差压检测装置的制作方法

本发明涉及一种差压检测装置。

背景技术：

专利文献1公开了一种流量检测装置，其将因流体压力而移动的可动体收纳于壳体内，通过非线性弹簧向与流体压力相对的方向对可动体施力，在可动体上安装磁铁并在可体内设置磁传感器，从而能够在低流量(低差压)时进行精确的检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-211703号公报

技术实现要素：

本发明所要解决的课题

专利文献1所述的发明使用不等距弹簧作为非线性弹簧。不等距弹簧的特征在于，当施加力时，节距较窄的部位先压并，圈数减少，弹簧常数变大。因此，在节距狭窄的部位即将压并之前，弹簧常数变得不稳定，由此，差压的检测有可能变得不稳定。

此外，作为在低差压时能够进行检测的方法，也可以考虑不使用非线性弹簧而是增加通常的螺旋弹簧(线性弹簧)的圈数的方法。但是，若增加圈数，则未压缩时的螺旋弹簧的长度以及螺旋弹簧的压并高度变大，因此有可能不能有效地利用磁传感器的灵敏度范围，差压检测的精度降低。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够扩大差压测定范围、特别是在在低差压时能够测定差压的差压检测装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述问题，本发明所涉及的差压检测装置，例如用于检测高压侧与低压侧的压力差即差压，其特征在于，具备：外壳，其为大致圆筒形状，且具有在一个端面即第一端开口的滑动孔；滑阀，其可沿着所述滑动孔的中心轴在所述滑动孔的内部移动地设置于所述滑动孔的内部，且将所述滑动孔划分为低压侧的空间和高压侧的空间；弹性部件，其设置于所述滑动孔的内部；以及磁场检测元件，其设置于所述外壳的内部，所述滑阀具有：第一滑阀，其设置有磁铁；以及第二滑阀，其直径与所述滑动孔的内径大致相同，且在所述滑动孔的内部滑动，所述第一滑阀面向所述高压侧的空间设置，所述第二滑阀面向所述低压侧的空间设置，所述弹性部件具有：第一弹性部件，其设置于所述第一滑阀，且朝向所述高压侧的空间对所述第一滑阀施力；以及第二弹性部件，其设置于所述第二滑阀，且朝向所述高压侧的空间对所述第二滑阀施力，所述磁场检测元件设置为隔着所述滑动孔的底面与所述磁铁相对，所述第一滑阀在设置有所述磁铁的状态下比所述第二滑阀轻，所述第一弹性部件的作用力比所述第二弹性部件的作用力小，所述第一弹性部件与所述第二弹性部件串联布置。

根据本发明所涉及的差压检测装置，面向高压侧的空间的第一滑阀在设置有磁铁的状态下比面向低压侧的空间的第二滑阀轻。朝向高压侧的空间对第一滑阀施力的第一弹性部件的作用力比朝向高压侧的空间对第二滑阀施力的第二弹性部件的作用力小，第一弹性部件和第二弹性部件串联布置。由此，能够扩大差压测定范围，特别是在低差压时能够测定差压。

其中，也可以是，所述第一滑阀的直径与所述滑动孔的内径大致相同，所述第一滑阀在所述滑动孔的内部滑动。这样，通过使第一滑阀变轻并且使第一滑阀的受压面积变大，能够扩大差压测定范围，进行更低差压的测定。

其中，也可以是，所述第二滑阀具有限制所述第一滑阀沿着朝向所述第一端的方向的移动的止挡件，所述第二滑阀具有沿着所述中心轴贯通所述第二滑阀的孔，在所述第一滑阀与所述止挡件抵接的状态下，所述第一滑阀将所述孔覆盖。由此，滑阀能够在滑动孔的内部顺畅地移动。

其中，也可以是，所述第二滑阀具有外周面与所述滑动孔滑动的大致圆筒形状的圆筒部，所述圆筒部向所述底面突出，所述第一滑阀设置于所述圆筒部的内部，并沿着所述圆筒部的内周面滑动。由此，能够使第一滑阀更加小型化且轻量化，即使在差压较小的情况下，也能够高精度地测定差压。

