一种基于缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器的制作方法

文档序号:16912843发布日期:2019-02-19 18:44阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种微型磁通门传感器,激励线和铁芯采用缝纫式线芯结构,铁芯为矩形平面结构;激励线为多条直线段首尾相连组成的折线形结构,如缝纫线一样,上下往复穿过铁芯平面;感应线圈为三维螺线管结构垂直铁芯长边缠绕,三维螺线管线圈上下层之间的连通部分由一个连接导体组成;骨架使用硅片作为基底制作,用于承载铁芯、激励线、感应线圈、焊盘;激励线和感应线圈均由设置在传感器两端的焊盘引出。该微型磁通门的激励线上下往复穿过铁芯平面,能够提高铁芯整体饱和程度,增强激励磁场,有利于减小磁通门的尺寸;感应线圈采用三维螺线管结构有利于磁场的紧密耦合,该微型磁通门的线芯结构能有效提高微型磁通门的灵敏度。

技术研发人员:吕辉;胡治国;李良;李成杰;梁智超
受保护的技术使用者:河南理工大学
技术研发日:2018.09.29
技术公布日:2019.02.19
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