工件保持件、用于测量工件的测量装置和测量方法与流程

本发明涉及用于保持工件的工件保持件，所述工件具有存在于相对工件侧部处的待测量的两个工件表面。本发明还涉及用于通过使用工件保持件而测量工件的测量装置和测量方法。

背景技术：

特别是在光学领域中经常可发现在相对工件侧部处相应地具有工件表面（特别是弯曲工件表面）的工件。工件表面可至少以部段地是球面或非球面的，或可具有自由形式。工件也可为微透镜和/或圆柱形光学件的阵列。正好，光学工件要求测量工件表面的特征参数，例如，工件表面的形状和/或每个工件表面的一个或更多个光学轴线的位置和/或定向。在此情况下，决定性的是，参考另一表面的至少一个几何形状参数而准确地知道一个表面的至少一个几何形状参数。

例如，从de102014208636a1或de102016110453a1中已知工件的工件表面或光学工件表面的测量。

在现有技术中，做出了高度努力以布置透镜组中的透镜或物镜，使得透镜组或物镜中的偏差最小化。de102007027200a1提出了用于微光刻的投影照明装置以及定向双非球面的操纵器，从而优化光学系统的成像特征。从de102013004738a1中已知用于参考基准轴线而目标性调整光学组件部件的方法。

de102008027831a1涉及透镜中间厚度的测量。待检查的透镜被容纳在具有旋转轴线的旋转支撑件上。旋转支撑件围绕其旋转轴线与透镜一起旋转。激光束平行于旋转轴线被引导通过旋转透镜，并且在激光束穿过透镜之后，空间性光传感器探测激光束的摆动圈。透镜而后相对于旋转支撑件轴线对准，以便使摆动圈最小化。在此定向中，旋转支撑件的旋转轴线延伸通过透镜中间部，随后可由探测对探测所述透镜中间部。

hahne、langehanenberg,“automatedaspherecentrationtestingwithaspherocheckup”（“利用aspherocheckup的自动化非球面对中性测试”）,spie公报,卷号10448,104481h,2017,doi:10.1117/12.2279674描述的是，利用两个相对光学测量单元而光学测量透镜的几何形状参数。光学测量单元必须被布置在待测量物体的侧部两者上在公共轴线的范围中，这影响了用于待测量工件的工件台的设置和布置。

从de102006052047a1中已知用于确定非球面透镜表面的对称轴线位置的方法和装置。另一相对透镜表面不被测量。

de102014007203a1描述的是，测量光学工件的两个工件表面，其中，首先测量一个工件表面，随后大约以180度手动转动工件，并且而后在第二测量路径中测量相对工件表面。这要求工件在两个定向上的高度精确和可重复的布置，以便能够使工件表面的这些单次测量（特别是两个工件表面的光学轴线的相对位置或相对定向）关联到彼此。

技术实现要素：

从现有技术出发，本发明的目的可被认为是简化工件（特别是具有待测量的两个相对工件表面的光学工件）的测量。

此目的通过具有权利要求1的特征的工件保持件、通过具有权利要求16的特征的测量装置以及具有权利要求20的特征的测量方法而得到解决。

发明性工件保持件被配置成在利用探测单元测量的期间保持工件，所述工件具有存在于相对工件侧部处的待测量的两个工件表面，所述探测单元能够沿着工件表面移动。工件特别是具有待测量的两个光学工件表面的光学工件，例如，透镜。待测量的工件表面中的每个可具有一个或更多个球面或非球面表面部段或自由形式，或可完全是球面或非球面的。每个工件表面可具有凹表面部段和/或凸表面部段。工件保持件特别是在一个单次设定中允许工件表面两者的可接近性和工件表面两者的测量。探测单元可包括探测臂，所述探测臂具有接触式触觉探测元件或非接触式操作探测元件。