其中，也可以是，所述滑阀还具有设置在所述第一滑阀与所述第二滑阀之间的第三滑阀，所述滑阀将所述滑动孔划分为所述低压侧的空间、所述高压侧的空间、所述低压侧的空间与所述高压侧的空间之间的空间，所述弹性部件还具有设置于所述第三滑阀且朝向所述高压侧的空间对所述第三滑阀施力的第三弹性部件，所述第三弹性部件的作用力比所述第二弹性部件的作用力小。由此，能够将滑阀和弹性部件进一步多级化，进一步扩大差压测定范围。

发明效果

根据本发明，能够扩大差压测定范围，特别是在低差压时能够测定差压。

附图说明

图1是简要表示设置有本发明的第一实施方式的差压检测装置1的过滤装置100的图。

图2是差压检测装置1的剖视图。

图3是差压检测装置1的剖视图。

图4是差压检测装置1的剖视图。

图5是差压检测装置2的剖视图。

图6是差压检测装置3的剖视图。

图7是差压检测装置4的剖视图。

图8是差压检测装置5的剖视图。

图9是表示将差压检测装置1设置在液压回路101中的压力控制阀141上的形态的示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。本发明的差压检测装置设置于过滤装置、阀等，用于检测高压侧与低压侧的压力差即差压。

<第一实施方式>

图1是简要表示设置有本发明的第一实施方式的差压检测装置1的过滤装置100的图。过滤装置100使用过滤器除去油、水等液体中含有的灰尘等，组装在例如具备液压致动器的重型机械等的液压回路中。另外，在图1中，省略一部分表示剖面的剖面线。

过滤装置100主要具有壳体110、滤芯120和滤头130。

壳体110是一端大致封闭，另一端开口的大致有底圆筒形状的部件。在壳体110的下端设置有排液管111。另外，排液管111不是必须的。

壳体110的开口部安装在滤头130上。若壳体110安装在滤头130上，则滤芯120安装在滤头130的中央筒132(在后文详述)上。由此，滤芯120被收纳在壳体110的内部。

滤芯120主要具有内筒126、滤料127以及设置在滤料127的两端的滤板128、129。内筒126是两端具有开口的大致中空圆筒形状的部件，使用耐腐蚀性高的材料(例如树脂或金属)形成。

滤料127为在径向上具有厚度的大致中空圆筒形状。滤料127通过将使用合成树脂或纸等的片状的滤纸打褶折叠，并将打褶折叠后的滤纸的两端连结并卷起而形成的。

在滤料127的一端(图1中的上侧端)设置有滤板128，在另一端(图1中的下侧端)设置有滤板129。滤板128和滤板129是大致有底圆筒形状的部件，使用耐腐蚀性高的材料形成。

滤板128设置于滤料127的上端。在滤板128上，插入滤头130的中央筒132(在后文详述)。在滤板128与中央筒132之间设置密封部件113(例如o型圈)。通过密封部件113进行密封，以防止液体从滤板128与中央筒132之间向外部泄漏。此外，由于在滤板128上设置有内筒126，因此当中央筒132被插入滤板128上时，内筒126的内部空间与中央筒132的内部空间连通。

滤头130主要具有主体131、中央筒132、流入通路133、流出通路134以及安装孔135。

主体131是大致有底圆筒形状的部件，由耐腐蚀性高的材料形成。在主体131的开口端附近的外周形成有外螺纹部131a。当将外螺纹部131a与形成于壳体110的内周的内螺纹部110a螺合时，壳体110被安装到滤头130上。

在壳体110与滤头130之间设置密封部件112(例如o型圈)。通过密封部件112进行密封，以防止液体从壳体110与滤头130之间向外部泄漏。

中央筒132是大致圆筒形状的部件，与主体131一体形成。中央筒132从主体131的底面大致中央向与主体131的侧面相同的方向突出。在中央筒132的外周面形成被插入到滤板128的中空部123a中的凹部132a。

流入通路133和流出通路134为大致管状。由主体131的侧面和中央筒132形成的空间(中央筒132的外部的空间)s1与流入通路133连通。此外，中央筒132的内部的空间s2与流出通路134连通。

工作油中应过滤的工作油l1经由流入通路133被供给到过滤装置100。工作油l1(参照图1中实线箭头)流入壳体110内，之后由滤料127过滤，并向内筒126的内部流出。此外，向内筒126的内部流出的过滤后的工作油l2(参照图1中双点划线箭头)从流出通路134向过滤装置100的外部排出。

