一种基于飞秒激光微加工的M-Z应力传感器的制作方法

文档序号:15648488发布日期:2018-10-12 22:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于飞秒激光微加工的M-Z应力传感器,包括马赫-曾德尔干涉仪(M-Z),其特征在于:所述的M-Z干涉仪是由飞秒激光在单模光纤纤芯上刻写两段波导构成,其中这两段波导间距为5mm。

2.根据权利要求1所述的一种基于飞秒激光微加工的M-Z应力传感器,其特征在于:所述的两段波导的长度为2cm。

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