工件保持件具有支撑件，所述支撑件被配置成与测量装置的夹持装置连接。例如，圆柱形夹持销可存在于支撑件处，用于在夹持装置中夹持。

工件保持件还包括保持主体，所述保持主体在附接端部处被附接到支撑件，并且从支撑件延伸到自由保持端部。沿着工件保持件的纵向轴线，保持端部被布置成从支撑件具有一定距离。

在保持端部处，设置至少一个保持表面。保持表面被配置成与工件的周边区域进行接触，并且在工件保持件处保持工件。工件可仅由于自身重量而位于至少一个保持表面上，并且可由至少一个保持表面定位。可选地，也可能的是，在工件的周边区域和保持端部之间通过夹持动作产生摩擦配合或力配合连接。

保持主体具有自由空间。工件保持件的纵向轴线延伸通过自由空间。从纵向轴线出发，自由空间包括至少一个横向通道，所述横向通道垂直于或倾斜于纵向轴线延伸，并且在保持主体的周边开口处终止，并且在此位置处能够从外部被接近。由于可接近性，面向或被分配到支撑件的工件表面可由可移动探测单元测量。相对工件表面背向支撑件和保持主体，并且也能够由探测单元接近。因此，可在相同设定中测量工件表面两者。测量可手动或自动地被准确、快速和简单地执行。还存在的可能性是，简单和快速地产生在工件表面两者的几何形状参数之间的空间性关系。

在优选实施例中，至少一个横向通道在与支撑件相对的侧部处是轴向开放的。所述横向通道在保持端部处在平行于长度轴线的方向上完全穿过保持主体。

在优选实施例中，自由空间包括多个横向通道，所述横向通道在纵向轴线的区域中通向到彼此中。横向通道的周边开口被布置成围绕工件保持件的纵向轴线在周向方向上相对于彼此具有一定距离。

如果存在有多个横向通道，则有利的是，如果两个横向通道基本上沿着垂直于工件保持件纵向轴线的公共轴线延伸。在此情况下，可能的是，探测装置沿着工件的全直径接近到工件表面。至少设计了具有至少一个横向通道的自由空间，使得探测单元能够沿着工件表面上比工件表面半径更长的一条线而测量工件面向支撑件的工件表面。

优选地，自由空间被定尺寸成足够大，使得在测量期间，探测单元可在自由空间内部垂直于移动方向移动，特别是以便确定工件表面上凸表面部段或凹表面部段的相应顶点（最大值或最小值），用于测量，并且以便在测量期间在顶点的平面中定位探测单元，并且移动探测单元。

多个现有横向通道可将保持主体划分成多个保持主体部件，所述保持主体部件被布置成在周向方向上具有一定距离。保持主体部件可被支撑在支撑件处，使得它们能够在保持端部处相对于纵向轴线弹性移动。

在沿着纵向轴线的视图中，横向通道可被布置成星形形状。围绕纵向轴线在周向方向上，横向通道可被规则地设置，使得在两个直接相邻的横向通道之间的角度相应地具有相同量。

在优选实施例中，自由空间在纵向轴线的区域中具有圆柱形或棱柱形中央区域。中央区域可相对于纵向轴线对称布置。至少一个横向通道通向到中央区域中。

还有利的是，如果每个横向通道包括主要部段和狭长部段，所述狭长部段在周向方向上比主要部段更小。狭长部段在纵向轴线的方向上连接到主要部段。特别地，狭长部段可被布置在保持主体的保持端部处。每个横向通道的主要部段可在平行于纵向轴线的方向上邻接支撑件。

为了在保持端部处保持工件，保持主体可包括背向支撑件的轴向保持表面。轴向保持表面的法向量具有至少一个轴向分量，所述轴向分量背向支撑件，并且优选地平行于纵向轴线定向。如果保持主体被划分成多个保持主体部件，则轴向保持表面的轴向保持表面部段存在于每个保持主体部件处。

还有利的是，如果保持主体在保持端部处包括周边保持表面，所述周边保持表面围绕纵向轴线在周向方向上延伸。周边保持表面可面向工件保持件的纵向轴线。在一个实施例中，周边保持表面的法向量可相对于纵向轴线径向定向，或可包括相对于纵向轴线径向定向的至少一个分量。

