一种二维层状薄膜材料的剥离装置的制作方法

本实用新型涉及二维材料制备装置技术领域，尤其是一种微机械制备二维层状薄膜材料的剥离装置。

背景技术：

近年来，一直致力于各种二维层状材料的各项优异性质的研究，二维层状材料由于具有巨大的比表面积和优异的载流子迁移率，其在电子器件、储能材料等方面具有良好的应用前景。制备二维材料的微机械剥离方法多是基于液相剥离和胶带剥离方法，目前，高质量二维层状材料的制备就是通过用胶带黏住二维层状材料母材的两侧面反复剥离而获得少层的二维层状材料，如专利“二维碲化镓材料的制备方法”（专利号201410819701.8），该种方法由于工艺条件存在不确定性以及可控性差，导致面积及厚度难以保障，影响成品的质量及品质的稳定性。因为二维层状材料的许多诸如超导相变、电荷密度波相变等奇异性质仅当其厚度小于一定值的条件下才能显现，所以面积大且厚度薄的二维层状材料的制备显得尤为重要。为有效推进对二维层状材料的研究与应用，简单易行的大面积的二维层状材料的剥离方法及设备显得尤为重要。

现有技术的存在的问题是，由于存在二维层状材料的面内强度远低于石墨烯，难以承受反复剥离过程中产生的剪切力，最后导致获得的二维层状材料面积小且层数多，无法满足对二维层状材料的研究与应用。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术的不足而提供的一种二维层状薄膜材料的剥离装置，采用移动剥离台与滚轮传输结构，以稳定的小角度沿硅片表面揭开胶带，得以稳定的剪切力剥离二维层状材料，确保在剥离过程中大面积二维材料的完整性，品质稳定性好，具有结构简单，操作方便，制备效率和成品质量高的优点。

本实用新型的目的是这样实现的：一种二维层状薄膜材料的剥离装置，其特点是该剥离装置由剥离台、胶带牵引器和控制柜组成，所述剥离台设置在底座上且与底座为水平滑动连接；所述胶带牵引器由设置在支架上的电动主动滑轮、从动轮和小滑轮构成，胶带牵引器由支架固定设置在底座上；所述电动主动滑轮由皮带与从动轮传动连接；所述小滑轮与从动轮为压接；所述剥离台上设有吸盘；所述控制柜由转速控制器、气泵和移动控制器构成；所述转速控制器与电动主动滑轮的驱动器为电性连接；所述气泵由管路与吸盘连接；所述移动控制器与剥离台的驱动器为电性连接。

本实用新型与现有技术相比具有稳定的剪切力剥离二维层状材料，确保在剥离过程中大面积二维材料的完整性和厚度的可控性，结构简单，操作方便，品质稳定性好，制备效率和成品质量高的优点，有效推进对二维层状材料的研究与应用，进一步降低生产成本，是一条很有应用前景及实用价值的制备方法，尤其适合大规模工业化生产。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型具体运用示意图。

具体实施方式

参阅附图1，本实用新型由剥离台2、胶带牵引器3和控制柜4组成，所述剥离台2设置在底座1上且与底座1为水平滑动连接；所述胶带牵引器3由设置在支架35上的电动主动滑轮31、从动轮33和小滑轮34构成，胶带牵引器3由支架35固定设置在底座1上；所述电动主动滑轮31由皮带32与从动轮33传动连接；所述小滑轮34设置在从动轮33下且与从动轮33为压接；所述剥离台2上设有吸盘21；所述控制柜4由转速控制器41、气泵42和移动控制器43组成；所述转速控制器41与电动主动滑轮31的驱动器为电性连接；所述气泵42由管路44与吸盘21连接；所述移动控制器43与剥离台2的驱动器为电性连接。

参阅附图2，本实用新型是这样工作的：将已在贴合在硅片衬底6上的胶带5连同载玻片7放置在剥离台2上，并打开气泵42由吸盘21将载玻片7吸住，将其固定在剥离台2上，然后用镊子揭开胶带5，将其一端从动轮33和小滑轮34之间的夹缝中引出，电动主动滑轮31带动从动轮33和小滑轮34旋转，牵引胶带5从硅片衬底6的表面剥离。控制柜4通过移动控制器43设置剥离台2在底座1上水平移动距离，使胶带5的剥离角为30̊ ，同时通过转速控制器41调整电动主动滑轮31的转速，确保胶带5以稳定的小角度沿硅片衬底6表面揭开剥离，得以稳定的剪切力剥离二维层状材料，确保在剥离过程中大面积二维材料的完整性，完成硅片衬底6上制备石墨烯薄膜材料。

以上只是对本实用新型作进一步的说明，并非用以限制本专利，凡为本实用新型等效实施，均应包含于本专利的权利要求范围之内。