1.一种位置测定方法，该位置测定方法是在具有使用同轴落射照明的摄像光学系统的测定装置的图像中，对平面上的位置基准部的位置和任意的点的位置进行观察，并对该任意的点的位置进行确定的位置测定方法，其中，所述位置测定方法的特征在于，
在该位置基准部中，至少根部的部分是柱状，并且该位置基准部具有包围柱的根部的倾斜面，
该位置测定方法包括如下步骤：
在该测定装置的图像中，根据包围该根部的倾斜面与该平面的边界的位置，确定该根部的外周的位置；
根据该根部的外周的位置确定该位置基准部的位置；以及
以该位置基准部的位置为基准，确定该任意的点的位置。
2.根据权利要求1所述的位置测定方法，其特征在于，
设该摄像光学系统的张角为φ，设包围该根部的倾斜面与该平面所成的锐角为θ，则θ满足φ＜θ。
3.根据权利要求1所述的位置测定方法，其特征在于，
设该摄像光学系统的张角为φ，设包围该根部的倾斜面与该平面所成的锐角为θ，设角度的单位为度，则θ满足θ≤(90-φ)。
4.根据权利要求1所述的位置测定方法，其特征在于，
包围该根部的倾斜面被形成为，对该平面和该柱的侧面进行连接，或者对该平面和与该平面平行的其他平面进行连接。
5.根据权利要求4所述的位置测定方法，其特征在于，
在包围该根部的倾斜面对该平面与该柱的侧面进行连接的情况下，设该测定装置的张角为φ，设包含该柱的中心轴的截面上的、该倾斜面的与该中心轴垂直的方向上的长度为X，设该柱的长度为L，则满足X≤Ltan(φ/3)。
6.根据权利要求1所述的位置测定方法，其特征在于，
该任意的点的位置是光学元件的位置。
7.一种部件，其具有被设置在一个平面或相互平行的多个平面上的光学元件和至少2个位置基准部，该部件的特征在于，
在各位置基准部中，至少根部的部分是柱状，并且该各位置基准部具有包围柱的根部的倾斜面，
该倾斜面相对于设置有各位置基准部的平面的角度θ为20度至70度的范围。
8.根据权利要求7所述的部件，其特征在于，
包围该柱的该根部的倾斜面被形成为，对设置有各位置基准部的平面和该柱的侧面进行连接，或者对设置有各位置基准部的平面和与该平面平行的其他平面进行连接。