1.一种形状测量设备的控制方法,所述形状测量设备被配置为利用平移移动机构和旋转驱动机构使探测器和工件相对移动以通过使所述探测器沿着预先设置的扫描路径移动来对所述工件进行扫描测量,所述控制方法包括:
使针对所述平移移动机构的移动命令与针对所述旋转驱动机构的转动命令同步,使得通过使所述探测器沿着所述扫描路径移动来对所述工件进行扫描测量。
2.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径和针对旋转台的转动角度命令;
基于与所述扫描路径有关的数据来生成平移速度矢量命令,所述平移速度矢量命令用于驱动并控制所述平移移动机构使得所述探测器沿着所述扫描路径移动;
基于所述转动角度命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令;
校正所述平移速度矢量命令以减少所述转动命令的转动量,并且生成校正后平移速度矢量命令;以及
基于所述转动命令和所述校正后平移速度矢量命令,来驱动并控制所述旋转驱动机构和所述平移移动机构。
3.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径和针对旋转台的转动角度命令;
校正与所述扫描路径有关的数据以减少所述转动命令的转动量,并且生成校正后扫描路径数据;
基于所述校正后扫描路径数据,来生成用于驱动并控制所述平移移动机构的平移速度矢量命令;
基于所述转动角度命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令;以及
基于所述转动命令和所述平移速度矢量命令来驱动并控制所述旋转驱动机构和所述平移移动机构。
4.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径;
基于与所述扫描路径有关的数据,来生成平移速度矢量命令,所述平移速度矢量命令用于驱动并控制所述平移移动机构使得所述探测器沿着所述扫描路径移动;
基于所述平移速度矢量命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令;
校正所述平移速度矢量命令以减少所述转动命令的转动量,并且生成校正后平移速度矢量命令;以及
基于所述转动命令和所述校正后平移速度矢量命令来驱动并控制所述旋转驱动机构和所述平移移动机构。
5.根据权利要求4所述的形状测量设备的控制方法,其中,
基于所述平移速度矢量命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令包括:基于路径速度矢量vf的方向的变化来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令,以及
所述路径速度矢量vf是具有从所述扫描路径上的一个插值点向着下一插值点的方向的矢量。
6.根据权利要求4所述的形状测量设备的控制方法,其中,
基于所述平移速度矢量命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令包括:基于由偏转量校正矢量ve和接近方向ap所形成的角度来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令,
所述接近方向ap是所述平移移动机构使所述探测器接触所述工件的预定方向,以及
所述偏转量校正矢量ve是用于将所述探测器的偏转量ep校正为预定基准偏转量e0的矢量、并且具有与所述工件在接触点处的法线平行的方向。
7.根据权利要求4所述的形状测量设备的控制方法,其中,
基于所述平移速度矢量命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令包括:
计算虚拟圆c1,所述虚拟圆c1具有所述旋转驱动机构的转动中心oc作为中心,并且具有所述探测器和所述工件的接触点与所述转动中心oc之间的距离r1作为半径;
计算所述虚拟圆c1在所述接触点处的切线l1;
计算作为所述平移速度矢量命令在所述切线l1的方向上的元素的转动方向矢量vl1;以及
基于所述转动方向矢量vl1来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令。
8.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径和针对所述旋转驱动机构的转动角度命令;
将与所述扫描路径有关的数据分割成多个区段,并且基于各区段的曲率来针对各区段设置所述平移移动机构的平移速度模式;
基于所述转动角度命令,针对各区段来计算该区段的开始处的转动角度值和该区段的结束处的转动角度值,并且针对各区段来生成角速度模式;
校正所述平移速度模式以减少由所述角速度模式所给出的所述转动命令的转动量,并且生成校正后平移速度模式;以及
根据基于所述校正后平移速度模式的合成速度矢量来驱动并控制所述平移移动机构,并且根据基于所述角速度模式的角速度命令来同时驱动并控制所述旋转驱动机构。
9.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径和针对所述旋转驱动机构的转动角度命令;
校正与所述扫描路径有关的数据以减少所述转动角度命令的转动量,并且生成校正后扫描路径数据;
将所述校正后扫描路径数据分割成多个区段,并且基于各区段的曲率针对各区段来设置所述平移移动机构的平移速度模式;
基于各区段的所述转动角度命令和所述平移速度模式,针对各区段来计算该区段的开始处的转动角度值和该区段的结束处的转动角度值;
针对各区段来生成角速度模式;以及
根据基于所述平移速度模式的合成速度矢量来驱动并控制所述平移移动机构,并且根据基于所述角速度模式的角速度命令来同时驱动并控制所述旋转驱动机构。
10.根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
由操作员设置扫描路径;
将与所述扫描路径有关的数据分割成多个区段,并且基于各区段的曲率针对各区段来设置所述平移移动机构的平移速度模式;
基于与所述扫描路径有关的数据来生成平移速度矢量命令,所述平移速度矢量命令用于驱动并控制所述平移移动机构使得所述探测器沿着所述扫描路径移动;
基于所述平移速度矢量命令来生成针对所述旋转驱动机构的转动命令;
基于所述转动命令,针对各区段来计算该区段的开始处的转动角度值和该区段的结束处的转动角度值,并且针对各区段来生成角速度模式;
校正所述平移速度模式以减少由所述角速度模式所给出的所述转动命令的转动量,并且生成校正后平移速度模式;以及
根据基于所述校正后平移速度模式的合成速度矢量来驱动并控制所述平移移动机构,并且根据基于所述角速度模式的角速度命令来同时驱动并控制所述旋转驱动机构。
11.根据权利要求8至10任一项所述的形状测量设备的控制方法,其中,
针对各区段来生成所述角速度模式包括:
将角加速度的大小设置为预定的固定值;以及
通过为了生成所述角速度模式而从第一区段开始计算,来将用于维持恒定角速度的模式、用于最初加速然后维持恒定角速度的模式、以及用于最初维持恒定角速度然后减速的模式中的任一模式应用于各区段。
12.根据权利要求11所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
在生成最后一个区段的角速度模式之后、在所述扫描路径的终点处所述角速度不为零的情况下,计算所述旋转驱动机构在所述扫描路径的终点处停止所需的减速距离,并且校正所述角速度模式,使得所述旋转驱动机构从所述终点之前的所需减速距离起开始减速。
13.根据权利要求8所述的形状测量设备的控制方法,所述控制方法还包括:
对针对各区段所生成的多个所述角速度模式进行成块化;以及
使成块化后的角速度模式的加速/减速区域呈s状弯曲。
14.一种记录有测量控制程序的非易失性记录介质,所述测量控制程序使得计算机执行根据权利要求1所述的形状测量设备的控制方法。