如果保持主体被划分成多个保持主体部件，则每个保持主体部件包括周边保持表面的周边保持表面部段。

因此，轴向保持表面和周边保持表面或相应地在一个公共保持主体部件处的轴向保持表面部段和周边保持表面部段可包括小于180度或小于120度的角度，并且可优选地基本上垂直于彼此定向，并且可在工件外边缘处在周边区域处以及在一个轴向侧部处支撑工件。特别有利的是，如果工件在相对轴向侧部处在保持端部处不被包围。因此，可能使工件简单地插入在工件保持件中。

优选地，工件相对于纵向轴线径向定位，并且可选地由多个保持主体部件的周边保持表面部段以力配合的方式在从彼此远离的多个周边位置处夹持。

上文描述的工件保持件可在测量装置和测量方法中使用。测量装置具有：探测单元，能够在移动方向上移动；和夹持装置，被配置成夹持工件保持件的支撑件。在工件保持件的夹持情况下，工件保持件的纵向轴线优选地垂直于探测单元的移动方向定向。由于工件保持件的自由空间，因此探测单元可在一个设定中在相对轴向侧部两者处并且因此在相对工件表面两者处测量工件，以便确定待测量的几何形状参数。工件不被重新夹持（在不同定向上再次夹持）。因此，可能的是，非常简单和准确地确定两个工件表面相对于彼此的相对位置。

有利的是，如果探测单元能够垂直于移动方向并且垂直于工件保持件的纵向轴线移动或定位，用于确定工件表面的顶点，以便在工件处在其中存在有顶点的测量平面中执行测量。可自动或手动地执行顶点的确定。

优选地，测量装置的探测单元包括探测臂。探测臂具有自由探测端部，所述自由探测端部具有垂直于探测臂纵向轴线定向的第一探测元件和与第一探测元件相对地定向的第二探测元件。第一和第二探测元件可以触觉或非接触式的方式操作。优选地，球体被用作触觉探测元件。

优选地，在测量期间，触觉探测元件被按压抵靠待测量工件的工件表面所利用的探测力较小，并且特别是小于5mn。在一个实施例中，探测力具有的量至少是0.5mn。

探测臂可围绕枢转轴线相对于探测端部具有一定距离地被可枢转地支撑。枢转轴线优选地垂直于工件保持件的纵向轴线并且垂直于探测单元的移动方向定向。

发明性测量方法包括以下步骤：

首先，工件被布置在工件保持件的保持端部处。而后，两个工件表面被顺序测量，而不重新夹持工件，其中，两个工件表面的测量顺序是任意的。通过使探测单元沿着第一工件表面移动而测量背向支撑件的第一工件表面。通过使探测单元沿着第二工件表面移动而测量面向支撑件的第二工件表面，其中，探测单元接合到自由空间中，并且因此可能接近到第二工件表面。

在测量之前，可在每个工件表面上执行顶点（局部或整体最大值或最小值）的计算确定和/或测量确定，使得在其中存在有顶点的测量平面中执行随后的测量。两个测量平面可相同，或从彼此平行偏移。

