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一种石英挠性加速度计的制作方法
文档序号:11431407
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来源:国知局
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一种石英挠性加速度计的制造方法与工艺
技术特征:
技术总结
一种能够提高测量精度、密封性好、稳定性高的石英挠性加速度计,包括伺服电路和表头,所述表头包括上力矩器,检测质量组件、下力矩器、以及外壳,所述上力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和上轭铁,下力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和下轭铁,所述检测质量组件包括由镀金膜石英摆片和粘接在所述摆片上面的两个力矩器线圈组成。
技术研发人员:
刘军;王晓雷;宋银良;刘哲;李强
受保护的技术使用者:
青岛智腾微电子有限公司
技术研发日:
2017.04.27
技术公布日:
2017.08.29
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