二次元及翘曲度检测一体化系统的制作方法

文档序号:11227950阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于光学检测领域,尤其涉及一种二次元及翘曲度检测一体化系统,包括检测工作台,所述检测工作台上设有由透明材质制成的检测区,所述检测区供承载待检样品,所述检测区上方设有第一光源,所述检测区下方设有第二光源,所述第二光源与所述检测区之间设有分束镜,所述第一光源发射出的光经所述检测区透射后入射到所述分束镜,所述第二光源发出的光经所述分束镜透射后入射到所述检测区上的待检样品,所述分束镜一侧的光路方向上设有成像元件,所述成像元件连接摄像元件,本发明一体化系统可以同时进行二次元检测和翘曲度检测,省时省力,检测效率高,且不需要配置多个成像元件和多个摄像元件,结构简单,成本低廉,具有广阔的市场前景。

技术研发人员:刘柱;孙阔原;黄海瑞;李国志;闫飞;汪旭东
受保护的技术使用者:苏州精创光学仪器有限公司
技术研发日:2017.06.14
技术公布日:2017.09.08
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