一种数字化平面度标准装置的制作方法

文档序号:14935675发布日期:2018-07-13 19:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种数字化平面度标准装置,其特征在于:包括等倾干涉箱(1)和数据处理机构(2),所述等倾干涉箱(1)的箱体为具有开口的恒温装置,在所述等倾干涉箱(1)的箱体内设置有光路组件(3)、用于放置被检器具(4)的工作台(5)以及运动控制机构,所述被检器具(4)在工作台(5)上放置的位置与光路组件(3)的入射端对应,所述光路组件(3)的出射端与设置在等倾干涉箱(1)外的干涉图像获取机构(6)对应,所述干涉图像获取机构(6)与数据处理机构(2)连接,所述运动控制机构用于控制工作台(5)在等倾干涉箱(1)内的移动。

2.根据权利要求1所述的数字化平面度标准装置,其特征在于:所述光路组件(3)由若干镜组依据等倾干涉原理组成。

3.根据权利要求1所述的数字化平面度标准装置,其特征在于:所述工作台(5)由主工作台以及内嵌在主工作台中心部分的旋转台组成,所述主工作台与运动控制机构连接,所述被检器具(4)放置于旋转台上。

4.根据权利要求1所述的数字化平面度标准装置,其特征在于:所述被检器具(4)通过安装夹具(7)固定设置在工作台(5)上。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的数字化平面度标准装置,其特征在于:所述运动控制机构包括传动丝杆(8)、控制电机(9)以及微动手轮(10),所述控制电机(9)的动力输出端与传动丝杆(8)连接,所述传动丝杆(8)与工作台(5)连接,所述传动丝杆(8)用于将控制电机(9)的转动变为工作台(5)的纵向移动,所述微动手轮(10)与传动丝杆(8)连接,用于传动丝杆(8)的微调。

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