安装孔135形成于主体131的底面附近。在安装孔135上设置差压检测装置1。在安装孔135的侧面形成内螺纹部135a。当将形成于差压检测装置1的外螺纹部16(参照图2)与内螺纹部135a螺合时，差压检测装置1被安装到滤头130上。

在安装孔135与差压检测装置1之间设置密封部件114、115(例如o型圈)。通过密封部件114、115进行密封，以防止液体从安装孔135与差压检测装置1之间向外部泄漏。

安装孔135的底部附近与流出通路134即空间s2连通。由于差压检测装置1的底面开口，因此空间s2与差压检测装置1内部的第一孔121(在后文详述)连通。

此外，安装孔135的内螺纹部135a经由孔136与空间s1连通。空间s1经由形成于差压检测装置1的孔15(在后文详述)与差压检测装置1内部的第二孔122(在后文详述)连通。

接下来，对差压检测装置1进行详细说明。图2是差压检测装置1的剖视图。在图2中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。

差压检测装置1主要具有外壳10、检测单元20、滑阀30、磁铁40以及弹性部件50。

外壳10为大致圆筒形状，在两端分别形成孔11、滑动孔12。孔11、滑动孔12分别为大致圆筒形状。

孔11在外壳10的端面13开口。在孔11中设置检测单元20。在孔11的内部形成内螺纹部11a。

检测单元20为大致圆筒形状，在周围形成外螺纹部20a。通过将外螺纹部20a螺合于内螺纹部11a，检测单元20可调整高度(z方向的位置)地设置于孔11的内部。

在检测单元20的大致中央设置磁场检测元件21。磁场检测元件21检测由磁铁40形成的磁场。磁场检测元件21可以使用磁簧开关、霍尔元件等。磁簧开关和霍尔元件已公知，因此省略说明。

滑动孔12在外壳10的另一端面14开口。滑动孔12主要具有第一孔121和第二孔122。第一孔121和第二孔122的中心轴与中心轴a大致一致。第二孔122形成于第一孔121的前端(滑动孔12的里侧)。

在第二孔122的侧面开口有孔15。孔15沿径向贯通外壳10，两端在第二孔122的侧面及外壳10的外周面开口。外壳10的外周面面向空间s1，因此第二孔122与空间s1经由孔15连通。

在滑动孔12的内部设置有滑阀30、磁铁40以及弹性部件50。滑阀30设置为能够在滑动孔12的内部沿滑动孔12的中心轴a移动。

滑阀30主要具有设置有磁铁40的第一滑阀31、设置于比第一滑阀31更靠端面14侧的第二滑阀32。在设置有磁铁40的状态下，第一滑阀31比第二滑阀32轻。在本实施方式中，第一滑阀31为大致2g～大致4g，第二滑阀32为大致5g～大致10g。

第一滑阀31为大致圆筒形状，具有直径较小的第一圆筒部31a和直径较大的第二圆筒部31b。第一圆筒部31a位于比第二圆筒部31b更靠底面123侧的位置，并被插入第二孔122的内部。在第一圆筒部31a的前端(底面123侧)设置有磁铁40。

当第一滑阀31设置于滑动孔12的内部时，磁铁40与滑动孔12的底面相对。因此，磁铁40与磁场检测元件21隔着滑动孔12的底面123相对。

第二滑阀32主要具有大致圆板形状的板状部32a和大致圆筒形状的圆筒部32b。圆筒部32b朝向底面123突出。圆筒部32b的直径与第一孔121的内径大致相同，圆筒部32b在第一孔121的内部滑动。

第二圆筒部31b设置于圆筒部32b的内部，并沿着圆筒部32b的内周面滑动。

滑阀30(第一滑阀31和第二滑阀32)将滑动孔12分割成两个空间，此处分割为由第二孔122与第一滑阀31和第二滑阀32形成的高压侧的空间h和由第一孔121与第二滑阀32形成的低压侧的空间l。换言之，第一滑阀31面向高压侧的空间h设置，第二滑阀32面向低压侧的空间l设置。

高压侧的空间经由孔15与空间s1连通(参照图1)。此外，低压侧的空间经由第二孔122的开口部与安装孔135及流出通路134连通，即与空间s2连通(参照图1)。

弹性部件50具有朝向高压侧的空间h(在此为朝向底面123)对第一滑阀31施力的第一弹性部件51和朝向高压侧的空间h对第二滑阀32施力的第二弹性部件52。第一弹性部件51和第二弹性部件52串联布置。

