技术特征：
技术总结
本发明公开了一种氮氢混合气体真空漏孔校准装置，包括氢气和氮气供气系统，配气室，压力计，取气室，低真空泵，进气室，真空计，高真空泵，渗流装置，质谱计，非蒸散型吸气剂泵，校准系统，抽气系统；配气室上设置压力计；配气室分出两路，一路与取气室和进气室相连；另一路通过管路与高真空泵相连，在配气室和高真空泵之间设置氢气和氮气供气系统及低真空泵；高真空泵和进气室连接；进气室通过管路依次与渗流装置、校准系统、抽气系统相连；在进气室上分别设置压力计和真空计；在渗流装置和校准系统之间设置截止阀；氮氢混合气体真空漏孔连接在校准系统上；校准系统上设置压力计、真空计和质谱计；非蒸散型吸气剂泵连在校准系统上。
技术研发人员：赵澜;孙雯君;郭美如;管保国;张瑞芳;马亚芳;高洁;刘珈彤
受保护的技术使用者：兰州空间技术物理研究所
技术研发日：2018.12.14
技术公布日：2019.05.14