扫描隧道显微镜及其样品架的制作方法

文档序号:20913974发布日期:2020-05-29 13:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扫描隧道显微镜的样品架,所述扫描隧道显微镜包括beetle-type扫描头;所述样品架包括:

采用绝缘材料的底座;

多个进针斜面体,每个所述进针斜面体采用导电材料且具有电极,且所述多个进针斜面体之间彼此隔开并固定在所述底座上;

在所述样品架上装有样品时,所述样品通过所述电极与所述多个进针斜面体中的至少一个电气连接;并且,在所述样品架倒置于所述beetle-type扫描头之上时,每个所述进针斜面体的进针斜面仅与所述beetle-type扫描头的多个扫描管中相对应扫描管顶部的钨球相接触。

2.根据权利要求1所述的样品架,其中,所述多个进针斜面体中包括三个进针斜面体,三个斜面体上表面倾斜角在5-15度之间,且所述三个进针斜面体在所述底座上的固定位置与所述beetle-type扫描头中三个外围扫描管的位置一一对应;

在所述样品架倒置于所述beetle-type扫描头之上时,每个所述进针斜面体的进针斜面仅与所述beetle-type扫描头中相对应的一个外围扫描管顶部的钨球相接触。

3.根据权利要求1或2所述的样品架,其中,所述多个进针斜面体在底座上的位置关于底座的中心互成120度,且相邻的所述进针斜面体之间的间隔在1mm~1.5mm之间。

4.根据权利要求1所述的样品架,其中,所述电极为金属电极。

5.根据权利要求4所述的样品架,其中,所述电极通过焊接或者导电胶粘贴在所述进针斜面体上。

6.根据权利要求1所述的样品架,其中,所述进针斜面体通过螺丝固定在所述底座上。

7.根据权利要求1或6所述的样品架,其中,所述底座为陶瓷片。

8.一种扫描隧道显微镜,包括:

beetle-type扫描头;

样品架,包括采用绝缘材料的底座和多个进针斜面体,每个所述进针斜面体采用导电材料且具有电极,且所述多个进针斜面体之间彼此隔开并固定在所述底座上;

在所述样品架上装有样品时,所述样品通过所述电极与所述多个进针斜面体中的至少一个电气连接;并且,在所述样品架倒置于所述beetle-type扫描头之上时,每个所述进针斜面体的进针斜面仅与所述beetle-type扫描头的多个扫描管中相对应扫描管顶部的钨球相接触。

9.根据权利要求8所述的扫描隧道显微镜,其中,

所述beetle-type扫描头包括基板和固定于所述基板之上的三个外围扫描管和一个中心扫描管,每根所述外围扫描管顶部设有钨球,每个所述钨球上设有钨球引线,所述中心扫描管的顶部设有探针,所述探针上设有探针引线,每根钨球引线用于导出所述样品通过相应的一个进针斜面体引出的信号。

10.根据权利要求8所述的扫描隧道显微镜,其中,所述三根外围扫描管与所述样品架上的进针斜面体一一对应;在所述样品架倒置于所述beetle-type扫描头上并进针的过程中,每根所述外围扫描管顶部的所述钨球始终与其相对应的进针斜面体的进针斜面接触,且至少一根所述外围扫描管的钨球上的钨球引线外接一预定的电压信号或电流信号。


技术总结
公开了一种扫描隧道显微镜及其样品架。根据一实施例,所述扫描隧道显微镜包括Beetle‑type扫描头,所述扫描隧道显微镜的样品架包括:采用绝缘材料的底座;多个进针斜面体,每个所述进针斜面体采用导电材料且具有电极,且所述多个进针斜面体之间彼此隔开并固定在所述底座上;在所述样品架上装有样品时,所述样品通过所述电极与所述多个进针斜面体中的至少一个电气连接;并且,在所述样品架倒置于所述Beetle‑type扫描头之上时,每个所述进针斜面体的进针斜面仅与所述Beetle‑type扫描头的多个扫描管中相对应扫描管顶部的钨球相接触。本申请实施例实现了采用Beetle‑type扫描头的扫描隧道显微镜的多电极设计。

技术研发人员:王爱伟;李乔楚;李更;郇庆;高鸿钧
受保护的技术使用者:中国科学院物理研究所
技术研发日:2020.03.09
技术公布日:2020.05.29
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