第一弹性部件51的作用力比第二弹性部件52的作用力小。在本实施方式中，第一弹性部件51和第二弹性部件52是螺旋弹簧，第一弹性部件51的弹簧常数比第二弹性部件52的弹簧常数小。此外，第一弹性部件51的线径比第二弹性部件52的线径细。

第一弹性部件51的一端设置于第一滑阀31，另一端设置于第二滑阀32。第一弹性部件51在第一滑阀31与第二滑阀32之间变形。

第二弹性部件52的一端设置于第二滑阀32，另一端设置于弹簧支架41。第二弹性部件52在第二滑阀32与弹簧支架41之间变形。弹簧支架41固定于滑动孔12，第二弹性部件52的另一端经由弹簧支架41设置于外壳10。

接下来，对差压检测装置1的作用进行说明。在高压侧的压力较低的情况下，滑阀30被弹性部件50的作用力向高压侧(底面123侧)按压，如图2所示，滑阀30处于最靠近底面123的位置。此时，第一滑阀31和第二滑阀32与第一孔121和第二孔122之间的平面124抵接。

当由于滤料127的堵塞等而使空间s1的压力升高时，滑阀30克服弹性部件50的作用力而向低压侧(端面14侧)移动。在本实施方式中，第一滑阀31(包括磁铁40)比第二滑阀32轻，第一弹性部件51的作用力比第二弹性部件52的作用力小，因此首先第一滑阀31向端面14侧移动，接着第二滑阀32向端面14侧移动。

图3是表示第一滑阀31克服第一弹性部件51的作用力而向端面14侧移动的状态的图。在图3中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。在本实施方式中，在差压小于大致53kpa的情况下，仅第一滑阀31向端面14侧移动。如图3所示，第一滑阀31在圆筒部32b的内部向端面14侧移动，直至第二圆筒部31b的端面31c与第二滑阀32的止挡件32c抵接。

之后，当空间s1的压力进一步升高时(在本实施方式中，差压为大致53kpa以上)，第一滑阀31和第二滑阀32克服第二弹性部件52的作用力而向端面14侧移动。图4是表示第一滑阀31和第二滑阀32克服第二弹性部件52的作用力而向端面14侧移动的情形的图。在图4中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。由于端面31c与止挡件32c抵接，第一滑阀31和第二滑阀32一起向端面14侧移动。

根据本实施方式，将滑阀30分为第一滑阀31和第二滑阀32，使第一滑阀31轻量化，减弱第一弹性部件51的作用力，由此能够扩大差压测定范围。

例如，在差压检测装置1设置于建筑机械的内部时，由于对建筑机械施加最大10g左右的加速度，因此弹性部件50需要以即使施加10g左右的加速度滑阀30也不会移动的程度的力对滑阀施力，以防止差压检测装置1误动作。

例如，在滑阀和弹性部件各设置一个的现有的差压检测装置中，假设滑阀的重量为大致10g，则为了防止误动作，弹性部件需要对向滑阀施加大致100g的力。例如，在滑阀的受压面积为1cm2时，最低测定差压为10kpa(100g/1cm2＝10kpa)，在低差压时难以进行差压的测定。

对此，在本实施方式中，将滑阀30分为第一滑阀31和第二滑阀32，使第一滑阀31轻量化，因此在低差压时也能够进行差压的测定。例如，在第一滑阀31为大致3g时，为了防止误动作，第一弹性部件51对第一滑阀31施加大致30g的力即可。此外，在滑阀的受压面积为1cm2时，最低测定差压为3kpa(30g/1cm2＝3kpa)，在低差压时也能够进行差压的测定。

此外，根据本实施方式，通过将第一滑阀31设置于第二滑阀32的内部，能够使第一滑阀31更加小型化且轻量化，即使在差压较小的情况下也能够高精度地测定差压。

另外，在本实施方式中，弹性部件50(第一弹性部件51和第二弹性部件52)为螺旋弹簧，但只要第一弹性部件51朝向底面123对第一滑阀31施力，第二弹性部件52朝向底面123对第二滑阀32施力，则弹性部件不限于螺旋弹簧。例如，也可以在弹性部件中使用膜片。

