一种真空环境更换样品装置的制作方法

文档序号:17936285发布日期:2019-06-15 01:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于真空分析设备领域,并公开了一种真空环境更换样品装置,该装置包括换样台、阀座和密封单元,其中换样台用于放置和更换样品;阀座中第一反应室设有通孔用于与第一腔室连通,并通过第一阀芯的移动实现第一通道的打开和闭合,样品室用于放置换样台,第二反应室设有通孔用于与第二腔室连通,并通过第二阀芯的移动实现第二通道的打开和闭合;密封单元用于与阀座相互配合隔绝外界空气。本发明通过第一阀芯和第二阀芯可以在不影响第一腔室和第二腔室真空环境的条件下,实现样品的更换,并且更换样品后打开第一通道和第二通道即可使样品处于工作环境中,节约了重新获得工作环境的时间。

技术研发人员:陈蓉;完颜剑峰;单斌;曹坤;熊英飞
受保护的技术使用者:华中科技大学
技术研发日:2019.02.28
技术公布日:2019.06.14
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