借助于工件保持件，可能以简单的方式手动以及自动地测量工件，特别是光学工件。

附图说明

随后，参考附图而详细解释本发明的优选实施例。附图显示：

图1测量装置的实施例，

图2在利用触觉测量探测单元测量工件表面的期间，待测量工件在工件保持件中的布置的示意性框图式图示，

图3具有非接触式测量探测元件的探测单元的可选实施例的示意性原理图示，

图4沿着纵向轴线到工件保持件的实施例上的俯视图，

图5工件保持件的实施例的透视图示，

图6图5的工件保持件的侧视图，

图7沿着图6中的线vii-vii通过图5和6的工件保持件的纵向截面，

图8到根据图5-7的工件保持件上的俯视图，

图9沿着图8中的线ix-ix通过根据图5-8的工件保持件的纵向截面，

图10工件的两个相对工件表面的示意性示例测量，以及

图11-14可借助于工件保持件测量的相应不同光学工件的示意性原理图示。

具体实施方式

图1显示了测量装置20的实施例。测量装置20具有机器基部21。笛卡尔坐标系特别是被固定布置到机器基部21，并且限定x-方向x、y-方向y和z-方向z。

在机器基部21处，夹持装置23被布置用于夹持待测量工件24。夹持装置23在x-方向和/或y-方向上能够被手动定位。其包括具有旋转轴线的旋转驱动器，借助于所述旋转驱动器，工件24可围绕其纵向轴线l转动，所述纵向轴线l由夹持装置23间接夹持。夹持装置23的旋转轴线可相对于坐标系x、y、z的z-方向例如被手动地定位和对准。为此，可选地可存在有可控轴线布置，所述可控轴线布置具有相应的平移和/或旋转自由度。

测量装置20还包括机器轴线布置25，用于定位和/或对准探测单元26。机器轴线布置25具有平行于z-方向的平移自由度tz、平行于y-方向的平移自由度ty和平行于x-方向的平移自由度tx，其中，在测量工件24的期间，此平移自由度限定探测单元26的移动方向b。

如特别是可在图2中看到的，在本实施例中，探测单元26包括探测臂27，所述探测臂27围绕枢转轴线s被可枢转地支撑，使得围绕枢转轴线s形成附加旋转自由度rs。枢转轴线s垂直于移动方向b延伸，在测量期间，探测臂27在所述移动方向b上移动。在本实施例中，枢转轴线s平行于y-方向定向，并且移动方向b平行于x-方向定向。在测量之前，探测单元26也可借助于机器轴线布置25而在y-方向上移动，以便相应地调整探测单元或探测臂27的其中进行测量的一个或多个测量平面（x-z-平面）。

用于定位和对准夹持装置23的机器轴线布置25和自由度仅是示例性的。平移和/或旋转自由度的数量可根据测量任务（测量装置20被配置和提供用于所述测量任务）而被合适地限定。

探测臂27具有远离枢转轴线s的自由探测端部28，在所述自由探测端部28处，布置有至少一个探测元件，并且在本实施例中布置有第一探测元件29以及第二探测元件30。在图2中显示的实施例中，探测元件29、30是以触觉探测元件29、30的形式，并且在测量期间接触待测量工件24。探测元件29、30相对于探测臂纵向轴线被布置在探测臂27的直径相对侧部处。换言之，探测元件29、30在相对方向上远离探测臂27延伸。在本实施例中，探测元件29、30每个包括探测球体，在测量期间，所述探测球体接触工件24。

如在图3中示意性示出的，第一和/或第二探测元件29、30也可形成为非接触式测量探测元件，例如，其可相对于工件24的工件表面24a、24b具有一定距离地移动，并且产生测量信号，以便能够确定探测元件29、30到工件表面24a、24b的距离。例如，对于非接触式测量，探测元件29、30可发射并且接收光，特别是激光，以便评估相应探测元件29、30到工件24的工件表面的距离。

为了测量，探测臂27在移动方向b上移动，并且在此情况下，在移动方向上的位置以及围绕枢转轴线s的枢转位置被测量。枢转位置的特征在于，在工件24的工件表面上由探测元件29、30探测的点。因为在枢转移动期间，探测元件29、30不垂直于移动方向b线性移动，所以产生误差，所述误差被称为余弦误差。可在测量装置的控制和评估单元中通过计算而消除此误差。

此处，待测量工件24是在一个工件侧部处包括待测量第一工件表面24a和在相对另一工件侧部处包括待测量第二工件表面24b的工件24。工件表面24a、24b两者至少以部段地被弯曲成凹的和/或凸的，并且可在凹部段和/或凸部段中包括恒定或变化的曲率半径。工件24特别是具有两个光学工件表面24a、24b的光学工件，例如，透镜。光学工件表面24a、24b可例如是球面或非球面的，或可包括自由形式，或可为具有多个微透镜和光学轴线oi（i=1…n）的透镜阵列。对于工件表面24a、24b的布置和扩展的不同示例在图11-14中示意性示出。