<第二实施方式>

以下，对第二实施方式的差压检测装置2进行说明。另外，对与第一实施方式相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图5是差压检测装置2的剖视图。在图5中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。差压检测装置2主要具有外壳10、检测单元20、滑阀30a、磁铁40和弹性部件50a。

滑阀30a主要具有设置有磁铁40的第一滑阀31a、设置于比第一滑阀31a更靠端面14侧的第二滑阀32a。

第一滑阀31a为大致圆筒形状，具有直径较小的第一圆筒部31d和直径较大的第二圆筒部31e。第一圆筒部31d位于比第二圆筒部31e更靠底面123侧的位置，并被插入第二孔122的内部。在第一圆筒部31d的前端(底面123侧)设置有磁铁40。第二圆筒部31e的直径与第一孔121的内径大致相同，第二圆筒部31e在第一孔121的内部滑动。

第二滑阀32a是大致圆板形状的部件。第二滑阀32a的直径与第一孔121的内径大致相同，在第一孔121的内部滑动。

滑阀30a(第一滑阀31a和第二滑阀32a)将滑动孔12分割成两个空间，此处分割为由第二孔122与第一滑阀31a形成的高压侧的空间h和由第一孔121与第二滑阀32a形成的低压侧的空间l。换言之，第一滑阀31a面向高压侧的空间h设置，第二滑阀32a面向低压侧的空间l设置。

弹性部件50a具有朝向高压侧的空间h对第一滑阀31a施力的第一弹性部件51a和朝向高压侧的空间h对第二滑阀32a施力的第二弹性部件52a。第一弹性部件51a和第二弹性部件52a串联布置。第一弹性部件51a的作用力比第二弹性部件52a的作用力小。

第一弹性部件51a的一端设置于第一滑阀31a，另一端设置于第二滑阀32a。第一弹性部件51a在第一滑阀31a与第二滑阀32a之间变形。

第二弹性部件52a的一端设置于第二滑阀32a，另一端设置于弹簧支架41a。第二弹性部件52a在第二滑阀32a与弹簧支架41a之间变形。另外，弹簧支架41和弹簧支架41a的形状不同。

接下来，对差压检测装置2的作用进行说明。在高压侧的压力较低的情况下，滑阀30a被弹性部件50a的作用力向高压侧的空间h按压，如图5所示，滑阀30a处于最靠近底面123的位置。此时，第一滑阀31a与平面124抵接。

第一弹性部件51a的作用力比第二弹性部件52a的作用力小，因此，当空间s1的压力升高时，首先第一滑阀31a向端面14侧移动，接着第二滑阀32a向端面14侧移动。

第一滑阀31a在第二孔122的内部向端面14侧移动，直至第二圆筒部31e的端面31f与第二滑阀32a的表面32g抵接。之后，当空间s1的压力进一步升高时，第一滑阀31a和第二滑阀32a克服第二弹性部件52a的作用力而一起向端面14侧移动。

根据本实施方式，第二圆筒部31e的直径与第一孔121的内径大致相同，因此能够增大第一滑阀31a的受压面积。例如，在第一滑阀31a(包括磁铁40)为大致3g时，当使滑阀的受压面积为1cm2时，最低测定差压为3kpa(30g/1cm2＝3kpa)，而当使滑阀的受压面积为2cm2时，最低测定差压降低至1.5kpa(30g/2cm2＝1.5kpa)。这样，通过将滑阀30a分成两个，使第一滑阀31a变轻并且使第一滑阀31a的受压面积变大，能够扩大差压测定范围，进行更低差压的测定。

<第三实施方式>

以下，对第三实施方式的差压检测装置3进行说明。另外，对与第一实施方式和第二实施方式相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图6是差压检测装置3的剖视图。在图6中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。差压检测装置3主要具有外壳10、检测单元20、滑阀30b、磁铁40和弹性部件50b。

滑阀30b主要具有设置有磁铁40的第一滑阀31b、设置于比第一滑阀31b更靠端面14侧的第二滑阀32b。在设置有磁铁40的状态下，第一滑阀31b比第二滑阀32b轻。

第一滑阀31b为大致圆筒形状，具有直径较小的第一圆筒部31d、直径较大的第二圆筒部31e以及突出部31g。突出部31g设置于第一圆筒部31d的端面14侧的表面上，并向端面14侧突出。

