一种宽温区高精度温度标定装置的制作方法

技术特征：

1.一种宽温区高精度温度标定装置，其包括：一热开关金筒；一压力舱，其位于所述热开关金筒的内部；制冷机，提供冷量使所述压力舱的内部温度降低至目标温度；其特征在于：在所述压力舱内设置谐振腔，在所述谐振腔的侧表面设置若干个凸起中空的圆柱型凸台，在表面放置温度计。

2.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：零级法兰、复合真空罩、一级法兰、镂空防辐射屏、二级法兰和热开关金筒组合为所述压力舱和所述谐振腔提供稳定的高真空绝热环境。

3.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述微波谐振腔包括有上半球和下半球，上半球设置有上微波天线，下半球上设置有下微波天线。

4.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述谐振腔采用准球形、圆柱形、或多面体等几何结构。

5.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述谐振腔材料为高导无氧铜、或不锈钢等金属材料、或蓝宝石、有机玻璃、钢化玻璃等非金属材料、或铜氧化合物、铁(镍)基等超导材料；或者是由金属材料、非金属材料、超导材料组合而成的复合型材料。

6.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：微波天线通过出口端连接的网络分析仪向谐振腔内部发射微波。

7.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述热开关金筒包括热开关工作气体，所述热开关工作气体包含但不限于氦-3、氦-4，在高温区也可以是氖气、氮气、氩气等其它环保工质。

8.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：进一步包括至少一个加热片。

9.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述温度计为铑铁温度计，或cernox温度计等基准级温度计、或标准温度计。

10.如权利要求1所述的宽温区高精度温度标定装置，其特征在于：所述装置包括至少一组气路。