对于此类工件24，重要的是，确定每个工件表面24a、24b的一个或更多个几何形状参数，并且附加地确定被分配到工件表面24a、24b的光学轴线o1、o2的相对位置或相对定向。光学轴线的数量取决于工件的设计，并且可为两个或多于两个。

在实际测量（在所述实际测量期间，探测单元26沿着相应工件表面24a、24b在移动方向b上在测量平面（x-z-平面）内移动）之前，首先确定对于工件表面24a、24b的顶点，所述顶点的特征在于，光学轴线o1、o2通过工件表面24a、24b的穿透点。这可被手动或自动地执行。例如，首先可在y-方向上（即，在枢转轴线s的方向上）在相应的x-z-平面内测量两个曲线，所述两个曲线相对于彼此偏离，并且基于已知期望几何形状，可通过计算而确定测量平面（x-z-平面）的y-位置。在x-方向上，顶点的位置不一定必须被精确地知道，因为在测量期间，无论如何都在x-方向上沿着整个工件表面24a、24b确定测量值。

在确定顶点的y-位置（其限定测量平面的位置）之后，相应地测量相应工件表面24a或24b。在测量之前，对于相应工件表面24a或24b，相应地执行顶点或测量平面的y-位置的确定过程。在此情况下，所确保的是，在两个工件表面处的测量延伸通过顶点。

在图10中示出了第一曲线k1，例如，所述第一曲线k1描述了第一工件表面24a在x-z-平面中的延伸，其包括凸形式的顶点（最大值）。第二曲线k2描述了也在x-z-平面中的延伸，其包括相对第二工件表面24b的凸形式的顶点（最大值）。基于曲线k1、k2，可相应地确定工件24在第一工件表面24a处的第一光学轴线1和工件24在第二工件表面24b处的第二光学轴线o2。每个光学轴线o1、o2的方向可基于数学关系（特别是多项式，其特征在于，相应工件表面24a、24b的期望几何形状）通过计算而确定。在此情况下，例如可确定在x-方向和/或y-方向上的偏移d和/或在两个光学轴线o1、o2之间的倾斜。

为了确定顶点并且测量两个工件表面，不重新夹持工件。因此可能快速和简单地测量或确定光学轴线o1、o2。

执行测量，使得探测单元26和例如探测臂27随后沿着第一工件表面24a移动一次，并且沿着第二工件表面24b移动一次，其中，工件表面24a、24b中的哪个首先被测量的顺序是不重要的。在测量期间，工件24不相对于其位置或定向变化。在此情况下，沿着两个工件表面24a、24b相应地执行线形测量。在这些测量期间，对于每个工件表面24a、24b，相应地测量第一曲线k1或k2，如在图10中将它们示例性示出的。可在工件24围绕纵向轴线l的多个旋转位置中执行两个工件表面24a、24b的测量。在围绕纵向轴线l的第一旋转位置中的曲线k1、k2的第一测量之后，测量装置20的夹持装置23可使工件24围绕纵向轴线l以期望转动角度转动，其中，纵向轴线l对应于夹持装置23的旋转轴线。在此进一步旋转位置中，可再次测量第一和第二曲线k1、k2。

为了能够在一个设定中测量工件24的两个工件表面24a、24b，根据本发明存在有工件保持件35。工件保持件35被配置成提供到两个工件表面24a、24b的可接近性，而不重新夹持工件24，使得可由探测单元26和例如探测臂27的探测元件29、30达到两个工件表面24a、24b。

