技术特征：
技术总结
本发明提供了一种红外探测器的制备方法，涉及红外探测器技术领域。其包括：涂覆聚酰亚胺层；涂覆光刻胶，对聚酰亚胺进行等离子体反应刻蚀，形成桥墩处的通道图形Ⅰ；沉积介质层覆盖聚酰亚胺；沉积热敏感膜、介质层；并形成图形；沉积介质层作为保护薄膜；涂覆光刻胶，刻蚀桥墩处的通道图形Ⅱ；沉积厚金属填充通道图形Ⅱ，并图形化；在热敏感膜上的介质层上，刻蚀形成槽状结构；沉积金属并图形化；沉积介质层保护层；光刻刻蚀释放通道；释放聚酰亚胺层，形成桥墩支撑、悬空的像元结构。本发明提供的一种红外探测器的制备方法，加强像元的导电性和牢靠性，以改善和解决像元尺寸缩小引进的新问题，且工艺稳定，重复性好，适用于大批量的在线生产。
技术研发人员：许勇;王大甲;周龙飞;王春雷
受保护的技术使用者：无锡元创华芯微机电有限公司
技术研发日：2018.11.09
技术公布日：2019.03.15