技术总结
本实用新型公开了一种数字化平面度标准装置，包括等倾干涉箱和数据处理机构，所述等倾干涉箱的箱体为具有开口的恒温装置，在所述等倾干涉箱的箱体内设置有光路组件、用于放置被检器具的工作台以及运动控制机构，所述被检器具在工作台上放置的位置与光路组件的入射端对应，所述光路组件的出射端与设置在等倾干涉箱外的干涉图像获取机构对应，所述干涉图像获取机构与数据处理机构连接，所述运动控制机构用于控制工作台在等倾干涉箱内的移动。本实用新型通过采用干涉图像获取机构加半自动控制的组合，既可提高工作效率，降低操作难度，同时能提高检测精度，实现被检器具的研磨面平面度快速准确的检定。
技术研发人员：佟岩;谢小辉;王宏伟;余乐;米雪
受保护的技术使用者：四川航天计量测试研究所
技术研发日：2017.12.20
技术公布日：2018.07.13