一种化学品流量校准装置及化学水浴设备的制作方法

本实用新型实施例涉及流量校准技术领域，尤其涉及一种化学品流量校准装置及化学水浴设备。

背景技术：

化学水浴沉积(Chemial Bath Deposition，CBD)工序为将化学品按照一定的流量一次性输入到反应腔室内，通过热循环水对反应基台上进行持续加热，使化学品产生析出物的过程。在CBD设备运行期间，需要对储料罐通过放料管输出至反应腔室的化学品的流量进行控制，以控制化学反应的速度，并且需要对化学品流量进行校准，避免设备对流量的控制出现失误。

现有技术中，对化学品流量进行校准时，在储料罐另一个放料管处输出设定流量的化学品，并将输出的化学品在开放环境中直接置于电子秤上进行称量，并通过实际称量值与CBD设备上的设定流量值进行对比并逐渐调试，减小实际称量值与设定流量值存在的误差，需要多次反复进行称量和调试，直到实际称量值与设定流量值达到允许误差值范围。

但是多次通过电子秤对化学品进行称量工艺繁琐，影响工作效率。并且，CBD工序使用的化学品均为硫酸镉、硫脲和氨水等，都属于有毒危化品，工作人员直接接触化学品，增加了工作人员自身的危险性。

技术实现要素：

本实用新型提供一种化学品流量校准装置及化学水浴设备，以解决现有化学品流量校准方法工序繁琐，且易对工作人员造成危害的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种化学品流量校准装置，包括：

计量腔室；所述计量腔室内设置有称量部件，所述称量部件上放置有计量桶；所述计量桶的输入端通过第一放料管与储料罐连通，用于接收所述储料罐输出的化学品；

显示屏；所述显示屏设置于所述计量腔室外，并与所述称量部件电连接，用于显示所述计量桶内化学品的实际重量值；

第一排液管；所述第一排液管分别与所述计量桶的输出端和污水系统连通，用于将所述计量桶内的化学品排入所述污水系统；

第一阀门，设置于所述第一排液管上，用于控制所述第一排液管的导通和关断。

可选的，所述称量部件包括：至少一个压力传感器，用于测量所述计量桶内的所述化学品的实际重量值；支撑板，设置于所述至少一个压力传感器上，用于放置所述计量桶。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种化学水浴设备，包括本实用新型任意实施例提供的学品流量校准装置，还包括：

反应室；所述储料罐通过第二放料管与所述反应室的输入端连通，用于输出化学品至所述反应室；所述反应室的输出端通过第二排液管与所述污水系统连通，用于将所述反应室内化学品反应后的废液传输至所述污水系统；其中，所述第二排液管上设置有第二阀门，用于控制所述第二排液管的导通和关断。

可选的，所述第一放料管和所述第二放料管上分别设置有第三阀门和第四阀门，用于将所述储料罐中的化学品分别输入所述计量桶和所述反应室；所述第三阀门和所述第四阀门输出化学品的流量相同。

可选的，所述化学水浴设备还包括：控制器；所述控制器与所述显示屏电连接，用于对所述计量桶内化学品的实际重量值和设定重量值进行比较；所述控制器还分别与所述第三阀门和所述第四阀门电连接，用于对所述第三阀门和所述第四阀门输出化学品的流量进行控制。

可选的，所述控制器还与所述第一阀门和所述第二阀门电连接，用于控制所述第一阀门和所述第二阀门的打开和关闭。

可选的，化学品流量校准装置还包括：输入设备；所述输入设备与所述控制器电连接，用于接收用户输入的所述设定重量值，并接收用户输入的流量校准指令。

可选的，所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门和所述第四阀门为气动阀。

本实用新型实施例提供的化学品流量校准装置及化学水浴设备，设置有计量腔室，计量腔室内放置有计量桶，用于通过第一放料管将储料罐内储存的化学品接出，计量腔室中还设置有称量部件，能够对计量桶接收的化学品的实际重量值进行称量，并通过计量腔室外的显示屏对称量部件称量的实际重量值进行显示，以使用户根据计量桶接收的化学品的实际重量值和化学水浴设备自身显示的储料罐输出至计量桶的化学品的设定重量值进行比较，从而对化学水浴设备的设定重量值进行校正和调试，使得设定重量值和实际重量值的差值处于误差范围内，在称量部件称量结束后，计量桶通过第一排液管将化学品排入污水系统，并且第一排液管上设置有第一阀门，能够控制第一排液管的导通和关断。本实施提供的方案的整个化学品的称量和排放过程都处于密封的环境中，不会对工作人员和周围环境造成危害，并且不需要工作人员对化学品进行手动称量和倾倒排放，节省人力和时间，解决了现有化学品流量校准方法工序繁琐的问题。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种化学品流量校准装置的平面结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种化学水浴设备的平面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

