C下固化20min， 然后将PDMS和固化剂固化后形成的凸起15与模板剥离，得到贴附有包括多个凸起15的介电 层17和第一电极层13的第一基底11。
[0047]在步骤250中，将所述第一基底11、所述第一电极层13及所述介电层17的组合放置 于所述第二电极层14上，使所述介电层17位于所述第一电极层13与所述第二电极层14之 间。
[0048]综上所述，本发明大幅度提高了电容型压力传感器的灵敏度，有效缩短了传感器 的响应时间，并且该传感器结构简单稳定，容易组装及整体封装，适用于大规模工业化生 产。
[0049] 需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存 在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语"包括"、"包含"或者其任何其他变体意在涵盖 非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要 素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备 所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句"包括一个……"限定的要素，并不排除在 包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0050] 虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解： 在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和 细节上的各种变化。
【主权项】
1. 一种电容型压力传感器，其特征在于，所述电容型压力传感器包括： 第一基底和第二基底； 设于所述第一基底上的第一电极层和设于所述第二基底上的第二电极层，所述第一电 极层和所述第二电极层位于所述第一基底和所述第二基底之间； 设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的介电层;所述介电层包括多个设于所述 第一电极层和所述第二电极层之间的凸起。2. 根据权利要求1所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述凸起包括连接所述第一 电极层的延伸部、以及自所述延伸部延伸而朝向所述第二电极层的尖部;所述尖部在平行 于所述第一电极层方向上的横截面积小于所述延伸部在平行于所述第一电极层方向上的 横截面积。3. 根据权利要求2所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述延伸部相互连接。4. 根据权利要求3所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述凸起呈拱形状。5. 根据权利要求1或4任一项所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述多个凸起在 平行于所述第一电极层的方向上依次排列。6. 根据权利要求1或4任一项所述的电容型压力传感器，其特征在于，每一凸起呈长条 形。7. 根据权利要求1所述的电容型压力传感器，其特征在于，相邻的凸起之间设有空隙。8. 根据权利要求1所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述第一电极层平行所述第 二电极层。9. 根据权利要求1所述的电容型压力传感器，其特征在于，所述第一基板平行所述第二 基板。10. -种电容型压力传感器的制备方法，用于制备权利要求1至9任一项所述的压力传 感器，其特征在于，包括： 形成第一基底和第二基底； 在所述第一基底上布设第一电极层，在所述第二基底上布设第二电极层； 形成包括多个凸起的介电层； 将所述介电层布设于所述第一电极层上； 将所述第一基底、所述第一电极层及所述介电层的组合放置于所述第二电极层上，使 所述介电层位于所述第一电极层与所述第二电极层之间。
【文档编号】G01L1/14GK106092384SQ201610394645
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月6日 公开号201610394645.7, CN 106092384 A, CN 106092384A, CN 201610394645, CN-A-106092384, CN106092384 A, CN106092384A, CN201610394645, CN201610394645.7
【发明人】孙蓉, 帅行天, 朱朋莉, 胡友根
【申请人】中国科学院深圳先进技术研究院