工件保持件35在图2中被高度示意性示出。工件保持件35具有支撑件36，所述支撑件36被配置成在夹持装置23中夹持工件保持件35。在本实施例中，支撑件36因此包括夹持销37，所述夹持销37沿着工件保持件35的纵向轴线l延伸，其中，夹持销具有例如圆形圆柱形形状。在夹持销37的一个端部处，支撑件36包括圆形形状支撑盘38，所述圆形形状支撑盘38的直径大于夹持销37的直径。支撑盘38相对于纵向轴线l同轴布置。

在支撑件36和例如支撑盘38处，布置有保持主体39。保持主体39具有附接端部40，所述附接端部40与支撑件36连接，并且根据本示例与支撑盘38连接。

在优选实施例中，保持主体和支撑件36被一体成形，而没有接缝或连接位置，并且可由塑料或金属材料制造。

保持主体39从附接端部40远离支撑件36延伸到自由保持端部41。保持主体39的保持端部41被配置成定位并且支撑工件24。为此，至少一个保持表面并且在本实施例中轴向保持表面42以及周边保持表面43存在于保持端部41处。轴向保持表面42背向支撑件36，并且包括例如法向量，所述法向量基本上平行于纵向轴线定向。周边保持表面43面向纵向轴线l，并且可垂直于轴向保持表面42定向。周边保持表面43的法向量例如相对于纵向轴线l径向定向。

在保持主体39中，存在有自由空间47。在本实施例中，自由空间47具有中央区域48，所述中央区域48具有一个或更多个圆柱形或棱柱形部段。中央区域48优选地相对于纵向轴线l对称形成。纵向轴线l无论如何都延伸通过中央区域48。中央区域48在背向支撑件36的侧部处是轴向开放的，并且因此能够在纵向轴线l的区域中从保持端部41被接近。

自由空间47还包括横向通道49，并且在本实施例中包括多个横向通道49，例如，三个横向通道49（图4）或四个横向通道49（图5-9）。每个横向通道从中央区域48出发，相对于纵向轴线l径向延伸到周边开口50。在周边开口50处，相应横向通道49在保持主体39的外部处终止，并且因此能够通过周边开口50从外部相对于纵向轴线l被径向接近。通过周边开口50，并且通过横向通道49，探测单元（特别是具有至少一个探测元件29、30的探测臂27）可被布置在自由空间47中，并且在其中移动。在此情况下，可能在相同设定中测量面向支撑件的工件表面，例如，第二工件表面24b，在所述设定中，也可由探测单元26测量相对工件表面24a。

在沿着纵向轴线l观察的情况下，横向通道49以星形的方式布置。它们例如围绕纵向轴线l在周向方向u上均匀分布。横向通道49的周边开口50被布置成围绕纵向轴线l在周向方向u上从彼此具有一定距离并且例如具有均匀距离。

横向通道49的数量可变化。优选的是，如果沿着垂直于纵向轴线l的公共径向轴线布置至少两个横向通道49，换言之，所述横向通道49对准。在此情况下，探测单元26可沿着对准的横向通道49在第二工件表面24b的整个直径处或沿着第二工件表面24b的整个直径移动。在根据图5-9的实施例中，横向通道49中的两个相应地与彼此对准，所述横向通道49中的两个相对于纵向轴线l在直径上与彼此相对。

在示出的实施例中，每个横向通道49具有主要部段51和邻接到其的狭长部段52。主要部段51和狭长部段52在平行于纵向轴线l的轴向方向上邻接彼此。狭长部段52存在于保持主体39的保持端部41处，而主要部段51相应地被布置在狭长部段52和支撑件36之间或在保持端部41和支撑件36之间。主要部段51可被布置成相对于支撑件36具有一定距离，或直接邻接支撑件36。在根据图5-9的实施例中，在平行于纵向轴线l观察的情况下，每个横向通道49的主要部段51终止成相对于支撑件36具有一定距离，使得存在有保持主体的环形封闭环部件53，所述环形封闭环部件53没有周边开口50，并且包括封闭周边表面。