本实用新型实施例提供一种化学品流量校准装置，参考图1，图1是本实用新型实施例提供的一种化学品流量校准装置的平面结构示意图，该化学品流量校准装置包括：

计量腔室11；计量腔室11内设置有称量部件16，称量部件16上放置有计量桶18；计量桶18的输入端通过第一放料管20与储料罐12连通，用于接收储料罐12输出的化学品；

显示屏14；显示屏14设置于计量腔室11外，并与称量部件16电连接，用于显示计量桶18内化学品的实际重量值；

第一排液管21；第一排液管21分别与计量桶18的输出端和污水系统13连通，用于将计量桶18内的化学品排入污水系统13；

第一阀门15，设置于第一排液管21上，用于控制第一排液管21的导通和关断。

储料罐12内放置有待反应的至少一种化学品的混合物，现有技术中，流量校准装置的调试优化过程是通过工作人员直接接触化学品实现的，在开放环境中直接将由储料罐12接出的化学品置于电子秤上进行称量，通过设定重量值与实际重量值的对比，多次反复调试，直到两者达到允许的误差。在计量过程中，需要工作人员穿着全套的防护服直接接触化学溶液，校正次数多，工序繁琐，增加了工作人员自身的危险性，并且工作量大，耗时，影响工作效率。而本实施例中，设置有计量腔室11，计量腔室11内设置有称量部件16，称量部件16上的计量桶18直接由储料罐12接收化学品，进行自动称量，并进行实际重量值的显示，并在称量结束后，通过第一排液管21排入污水系统13，工作人员仅需对第一阀门15进行控制，不需要手动对称量完毕的化学品进行倾倒，避免了工作人员在倾倒化学品时发生洒液或者意外的情况，保证了工作人员安全的同时，不会出现因洒液导致的清理困难的问题。

并且计量腔室11为密封状态，营造了密闭的称量环境，减小了称量误差发生的几率。因为对于氨水等化学品而言，具有很大的挥发性，在开放环境中容易挥发，导致称量结果存在误差，而密闭的环境极大地降低了化学品的挥发性。

显示屏14设置于计量腔室11之外，可显示计量桶18中化学品的实际重量值，工作人员可直接接触显示屏14，观察和记录化学品的实际重量值。并且，显示屏14不仅可以显示实际重量值，还设置有清零、重置等功能，便于工作人员在不接触化学品的情况下，进行多次称量的相关操作。化学水浴设备上显示有接料桶18内化学品的设定重量值，例如，对于一般化学水浴设备而言，会根据用户的设定对储料罐12输出的化学品的重量值进行标定，即标定设定重量值。上述设定重量值也是根据人工多次称量的实际重量值进行设定的，但是随着设备的误差以及开关部件的松动，储料罐12输出的化学品的实际称量值就会偏离初始标定设定重量值，所以需要对化学水浴设备的设定重量值进行调整和校准。例如，若储料罐12输出的化学品的设定重量值为500ml，但是经过显示屏14的测量得到储料罐12输出的化学品的实际重量值为400ml，则需要将设定重量值调整至400ml，或者对储料罐12的输出量进行调整，使其实际重量值为500ml。

本实用新型实施例提供的化学品流量校准装置，设置有计量腔室，计量腔室内放置有计量桶，用于通过第一放料管将储料罐内储存的化学品接出，计量腔室中还设置有称量部件，能够对计量桶接收的化学品的实际重量值进行称量，并通过计量腔室外的显示屏对称量部件称量的实际重量值进行显示，以使用户根据计量桶接收的化学品的实际重量值和化学水浴设备自身显示的储料罐输出至计量桶的化学品的设定重量值进行比较，从而对化学水浴设备的设定重量值进行校正和调试，使得设定重量值和实际重量值的差值处于误差范围内，在称量部件称量结束后，计量桶通过第一排液管将化学品排入污水系统，并且第一排液管上设置有第一阀门，能够控制第一排液管的导通和关断。本实施提供的方案的整个化学品的称量和排放过程都处于密封的环境中，不会对工作人员和周围环境造成危害，并且不需要工作人员对化学品进行手动称量和倾倒排放，节省人力和时间，解决了现有化学品流量校准方法工序繁琐的问题。

在上述实施例的基础上，称量部件16可以包括：至少一个压力传感器17，用于测量计量桶18内的化学品的实际重量值；支撑板25，设置于至少一个压力传感器17上，用于放置计量桶18。至少一个压力传感器17均匀分布，用于均分支撑板25上计量桶18的重量，再综合所有压力传感器17的测量值，获取计量桶18内化学品的实际重量值，使得化学品的实际重量值测量更加准确。示例性的，由于需要在计量桶18的桶底设置第一排液管21，需要在支撑板25上对应位置开孔，一般可在支撑板25的中心位置设置开孔，为了保证称量的准确性，需要在压力传感器上避开开孔区域，可选的，如图1所示，若支撑板25为矩形，可在支撑板25四个角上分别设置一个压力传感器17。