第二滑阀32b为大致圆筒形状，具有直径较大的第一圆筒部32d、直径较小的第二圆筒部32e以及设置在第一圆筒部32d与第二圆筒部32e之间的板状部32f。第二圆筒部32e和板状部32f的直径与第一孔121的内径大致相同，在第一孔121的内部滑动。第一圆筒部32d设置于板状部32f的底面123侧的表面32g上，并向底面123突出。

滑阀30b(第一滑阀31b和第二滑阀32b)将滑动孔12分割成两个空间，此处分割为由第二孔122与第一滑阀31b形成的高压侧的空间h和由第一孔121与第二滑阀32b形成的低压侧的空间l。换言之，第一滑阀31b面向高压侧的空间h设置，第二滑阀32b面向低压侧的空间l设置。

弹性部件50b具有朝向高压侧的空间h对第一滑阀31b施力的第一弹性部件51b和朝向高压侧的空间h对第二滑阀32b施力的第二弹性部件52b。第一弹性部件51b与第二弹性部件52b串联布置。第一弹性部件51b的作用力比第二弹性部件52b的作用力小。

第一弹性部件51b的一端设置于第一滑阀31b，另一端设置于第二滑阀32b。第一弹性部件51b在第一滑阀31b与第二滑阀32b之间变形。

第二弹性部件52b的一端设置于第二滑阀32b，另一端设置于弹簧支架41a。第二弹性部件52b在第二滑阀32b与弹簧支架41a之间变形。

接下来，对差压检测装置3的作用进行说明。在高压侧的压力较低的情况下，滑阀30b被弹性部件50b的作用力向高压侧的空间h按压，如图6所示，滑阀30b处于最靠近底面123的位置。此时，第一滑阀31b与平面124抵接。

第一滑阀31b(包括磁铁40)比第二滑阀32b轻，第一弹性部件51b的作用力比第二弹性部件52b的作用力小，因此，当空间s1的压力升高时，首先第一滑阀31b向端面14侧移动，接着第二滑阀32b向端面14侧移动。

第一滑阀31b在第二孔122的内部向端面14侧移动，直至第二圆筒部31e的端面31f与第二滑阀32b的表面32g抵接。此时，突出部31g将形成于第二滑阀32b的孔32m覆盖。之后，当空间s1的压力进一步升高时，第一滑阀31b和第二滑阀32b克服第二弹性部件52b的作用力而一起向端面14侧移动。

根据本实施方式，第二圆筒部31e的直径与第一孔121的内径大致相同，因此能够增大第一滑阀31b的受压面积，扩大差压检测范围，特别是在低差压时能够检测差压。此外，根据本实施方式，在第一滑阀31b和第二滑阀32b向端面14侧移动时，由于突出部31g将形成于第二滑阀32b的孔32m覆盖，因此，第一滑阀31b和第二滑阀32b能够在第二孔122内顺畅地移动。

<第四实施方式>

以下，对第四实施方式的差压检测装置4进行说明。另外，对与第一实施方式至第二实施方式相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图7是差压检测装置4的剖视图。在图7中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。差压检测装置4主要具有外壳10、检测单元20、滑阀30c、磁铁40和弹性部件50c。

滑阀30c主要具有设置有磁铁40的第一滑阀31c、设置于比第一滑阀31c更靠端面14侧的第二滑阀32c。在设置有磁铁40的状态下，第一滑阀31c比第二滑阀32c轻。

第一滑阀31c为大致圆筒形状，具有直径较小的第一圆筒部31h、直径较大的第二圆筒部31i以及设置在第一圆筒部31h与第二圆筒部31i之间的板状部31j。板状部31j的直径与第一孔121的内径大致相同。

第二滑阀32c为大致圆筒形状，具有直径较大的第一圆筒部32h、直径较小的第二圆筒部32i以及设置在第一圆筒部32h与第二圆筒部32i之间的板状部32j。第一圆筒部32h以及板状部32j的直径与第一孔121的内径大致相同，在第一孔121的内部滑动。第二圆筒部32i设置于板状部32j的底面123侧的表面上，并向底面123突出。第二圆筒部31i在第二圆筒部32i的外侧滑动。