横向通道49在工件保持件35背向支撑件36或环部件53的轴向侧部处是开放的，并且在背向支撑件36的侧部处完全穿过保持主体39。在此情况下，产生了由横向通道49分隔的单独保持主体部件54。在图5-9中示出的所描述的优选实施例中，每个横向通道49的主要部段51在周向方向u上比狭长部段52具有更大的宽度。在相对于纵向轴线l径向观察的情况下，每个保持主体部件54因此获得t形形式，其具有平行于纵向轴线延伸的纵向条部54a和在周向方向u上延伸并且被设置在保持主体39的保持端部41处的横向条部54b。在每个横向条部54b处，存在有轴向保持表面42的轴向保持表面部段42a和周边保持表面43的周边保持表面部段43a。所有轴向保持表面部段42a均在垂直于纵向轴线l的公共平面中对准。如果保持主体部件54不受力，并且不从其相应静止位置偏转，则所有周边保持表面部段43a均被布置在相对于纵向轴线l同轴的公共圆柱表皮表面中。

通过轴向保持表面部段42a、43a，工件24在其周边区域处在多个（并且例如三个或四个）周边位置处在周向方向u上被支撑。在此情况下，轴向保持表面部段42a接触下工件表面24b的周边区域，并且周边保持表面部段43a接触工件24的周边边缘或周边表面。优选地，工件24仅由其自身重量而位于保持主体39上或位于轴向保持表面部段42a上。可选地，通过使保持主体部件54远离纵向轴线l弹性偏转，夹持力可由周边保持表面部段43a施加到工件24上。夹持力可较低，因为在非接触式测量期间，没有测量力作用在工件24上，并且在触觉测量期间，测量力极其小，特别是小于5mn。

在优选实施例中，工件24在第一工件表面24a处不被重叠，使得第一工件表面24a是完全自由的，并且不由工件保持件35的部件重叠。

工件保持件35的所显示的实施例被配置用于保持圆角或圆形工件。在未示出的实施例中，工件保持件35的保持主体39以部段地可具有棱柱形形式，并且可被配置用于保持具有多边形截面的工件24。

本发明涉及工件保持件35以及用于通过使用工件保持件35而执行测量的测量装置20和方法。工件保持件35被配置成保持工件24，所述工件24具有待测量的两个相对布置的工件表面24a、24b，使得工件表面24a、24b两者能够由可移动探测单元26接近，并且因此可在工件24的一个设定中被测量。为此，工件保持件35包括支撑件36和保持主体39。保持主体39具有远离支撑件36的保持端部41，所述保持端部41具有至少一个保持表面42、43，工件24被保持在所述保持表面42、43处。在保持主体39中，形成有自由空间47，当工件24被保持时，所述自由空间47邻接面向支撑件的工件表面24b，并且使得工件表面24b能够被接近，用于测量或探测。对于探测单元26的可接近性由横向通道49提供，所述横向通道49倾斜于或垂直于工件保持件35的纵向轴线l延伸。

附图标记列表:

20测量装置

21机器基部

23夹持装置

24工件

24a第一工件表面

24b第二工件表面

25机器轴线布置

26探测单元

27探测臂

28自由探测端部

29第一探测元件

30第二探测元件

35工件保持件

36支撑件

37夹持销

38支撑盘

39保持主体

40附接端部

41保持端部

42轴向保持表面

42a轴向保持表面部段

43周边保持表面

43a周边保持表面部段

47自由空间

48中央区域

49横向通道

50周边开口

51主要部段

52狭长部段

53保持主体的环部件

54保持主体部件

54a保持主体部件的纵向条部

54b保持主体部件的横向条部

b移动方向

d偏移

k1第一曲线

k2第二曲线

l纵向轴线

o1第一光学轴线

o2第二光学轴线

oi透镜阵列的光学轴线

rs围绕枢转轴线的旋转自由度

s枢转轴线

tx在x-方向上的平移自由度

ty在y-方向上的平移自由度

tz在z-方向上的平移自由度

u周向方向

xx-方向

yy-方向

zz-方向。