可选的，本实用新型还提供了一种化学水浴设备，包括本实用新型任意实施例提供的化学品流量校准装置，参考图2，图2是本实用新型实施例提供的一种化学水浴设备的平面结构示意图，化学水浴设备还可以包括：反应室22；储料罐12通过第二放料管26与反应室22的输入端连通，用于输出化学品至反应室22；反应室22的输出端通过第二排液管27与污水系统13连通，用于将反应室22内化学品反应后的废液传输至污水系统13；其中，第二排液管27上设置有第二阀门24，用于控制第二排液管27的导通和关断。

反应室22为将储料罐12通过第二放料管26输出的化学品进行化学反应的容器，例如，对于CBD工序而言，反应室22为热循环水加热室，化学品在反应室22内反应基台上进行持续加热，化学品发生化学反应，析出化学产物。而后将反应后的废液通过第二排液管27排入污水系统13中。化学品流量校准装置通过对储料罐12由第一放料管20的化学品的排出量(设定时间内排出的化学品的重量值)进行称量，获取实际重量值，从而对储料罐12由第二放料管26排出的化学品的流量进行校正，以对反应室22内的反应速率进行监测和控制，即通过对第一放料管20输出的化学品的流量的测量，实现对第二放料管26输出的化学品的流量的设定值进行校正。其中，第一放料管20输出的化学品的流量即为第一放料管20每秒钟输出化学品的重量值，同理，第二放料管26输出的化学品的流量为第二放料管26每秒钟输出化学品的重量值。

可选的，第一放料管20和第二放料管26上可分别设置有第三阀门19和第四阀门23，用于将储料罐12中的化学品分别输入计量桶18和反应室22；第三阀门19和第四阀门23输出化学品的流量相同。储料罐12与反应室22和计量桶18的高低位置不确定，需要通过第三阀门19和第四阀门23分别将化学品分别输入计量桶18和反应室22，可设置第三阀门19和第四阀门23输出化学品的流量相同，则测得的第一放料管20的流量值等于第二放料管26的流量值，从而对储料罐12输出至反应室22的化学品的流量进行调整和校正。

可选的，化学品流量校准装置还可以包括：控制器；控制器(图1和图2中未示出)与显示屏14电连接，用于对计量桶18内化学品的实际重量值和设定重量值进行比较；控制器还分别与第三阀门19和第四阀门23电连接，用于对第三阀门19和第四阀门23输出化学品的流量进行控制。使得工作人员通过储料罐12输入计量桶18的化学品的设定重量值和称量部件16称量的实际重量值，对第三阀门19和第四阀门23输出化学品的流量进行控制。

控制器一般设置于PC端，工作人员记录显示屏14显示的实际重量值，后将实际重量值输入至PC端，控制器将实际重量值和PC端显示的设定重量值进行比较，并通过控制第三阀门19和第四阀门23的流量值，减小实际重量值与设定重量值之间的误差。

化学水浴设备可通过控制器使称量和调整的过程自动进行，控制器可根据计量桶18内化学品的实际重量值和设定重量值的差值自动对第三阀门19和第四阀门23的转速进行调整，使得工作人员不必对化学品流量校准进行实时监控，节省人力。控制器根据计量桶18内化学品的实际重量值和设定重量值的比较结果，对第三阀门19和第四阀门23输出化学品的流量进行控制，使得储料罐12输出的化学品的实际重量值和设定重量值的差值达到误差值范围。

可选的，控制器还可以与第一阀门15和第二阀门24电连接，用于控制第一阀门和第二阀门的打开和关闭。则在称量部件16称量完毕后，控制器可直接控制计量桶18内的化学品排入污水系统13，在反应室22内化学品反应完毕后，控制器可直接控制反应室22内的化学品排入污水系统13。

可选的，化学品流量校准装置还可以包括：输入设备；输入设备与控制器电连接，用于接收用户输入的设定重量值，并接收用户输入的流量校准指令。

可选的，输入装置可以包括键盘、鼠标等输入设备，输入设备集成于PC端，工作人员可根据化学品的产物和产量需求，对储料罐12每次输入反应室22的化学品的设定重量值进行设定，并通过输入设备输入至控制器进行存储，控制器根据设定重量值控制储料罐12输出化学品的排出量。

在每次需要进行流量校准过程时，通过输入设备输入流量校准指令，使得控制器控制第三阀门19将储料罐12内化学品通过第一放料管20输出设定重量值，控制称量部件16对设定重量值的化学品进行称量，获取实际重量值。在装置调试期间，工艺调试期间，以及正常运行期间，均避免不了对化学品进行流量校准，本实施例提供的化学品流量校准装置实现了流量校准的自动化过程，提高了工作效率，节省人力和物力。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。