滑阀30c(第一滑阀31c和第二滑阀32c)将滑动孔12分割成两个空间，此处分割为由第二孔122与第一滑阀31c形成的高压侧的空间h和由第一孔121与第二滑阀32c形成的低压侧的空间l。换言之，第一滑阀31c面向高压侧的空间h设置，第二滑阀32c面向低压侧的空间l设置。

弹性部件50c具有朝向高压侧的空间h对第一滑阀31c施力的第一弹性部件51c和朝向高压侧的空间h对第二滑阀32c施力的第二弹性部件52c。第一弹性部件51c与第二弹性部件52c串联布置。第一弹性部件51c的作用力比第二弹性部件52c的作用力小。

第一弹性部件51c的一端设置于第一滑阀31c，另一端设置于第二滑阀32c。第一弹性部件51c在第一滑阀31c与第二滑阀32c之间变形。

第二弹性部件52c的一端设置于第二滑阀32c，另一端设置于弹簧支架41b。第二弹性部件52c在第二滑阀32c与弹簧支架41b之间变形。另外，弹簧支架41和弹簧支架41b的形状不同。

接下来，对差压检测装置4的作用进行说明。在高压侧的压力较低的情况下，滑阀30c被弹性部件50c的作用力向高压侧的空间h按压，如图7所示，滑阀30c处于最靠近底面123的位置。此时，第一滑阀31c与平面124抵接。

第一滑阀31c(包括磁铁40)比第二滑阀32c轻，第一弹性部件51c的作用力比第二弹性部件52c的作用力小，因此，当空间s1的压力升高时，首先第一滑阀31c向端面14侧移动，接着第二滑阀32c向端面14侧移动。

第一滑阀31c在第二孔122的内部向端面14侧移动，直至端面31k与第二滑阀32c的表面32k抵接。此时，板状部31j将形成于第二滑阀32c的孔32n覆盖。之后，当空间s1的压力进一步升高时，第一滑阀31c和第二滑阀32c克服第二弹性部件52c的作用力而一起向端面14侧移动。

根据本实施方式，能够增大第一滑阀31c的受压面积，扩大差压检测范围，特别是在低差压时能够检测差压。此外，根据本实施方式，在第一滑阀31c和第二滑阀32c向端面14侧移动时，由于板状部31j将形成于第二滑阀32c的孔32n覆盖，因此，第一滑阀31c和第二滑阀32c能够在第二孔122内顺畅地移动。

<第五实施方式>

以下，对第五实施方式的差压检测装置5进行说明。差压检测装置5与差压检测装置1～4不同，是分别具有三个滑阀和三个弹性部件的方式。另外，对与第一实施方式至第四实施方式相同的部分标注相同的附图标记，并省略说明。

图8是差压检测装置5的剖视图。在图8中，对多个部件省略表示剖面的剖面线。差压检测装置5主要具有外壳10a、检测单元20、滑阀30d、磁铁40和弹性部件50d。

外壳10与外壳10a的长度不同，滑动孔12与滑动孔12a的深度不同，第一孔121与第一孔121a的深度不同。

滑阀30d主要具有设置有磁铁40的第一滑阀31a、设置于比第一滑阀31a更靠端面14侧的第二滑阀32a和设置于比第二滑阀32a更靠端面14侧的第三滑阀33。

第三滑阀33是大致圆板形状的部件。第三滑阀33的直径与第一孔121a的内径大致相同，在第一孔121a的内部滑动。

滑阀30d(第一滑阀31a、第二滑阀32a和第三滑阀33)将滑动孔12a分割成三个空间，此处分割为由第二孔122与第一滑阀31a形成的高压侧的空间h、由第一孔121a与第二滑阀32a形成的中间的空间m1、m2、以及由第一孔121a与第三滑阀33形成的低压侧的空间l。第三滑阀33面向中间的空间m1、m2设置。

弹性部件50d具有朝向底面123对第一滑阀31a施力的第一弹性部件51a、朝向底面123对第二滑阀32a施力的第二弹性部件52a、以及朝向底面123对第三滑阀33施力的第三弹性部件53。第一弹性部件51a、第二弹性部件52a以及第三弹性部件53串联布置。第一弹性部件51a的作用力比第二弹性部件52a的作用力小，第二弹性部件52a的作用力比第三弹性部件53的作用力小。

