一种氦质谱检漏仪用组合阀座的制作方法

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪，尤其涉及的是一种氦质谱检漏仪用组合阀座。

背景技术：

氦质谱检漏仪是真空检漏应用中常用的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等行业广泛运用。氦质谱检漏仪的真空系统为其关键部分，是该仪器赖以工作的基础。

图1是基于普发SplitFlow 80分子泵的一种氦质谱检漏仪的真空气路系统，根据气体流向共分四条气流通路，第一条气流通路为预抽真空气路，为从检漏口9经公共管道到电磁阀13再到前级真空泵5；第二条气流通路为低真空气路，为从检漏口9经公共管道到低真空电磁阀6，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第三条气流通路为中真空气路，为从检漏口9经公共管道到中真空电磁阀7，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第四条气流通路为高真空气路，为从质谱室1到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5，真空计8用于测量入口处真空度，真空计3用于测量出口处真空度，图中10是给检漏仪定标用的标准漏孔。

由图1可知，氦质谱检漏仪的真空气路系统由多个零部件组成，各零部件之间联通需要通过各样的管接头和管件来连接，接头接缝众多，安装复杂，漏点多，可靠性低，且占用较大的安装空间，布管和布线均要耗时耗力，生产效率不高。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于：如何减少对主真空泵的伤害，提供了一种氦质谱检漏仪用组合阀座。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括主阀座和入口阀座，所述入口阀座与主阀座相连通，所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连，所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座，所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连；所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座，所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。

各个阀座包括同轴设置的内气孔和外气孔。

所述入口阀座或主阀座上设置有放气电磁阀阀座和放气口。可以根据需要设置在不同的主阀座或者入口阀座上。

所述入口阀座或主阀座上设置有标漏定标用电磁阀的连接孔。可以根据需要设置在不同的主阀座或者入口阀座上。

所述主阀座和入口阀座之间通过密封件密封连接。密封件材料既可以是橡胶的，也可以是金属等其他可以满足真空密封要求的材料。

本实用新型相比现有技术具有以下优点：本实用新型的组合阀座中的每个阀座尺寸都很小，避免了加工过程中需要打过深的孔，大大降低的加工的难度，提高了良品率，从而降低了装配前的内孔打磨的工作量；预抽电磁阀和检漏口的横置，使预抽空阶段气流走向和第二、第三气流通路的走向相反，避免了不能滤去的颗粒物及杂质对主真空泵的损伤。

附图说明

图1是现有氦质谱检漏仪真空气路系统图；

图2是本实用新型的结构示意图；

图3是主阀座的结构示意图；

图4是图3的主阀座的后视图；

图5是入口阀座的结构示意图；

图6是图5入口阀座的后视图。

具体实施方式

下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

如图2～6所示，本实施例包括主阀座29和入口阀座30，主阀座29与入口阀座30通过螺钉连接固定。

主阀座29上设置有排气电磁阀4、低真空电磁阀6、中真空电磁阀7的排气电磁阀阀座17、低真空电磁阀阀座16、中真空电磁阀阀座15，排气电磁阀阀座17、低真空电磁阀阀座16、中真空电磁阀阀座15的内孔分别与主真空泵2的排气口接口27、低真空入口接口26、中真空入口接口25相通；低真空电磁阀6、中真空电磁阀7的低真空电磁阀阀座16、中真空电磁阀阀座15的外孔与第一进气接口18和第二进气接口34相通；排气电磁阀4的排气电磁阀阀座17的外孔通过工艺孔28与第一排气口19和主排气接口35相通，主阀座29上设置有接真空计3的接口23。

入口阀座30上设置有与检漏口9相通的第一进气口31、连通前级真空泵5的第三排气口24和预抽电磁阀13的预抽电磁阀阀座14，其中第一进气口31位于预抽电磁阀阀座14和主阀座29的中间。入口阀座30上的第一进气口31与第三进气接口32及预抽电磁阀阀座14的外孔相通，预抽电磁阀阀座14的内孔与第三排气接口24及入口排气接口33相通。入口阀座30上的第三进气接口32与主阀座29上的第二进气接口34相连通，入口阀座30上的入口排气接口33与主阀座29上的主排气接口35相连通，第三进气接口32与第二进气接口34之间，入口排气接口33与主排气接口35之间均设置有密封件密封。

入口阀座30上设置有放气电磁阀12的放气电磁阀阀座21和放气口22，放气电磁阀阀座21和放气口22也可以设置在主阀座29上。入口阀座30上设置有标漏定标用电磁阀11的连接孔20，连接孔20也可以设置在主阀座29上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。