一种金属滴液电极式三维电容触觉传感器的制作方法

文档序号:17617455发布日期:2019-05-07 21:47阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种金属滴液电极式三维电容触觉传感器。主要从下至上依次由下极板、电介质层和上极板组合而成,下极板上表面开有四组阵列布置的方形凹槽,每组方形凹槽包括两个直角三角形槽,每个直角三角形槽均置有一个传感电极,每组方形凹槽的两个传感电极构成一组电容单元;上极板上表面加工成半圆球型结构,上极板下表面加工有四个阵列布置的梯形台状槽,电介质层和上极板粘接使得形成密封腔体,四个密封腔体填注有镓铟锡合金液体构成四个传感单元。本实用新型采用变极板面积的方式替代传统电容传感器改变极板间距的方式,有效提高传感器灵敏度。

技术研发人员:余建平;李欣;张玉良
受保护的技术使用者:衢州学院
技术研发日:2018.11.08
技术公布日:2019.05.07

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