第二弹性部件52a的一端设置于第二滑阀32a，另一端设置于第三滑阀33。第二弹性部件52a在第二滑阀32a与第三滑阀33之间变形。

第三弹性部件53的一端设置于第三滑阀33，另一端设置于弹簧支架41a。第三弹性部件53在第三滑阀33与弹簧支架41a之间变形。

接下来，对差压检测装置5的作用进行说明。在高压侧的压力较低的情况下，滑阀30d被弹性部件50d的作用力向底面123侧按压。如图8所示，第一滑阀31a与平面124抵接，且处于最靠近底面123的位置。

当空间s1的压力升高时，首先第一滑阀31a向端面14侧移动，接着第二滑阀32a向端面14侧移动。之后，当空间s1的压力进一步升高时，第一滑阀31a、第二滑阀32a以及第三滑阀33克服第三弹性部件53的作用力而一起向端面14侧移动。

根据本实施方式，能够将滑阀30d和弹性部件50d进一步多级化。由此，能够进一步扩大差压测定范围。例如，通过使第一滑阀31a更加轻量化并进一步减小第一弹性部件51a的作用力，在低差压时能够高精度地测定差压。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细说明，但具体的结构并不限定于该实施方式，还包括不脱离本发明的主旨的范围的设计变更等。本领域技术人员能够对实施方式的各要素适当进行变更、追加、变换等。

例如，在上述第一至第五实施方式中，差压检测装置1～5设置于过滤装置100，但设置差压检测装置的不限于过滤装置。图9是表示将差压检测装置1设置在液压回路101中的压力控制阀141上的形态的示意图。图9中的箭头表示油的流动方向。在液压回路101中，通过泵143使油流向致动器142来驱动致动器142，但为了防止对致动器142施加过大的压力，而设置有压力控制阀141。此外，在致动器142不使用油时，压力控制阀141将油返回油箱144。通过在该压力控制阀141上设置差压检测装置1来检测高压侧的空间h与低压侧的空间l的差压，而能够监视施加于致动器142的压力。例如，能够监视由于泵143的老化等而使液压降低、或者由于压力控制阀141的故障而使液压降低或上升的情况。

此外，在本发明中，所谓“大致”，不仅是严格相同的情况，还是包括不失去同一性的程度的误差、变形的概念。例如，所谓大致平行，不限于严格平行的情况，还是包括例如几度左右的误差的概念。此外，例如，在仅表现为平行、正交、一致等的情况下，不仅是严格平行、正交、一致等情况，还包括大致平行、大致正交、大致一致等情况。此外，在本发明中，“附近”是指包括作为基准的位置的附近的某个范围(可以任意确定)的区域。例如，a的附近是表示既可以包含a也可以不包含a的、a附近的某个范围的区域的概念。

符号说明

1、2、3、4、5：差压检测装置

10：外壳

11：孔

11a：内螺纹部

12：滑动孔

13、14：端面

15：孔

16：外螺纹部

20：检测单元

20a：外螺纹部

21：磁场检测元件

30、30a、30b、30c、30d：滑阀

31、31a、31b、31c：第一滑阀

31a、31d、31h：第一圆筒部

31b、31e、31i：第二圆筒部

31c、31f：端面

31g：突出部

31j：板状部

31k：端面

32、32a、32b、32c：第二滑阀

32a：板状部

32b：圆筒部

32c：止挡件

32d、32h：第一圆筒部

32e、32i：第二圆筒部

32f、32j：板状部

32g、32k：表面

32m、32n：孔

33：第三滑阀

40：磁铁

41、41a、41b：弹簧支架

50、50a、50b、50c、50d：弹性部件

51、51a、51b、51c：第一弹性部件

52、52a、52b、52c：第二弹性部件

53：第三弹性部件

100：过滤装置

101：液压回路

102：致动器

110：壳体

110a：内螺纹部

111：排液管

112、113、114、115：密封部件

120：滤芯

121：第一孔

122：第二孔

123：底面

123a：中空部

124：平面

126：内筒

127：滤料

128、129：滤板

130：滤头

131：主体

131a：外螺纹部

132：中央筒

132a：凹部

133：流入通路

134：流出通路

135：安装孔

135a：内螺纹部

136：孔

141：压力控制阀

142：致动器

143：泵

144：油箱