位置测定方法以及部件与流程

文档序号:16082111发布日期:2018-11-27 21:57阅读:来源:国知局
技术总结
提供位置测定方法以及部件,该位置测定方法是在测定装置的图像中,通过使用部件的位置基准部的位置,以较高的精度求出透镜等的位置,该部件适用于上述位置测定方法。在具有使用同轴落射照明的摄像光学系统的测定装置的图像中,对平面(101)上的位置基准部的位置和任意的点的位置进行观察,并对该任意的点的位置进行确定。在该位置基准部中,至少根部的部分是柱状,并且该位置基准部具有包围柱的根部的倾斜面(103)。该位置测定方法包括如下步骤:在该测定装置的图像中,根据包围该根部的倾斜面与该平面的边界的位置,确定该根部的外周的位置;根据该根部的外周的位置确定该位置基准部的位置;以及以该位置基准部的位置为基准确定该任意的点的位置。

技术研发人员:藤冈孝弘;堀切宏则;池田贤元
受保护的技术使用者:纳卢克斯株式会社
技术研发日:2018.05.08
技术公布日:2018.11.27

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